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[发明专利]真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机-CN202211021727.9有效
发明人：曹健;赵英伟;郝晓亮;王秀海;马培圣;张文雅;文黎波;吴爱华 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2023-09-01 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机，属于半导体技术领域，包括：轴套、内套筒、轴承以及分体端盖，轴套具有上连接段和下连接段，上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径，上通孔和下通孔的相接处构成支撑平台；内套筒设置于上通孔内；其中，上连接段上设有用于真空管路的安装孔，内套筒上设有抽气孔；轴承设置于支撑平台上，用于连接载片轴；分体端盖封装于上通孔的上端，对内套筒内的真空腔构成密封。本发明提供的真空连接转换装置，利用轴承保证载片轴转动的速度的均匀性，能够提升载片抛光面的均匀性，避免后序制作的产品报废，提高产品的加工质量。
真空连接转换装置抛光方法抛光机

[发明专利]扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法-CN202310122014.X在审
发明人： 马培圣;王秀海;赵英伟;吴爱华;栾鹏;郝晓亮;曹健;文黎波;贾宜萱 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2023-02-16 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01H36/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种扁平式磁力开关座及磁吸启闭方法，属于机械制造技术领域，包括：底座、隔离条、磁开关以及盖板，隔离条嵌设于底座上；磁开关设置于底座的腔体内，隔离条位于腔体内；磁开关包括旋转板和两块磁铁，旋转板上设有两个用于放置磁铁的长条孔，两个长条孔平行且错位设置，两块磁铁的极性呈上下方向分别置于长条孔内，且两块磁铁的极性相反；磁开关在腔体内水平旋转呈开启状态时，两块磁铁与隔离条平行且分设在隔离条的两侧，磁开关水平旋转呈关闭状态时，两块磁铁与隔离条交叉；盖板固设于底座上，盖板上设有销轴，销轴向下穿设于旋转板上，旋转板可绕销轴旋转或随销轴旋转。本发明可实现开关座的小型化和轻质化，扩大其应用的环境。
扁平磁力开关启闭方法

[发明专利]碳化硅外延生长室-CN202310085677.9在审
发明人：刘炳义;秦天;赵英伟;路孟喜;马培圣;吴爱华;王秀海;郝晓亮;文黎波 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2023-02-07 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种碳化硅外延生长室，属于半导体领域，包括上室体及下室体，上室体具有上空腔，所述上室体内设有上支撑板；下室体固设于上室体的下方，下室体具有下空腔，下室体内设有下支撑板，上支撑板与下支撑板之间构成生长室，下支撑板内部设有储气腔，下支撑板的下方还设有连通储气腔的气道；下支撑板上且位于储气腔的上方设有圆形凹槽，下支撑板上还设有连通储气腔与生长室的通气孔。本发明提供的碳化硅外延生长室，清理时将上室体取出即可对生长室内部进行清理，结构简单，方便拆卸清洁；上室体和下室体均设有中空腔，降低了生长室的重量，方便生长室的取出和安装。
碳化硅外延生长

[发明专利]一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统-CN202310174542.X在审
发明人：赵英伟;郝晓亮;马培圣;程壹涛;文黎波;刘炳义;吴爱华;刘岩 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本申请提供了一种电子束光阑和束闸一体化装置和电子光学系统，该装置包括：基座、正极、第一光阑片和第二光阑片；基座的内部设置有第一负极板和第二负极板，顶部设置有第一光阑片安装孔和第二光阑片安装孔；正极呈长条状，正极的上部与基座配合，第一负极板和第二负极板分居正极的上部的两侧，第一负极板与正极之间形成第一束闸，第二负极板与正极之间形成第二束闸；正极的下部设置有刀口槽结构；第一光阑片和第二光阑片分别安装于第一光阑片安装孔和第二光阑片安装孔中；第一光阑片位于第一束闸的上方，第二光阑片位于第二束闸的上方。本申请使束闸和光阑采用一体式设计，结构简单紧凑，装配调试方便，达到关断速度快，拖尾小的目的。
一种电子束光阑一体化装置电子光学系统

[发明专利]吸擦一体式擦头装置-CN202310080721.7在审
发明人：刘炳义;王秀海;文黎波;赵英伟;吴爱华;郝晓亮;秦天;马培圣;张文雅;曹健 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2023-02-06 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B37/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种吸擦一体式擦头装置，包括吸盘主体和吸盘芯，吸盘主体上表面设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽，第一环形凹槽的底部设有第一研磨液排出孔，安装圆台的中心设有第一通气孔；吸盘芯安装在吸盘主体的下表面；吸盘芯具有与第一通气孔同轴连通的第二通气孔；吸盘芯的下端设有分气盘，沿分气盘周向均匀设有多个第一径向排气孔，第一径向排气孔与第二通气孔连通；还包括通气管路、研磨液管路、吹扫气管路、冲洗液管路。本发明可实现对陶瓷圆片的无接触装载和卸载，可以完成对陶瓷圆片的研磨、冲洗和吹扫，大大避免了陶瓷圆片划伤、损坏、报废、二次污染的问题，提高了工作效率，保证了陶瓷圆片的研磨效果和洁净度。
吸擦一体式装置

[发明专利]非接触式晶圆翻转装置及翻转方法-CN202310004369.9在审
发明人：文黎波;王秀海;刘柄义;赵英伟;吴爱华;秦天;郝晓亮;马培圣;曹健;张文雅 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于旋转手指气缸的两个手指上；晶圆夹持机械手对称连接于晶圆夹持支撑件上，以夹持待翻面的晶圆；两晶圆夹持机械手相对的内侧分别具有夹持晶圆边缘的弧形槽。本发明晶圆夹持机械手不接触晶圆的表面，仅仅抵靠晶圆的外侧面，不会对晶圆的正面和背面造成污染、划痕等不洁净的问题；晶圆沿斜面滑动落入晶圆夹持机械手的夹持部位，可避免了晶圆倾斜晃动等问题造成的不确定性。
接触式晶圆翻转装置方法

[发明专利]一种具有低反射吸收负载安装结构的波导噪声源-CN202210635533.1在审
发明人：栾鹏;刘晨;王一帮;王维;霍晔;马培圣;孙晓颖;陈晓华;吴爱华 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种具有低反射吸收负载安装结构的波导噪声源。该噪声源包括矩形波导、波导法兰、微调法兰、盲板法兰和吸收负载；波导法兰固定连接在矩形波导的输入端；微调法兰通过紧固件连接波导法兰；盲板法兰通过紧固件连接微调法兰；微调法兰上设有矩形通孔；矩形通孔的位置与矩形波导的内腔位置对应；吸收负载的一端固定在矩形通孔内；吸收负载的其余部分置于矩形波导的内部。本发明的微调法兰固定吸收负载的一端，能够通过调整微调法兰与波导法兰的相对位置，使吸收负载与矩形波导内壁紧密接触，提升了吸收负载安装可靠性，可获得稳定输出的低反射系数热噪声。
一种具有反射吸收负载安装结构波导噪声

[发明专利]一种抗结霜低温波导噪声源-CN202210633571.3在审
发明人：栾鹏;刘晨;王一帮;马培圣;霍晔;孙静;张立飞;吴爱华;梁法国 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2022-06-06 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01H17/00 文献下载
摘要：本发明提供一种抗结霜低温波导噪声源。该噪声源包括矩形波导，矩形波导的输入端设置有刀口法兰密封模块，矩形波导内部气压大于设定的正气压时，刀口法兰密封模块的刀口处产生漏气，矩形波导内部气压小于等于设定的正气压时，刀口法兰密封模块的刀口处于密封状态。矩形波导的输出端依次设有第一波导法兰和第二波导法兰，波导法兰之间设有用于密封波导法兰中心通孔的聚四氟乙烯薄膜。矩形波导的侧壁设置有气孔。气孔用于对矩形波导吹填氦气或抽真空。本发明能够通过在输入端设置刀口法兰密封模块，吹填氦气大于设定的正气压时在刀口处排出空气，抽真空时大气压强压紧刀口、构成真空腔。实现了既可以采用吹填氦气方式又可以采用抽真空方式抗结霜。
一种结霜低温波导噪声

[发明专利]晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210038925.X在审
发明人：文黎波;王秀海;赵英伟;吴爱华;翟玉卫;郝晓亮;马培圣;曹健;张文雅 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： G06T7/33 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆快速预对准方法、装置、电子设备及存储介质。该方法包括：对目标晶圆的灰度图像进行边缘检测，获得目标晶圆的轮廓二值图像；降低轮廓二值图像的分辨率，获得对应的低分辨率图像；对低分辨率图像中的轮廓进行直线检测，获得低分辨率图像中对应的平边端点粗坐标；基于平边端点粗坐标在轮廓二值图像中对应的预设邻域图像进行直线检测，获得轮廓二值图像中对应的平边端点精坐标；根据平边端点精坐标对目标晶圆的轮廓进行圆拟合，获得轮廓对应的圆心坐标和平边旋转角，以基于圆心坐标和平边旋转角对目标晶圆进行对准。本发明能够有效提高直线检测获得平边端点坐标的速度，进而缩短晶圆预对准时间，提高晶圆预对准的实时性和效率。
快速对准方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种舰载无人机光电引导着舰系统及着舰方法-CN201811267554.2有效
发明人：张勇;杨柳庆;马培圣;仲筱艳 -专利权人：南京航空航天大学;南京长空科技有限公司;南京浦口高新技术产业开发区管理委员会
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： B64F1/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种舰载无人机光电引导着舰系统，包括舰上观测组件和反光板；所述反光板固设于无人机机身，和/或，机翼上；所述舰上观测组件包括常平台、跟踪转台、红外热像仪、激光测距仪和控制单元；所述常平台固设于舰艇甲板上；所述跟踪转台安装于常平台上，且跟踪转台可沿竖直轴线做转动式运动；所述红外热像仪和激光测距仪安装于跟踪转台上，且红外热像仪和激光测距仪可做俯仰式运动；所述控制单元获得跟踪转台的方位转角数据、红外热像仪和激光测距仪的俯仰转角数据、激光测距仪检测的无人机的相对距离后，通过运算获得无人机的侧偏距、待飞距、相对甲板高度信息并引导其至着陆点着舰。
一种舰载无人机光电引导系统方法

[发明专利]一种小型舰载无人机自适应绳钩回收制导航路及制导方法-CN201811375455.6有效
发明人：张勇;杨柳庆;马培圣;仲筱艳 -专利权人：南京航空航天大学;南京长空科技有限公司;南京浦口高新技术产业开发区管理委员会
申请日： 2018-11-19 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： G05D1/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种小型舰载无人机自适应绳钩回收制导航路，包括于无人机完成任务航路飞行或接收到“返航”指令时的回收航路和调整航路；所述回收航路为由航点4和航点3连接成的线性航路，所述航点4为舰艇绳钩回收架所在点位，所述航点3为沿舰艇航向反向800‑1000m的位置点；所述调整航路为依次由航点3、航点2、航点1和航点0连接成的非线性航路，所述航点2为沿舰艇航向反向加90°或减90º距航点3距离100‑300m的位置点，且航点3和航点2间成半圆形航路；所述航点1为沿舰艇航向距航点2距离500‑700m位置点；所述航点1为无人机完成任务航路飞行或接收到“返航”指令时的位置点。本发明适用于舰载无人机绳钩回收段制导，满足无人机绳钩回收高精度和特定方向性回收的需求。
一种小型舰载无人机自适应回收制导航路方法

[发明专利]去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法-CN201811477128.1有效
发明人：郝晓亮;曹健;王秀海;马培圣 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2018-12-05 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： H01L21/3105 文献下载
摘要：本发明提供了一种去除晶圆表面蓝膜的辅助设备及方法，属于晶圆制造技术领域，去除晶圆表面蓝膜的辅助设备包括真空发生器、承片台、紫外灯、控制器和压力传感器，承片台通过第一气体管道与真空发生器连接，用于吸附固定晶圆；紫外灯与承片台相对设置，用于照射晶圆表面的蓝膜；控制器分别与紫外灯和真空发生器电性连接，用于控制紫外灯和真空发生器的打开和关闭；压力传感器设置在第一气体管道上，与控制器电性连接，用于检测第一气体管道内的压力并反馈给控制器。本发明提供的去除晶圆表面蓝膜的辅助设备，紫外灯用于照射蓝膜来消弱蓝膜的粘性，降低了蓝膜与晶圆的分离难度，避免了去除蓝膜时对晶圆造成的破坏。
去除表面辅助设备方法

[实用新型]焊接波纹管漏点检测装置-CN201821884657.9有效
发明人：王秀海;马培圣;郝晓亮;曹健 -专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2019-06-11 - 主分类号： G01M3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种焊接波纹管漏点检测装置，包括上固定板、下固定板、连杆机构、压紧机构及抽放气管路；上固定板底面上可拆卸连接有多条间隔设置的上环形密封圈；下固定板顶面上可拆卸连接有多条间隔设置的下环形密封圈；连杆机构包括连接上固定板与下固定板的连接杆，以及调节连接杆与上固定板和/或下固定板固定位置的调紧机构；压紧机构设有至少两个，分别设置于上固定板和/或下固定板上，包括与波纹管法兰的侧壁相抵接的压板；抽放气管路设置于上固定板的顶面上。本实用新型提供的焊接波纹管漏点检测装置能够对不同直径、不同伸缩长度的波纹管进行密封固定，使用灵活，固定牢固。
上固定板下固定板漏点检测装置焊接波纹管本实用新型可拆卸连接放气管路间隔设置连杆机构压紧机构连接杆上环形密封圈波纹管法兰环形密封圈调紧机构固定牢固密封固定波纹管伸缩侧壁压板相抵灵活

[发明专利]一种靶用型无人机单载波频带全双工测控通信方法-CN201811214705.8在审
发明人：杨柳庆;张勇;马培圣;徐浩 -专利权人：南京航空航天大学;南京长空科技有限公司;南京浦口高新技术产业开发区管理委员会
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： H04L5/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶用型无人机单载波频带全双工测控通信方法，包括如下步骤：1）地面控制站与机载测控终端初始化并处于接收态；2）地面控制站内单一的数据电台与机载测控终端内单一的数据电台通过通信传输用TDD协议在地面控制站与机载测控终端间建立通信链路；所述通信传输用TDD协议包括TDD协议帧结构、TDD协议帧同步和TDD协议通信实现。本发明借助TDD方式，使得通信双方被交替的配置成接收态或发送态来完成双工通信，无线通信时仅需占用单个载波频带，是一种低成本、通用化的单载波频带全双工测控通信方法。
机载测控终端地面控制站单载波全双工测控数据电台通信传输接收态协议帧通信通用化建立通信链路单个载波双工通信通信双方无线通信协议通信初始化低成本交替的发送占用配置

[发明专利]一种靶用型无人机时分多址一站多机测控通信方法-CN201811215134.X在审
发明人：杨柳庆;张勇;马培圣;徐浩 -专利权人：南京航空航天大学;南京长空科技有限公司;南京浦口高新技术产业开发区管理委员会
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01S19/25 文献下载
摘要：本发明公开了一种靶用型无人机时分多址一站多机测控通信方法，包括如下步骤：1）启动地面控制站与无人机群；2）地面控制站通过数传电台接收卫星导航系统的秒脉冲信号的同时以广播模式发出“时钟同步指令”，并启动地面控制站内的测控定时器；3）各无人机通过数传电台接收卫星导航系统的秒脉冲信号、收到“时钟同步指令”后，启动各无人机内的测控定时器，完成多机时钟同步；4）地面控制站依次与各无人机通讯，完成多轮通讯周期；5）多轮通讯结束后，地面控制站与各无人机的测控定时器清零重启；6）重复步骤2）‑5），直至通讯结束。本发明以卫星导航系统的秒脉冲信号为基准构建多机时钟同步，是一种低成本、通用化、运行稳定的一站多机测控通信方法。
地面控制站测控多机时钟同步定时器卫星导航系统秒脉冲信号时分多址数传电台多轮通讯通信通用化指令广播模式通讯周期无人机群运行稳定低成本构建清零重启重复

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