专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]用于晶圆硅片的定位装置-CN202221680710.X有效
  • 曹宇;马丹;王健 - 芯材芯(苏州)半导体科技有限公司
  • 2022-06-30 - 2022-11-11 - H01L21/68
  • 本实用新型公开了一种用于晶圆硅片的定位装置,包括机械手臂,机械手臂包括水平移动机构,设于其上的吸附组件,与水平移动机构相连的第一旋转机构,与第一旋转机构相连的升降机构;校准机构,校准机构包括固定支架,设于固定支架上的第二旋转机构,与第二旋转机构相连的用于吸附晶圆硅片的吸附件,设于固定支架上用于获取吸附件上晶圆硅片位置信息的视觉定位组件,视觉定位组件内预设有定位直边的目标位置;控制机构,控制机构与机械手臂、校准机构相连,用于控制机械手臂和旋转机构调整晶圆硅片的位置,从而使位于吸附件上的晶圆硅片的位置与预设的目标位置重合。该定位装置能够实现对晶圆硅片的自动化定位,提高后续的装载效率。
  • 用于硅片定位装置
  • [实用新型]用于溅射台内真空环境测量装置-CN202221682435.5有效
  • 曹宇;马丹;王健 - 芯材芯(苏州)半导体科技有限公司
  • 2022-06-30 - 2022-11-11 - G01L21/12
  • 本实用新型公开了一种用于溅射台内真空环境测量装置,所述溅射台内设置有多个用于溅射加工的溅射腔,测量装置包括设置于每一所述溅射腔的背板上的全量程规和皮拉尼规,所述全量程规、所述皮拉尼规用于获取其对应的所述溅射腔内的压力值,所述全量程规的测压范围为1atm~10‑10torr,所述皮拉尼规的测压范围为1atm~10‑4torr;与所述全量程规和所述皮拉尼规相连的一计算机,所述计算机用于将所述全量程规和所述皮拉尼规获取到的压力值进行转换并传输,多个所述全量程规和多个所述皮拉尼规间并联设置;与所述计算机相连内嵌于所述溅射台上的显示屏。该测量装置结构简单,连接方便,能够实现对装载腔内真空环境的精准测量。
  • 用于溅射真空环境测量装置
  • [实用新型]用于晶圆硅片移动的机械手臂-CN202221682501.9有效
  • 曹宇;马丹;王健 - 芯材芯(苏州)半导体科技有限公司
  • 2022-06-30 - 2022-11-11 - H01L21/683
  • 本实用新型公开了一种用于晶圆硅片移动的机械手臂,包括:水平移动机构,设于所述水平移动机构上的底座,固定于所述底座上的牙叉,与所述水平移动机构相连能带动其转动的旋转机构,与所述旋转机构相连能带动其沿竖直方向运动的升降机构;其中,所述牙叉包括支撑片,所述支撑片的第一侧设有凸条,所述支撑片的第二侧设有真空管路,所述凸条中间设有与所述真空管路相连通的凹槽,所述凹槽用于将晶圆硅片吸附于所述凸条的表面。该机械手臂能够保证晶圆硅片在移动过程中更加稳定与精准,控制方式也更加简便。
  • 用于硅片移动机械手臂
  • [实用新型]用于半导体溅射台的冷却装置-CN202222059553.7有效
  • 曹宇;马丹;王健 - 芯材芯(苏州)半导体科技有限公司
  • 2022-08-06 - 2022-11-11 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种用于半导体溅射台的冷却装置,包括:进水总管,在进水总管上设有多个第一进水孔和第二进水孔,第一进水孔与第一进水支管连接;第二进水孔与第二进水支管连接;出水总管,在出水总管上设有多个第一出水孔和第二出水孔,第一出水孔与第一出水支管连接,每一第一出水支管分别与一对应的第一进水支管相连通,第二出水孔与第二出水支管连接,每一第二出水支管分别与一对应的第二进水支管相连通;气体管道,气体管道与进水总管相连通,在气体管道上设有电磁阀,用于控制气体管道向进水总管内通入气体,以将冷却装置内的水全部排出。该冷却装置结构简单,便于对不同冷却位实现单独控制,便于维护、维修。
  • 用于半导体溅射冷却装置
  • [外观设计]陶罐-CN202230535483.0有效
  • 马丹 - 马丹
  • 2022-08-16 - 2022-11-01 - 07-01
  • 1.本外观设计产品的名称:陶罐。2.本外观设计产品的用途:用于观赏、收藏。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片:立体图1。
  • 陶罐
  • [实用新型]自主式防火收卷装置-CN202220338939.9有效
  • 王建辉;王伟平;马丹 - 伟诚防火科技集团有限公司
  • 2022-02-18 - 2022-10-28 - B65H23/032
  • 本实用新型涉及收卷装置技术领域,且公开了自主式防火收卷装置,解决了目前市场上的收卷装置由于没有斜板以及支撑装置,从而可能会导致收卷的防火布不整齐,以及滚动装置出现倾斜,无法正常收卷,进而降低收卷效率的问题,其包括底板、侧板和滚动装置,侧板固定连接在底板顶部的一侧,滚动装置转动连接在侧板的内侧面,底板的顶部固定连接有支撑块,支撑块顶部的一侧固定连接有第一支撑杆,第一支撑杆的顶部设有斜板,斜板的材质为软性材质,支撑块顶部的另一侧开设有第一滑槽,本实用新型,具有斜板以及支撑装置,从而达到了收卷的防火布更整齐,以及放置滚动装置出现倾斜,从而达到加快收卷效率的效果。
  • 自主防火装置
  • [发明专利]一种煤矿开采嗣后空间矸石注浆时机确定方法-CN202210876397.5在审
  • 闫浩;张吉雄;马丹;张羽者;许健飞 - 中国矿业大学
  • 2022-07-25 - 2022-10-18 - G06F30/17
  • 本发明公开了一种煤矿开采嗣后空间矸石注浆时机确定方法,属于矿井充填技术领域。首先开展矿井注浆区域岩层钻孔取样,并测定其物理力学参数,然后基于上述参数应用离散元模拟软件建立嗣后空间空隙演化模型,研究嗣后空间发育衰减规律,计算出注浆时机T1,再分析试验区域相邻工作面地表变形实测数据,研究其关键层破断规律,基于此确定嗣后空间注浆时机T2;综合考虑上述两个注浆时机,确定该煤矿最佳的嗣后空间注浆时机。该方法为煤矿开采嗣后空间注浆充填时机研究提供参考,确保注浆效果良好,进一步丰富了注浆充填理论,使得嗣后空间矸石注浆充填技术实践应用性以及可推广性更强。
  • 一种煤矿开采嗣后空间矸石时机确定方法

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