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[发明专利]流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法-CN202110172194.3有效
发明人：张征;陈正堂;赵迪 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-02-08 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： F16K17/20 文献下载
摘要：本申请提供一种流量阀、质量流量控制装置及流量阀开度控制方法，该流量阀包括阀体、设置在阀体内的移动组件和与移动组件连接的位移传感器，其中：移动组件用于根据接收到的移动信号进行移动，以调节流量阀的流量；位移传感器用于根据移动组件的移动量确定流量阀的实际开度信号，并向流量阀开度控制器发送实际开度信号。应用本申请，可以对MFC上流量阀的开度实现精确控制，提高了MFC的可靠性。
流量质量控制装置阀开度方法

[发明专利]压力控制方法和装置、光伏设备-CN202010558574.6有效
发明人：郑文宁;赵迪;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-06-18 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种压力控制方法和装置、光伏设备，该方法包括以下步骤：S1、实时检测源瓶的压力和气体流量，以获得压力值和气体流量值；S2、基于压力值和气体流量值在单位时间内的波动情况，确认数据模式；S3、根据单位时间内获得的压力值和气体流量值，采用确认出的数据模式和智能计算模型进行计算，以获得调整因子；S4、基于调整因子，对用于计算压力输出值的预设控制算法所使用的控制系数进行修正，以获得新控制系数；S5、采用预设控制算法并使用新控制系数计算获得压力输出值，并输出至被控对象。本发明实施例提供的压力控制方法和装置、光伏设备，能够快速、精确地控制源瓶的压力，减少压力波动对工艺的影响，提高压力控制的响应速度。
压力控制方法装置设备

[发明专利]工艺腔室流量控制装置-CN202110929036.8在审
发明人： 陈正堂;王振东;赵寒阳 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： F16K1/32 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种工艺腔室流量控制装置。该工艺腔室流量控制装置包括：阀体组件设置于阀座组件上，阀体组件的一端开设有滑动槽，滑动槽的开口与阀座组件内的流体通道连通，滑动槽与阀座组件相对的内壁上开设有导向孔，导向孔与滑动槽同轴设置；阀芯组件可滑动地设置于滑动槽内，阀芯组件的一端开设有同轴设置的导向槽，阀芯组件的另一端能伸入流体通道内，通过控制阀芯组件在流体通道的径向滑动，以调节流体通道的开合度；导向组件设置于导向槽内，导向组件上具有导向柱，所述导向柱与所述导向孔滑动配合，用于对所述阀芯组件进行导向限位。本申请实施例大幅提高流量调节的精确性。
工艺流量控制装置

[发明专利]腔室压力控制方法及装置、半导体设备-CN201910314577.2有效
发明人：郑文宁;赵迪;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-04-18 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明提供一种腔室压力控制方法及装置、半导体设备，该方法包括以下步骤：S1，检测腔室内部的实际压力值；S2，计算实际压力值与预设的目标压力值的差值；判断差值是否超出预设范围，若超出，则进行步骤S3；若未超出，则流程结束；S3，获取控制系数，该控制系数为曲率与预设的PID系数的乘积，该曲率为与当前的气体流量值对应的关于压力和位置参数的曲线中，与执行单元的当前的位置参数值相对应的曲率；S4，基于差值和控制系数计算获得执行单元的位置参数调整量，向该执行单元输出，返回步骤S2。本发明提供的腔室压力控制方法及装置、半导体设备的技术方案，可以精确快速的控制腔室内压力，使之稳定在预设范围内，从而可以提高工艺质量和成品率。
压力控制方法装置半导体设备

[发明专利]质量流量控制装置、反应腔室压力控制系统及调节方法-CN201811390438.X有效
发明人： 陈正堂;苏乾益 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-11-21 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G05D27/02 文献下载
摘要：本发明提供的质量流量控制装置和反应腔室压力控制系统，包括质量流量管路、流量控制模块和驱动模块，其中，流量控制模块设置在质量流量管路上，用于限制流经的气体流量，驱动模块与流量控制模块连接，用于驱动流量控制模块移动，以调整流经流量控制模块的气体流量。由于在管路上设置流量控制模块，并由驱动模块驱动流量控制模块，从而在完全打开和完全关闭两种状态之间，还能够调节流经流量控制模块的流量，进而提高质量流量控制装置的控制精度。本发明提供的反应腔室的压力调节方法，能够通过质量流量控制装置调节流量，来调节反应腔室的压力，具有相应时间快、压力调节精度高的优点。
质量流量控制装置反应压力控制系统调节方法

[发明专利]流量控制阀及反应腔室压力控制装置-CN201910294890.4有效
发明人： 陈正堂;赵迪;郑文宁 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-04-12 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： F16K17/20 文献下载
摘要：一种流量控制阀及反应腔室压力控制装置。流量控制阀包括依次连接的进气接头、阀座和出气接头，还包括以并联方式连接于阀座的调节阀部件和截止阀部件，调节阀部件和截止阀部件分别用于调节通过阀座的气体流量。流量控制阀和反应腔室压力控制装置可实现较大流量范围内的流量调节，缩短响应时间。
流量控制反应压力装置

[发明专利]气体流量调节装置和半导体加工设备-CN202110060548.5在审
发明人：杨蕾;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2021-01-18 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种气体流量调节装置和半导体加工设备，该气体流量调节装置包括：底座结构，在底座结构中设置有气体通道；活塞部件，可移动地设置在底座结构中，用以通过在指定方向上移动来调节气体通道的通气截面面积；旋转驱动源的驱动轴包括位于旋转驱动源外部的连接部分；以及传动结构，其旋转件与驱动轴的连接部分连接，且与移动件螺纹连接，限位组件与移动件连接，用以在旋转件随驱动轴旋转时，限制移动件旋转，以使移动件能够相对于旋转件沿指定方向移动；移动件与活塞部件连接。本发明提供的气体流量调节装置和半导体加工设备，无需对电机要求较高的精度，从而可以降低设备成本，而且可以简化拆卸、调试过程，从而可以提高工作效率。
气体流量调节装置半导体加工设备

[发明专利]气体质量流量控制器-CN202010900168.3在审
发明人：王振东;陈正堂;赵迪 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种气体质量流量控制器，用于检测流经工艺腔室的气体流量，包括相互独立的流量检测模块和流量调节模块，以及控制模块，其中，流量检测模块设置在工艺腔室的进气端，用于检测该工艺腔室的进气端处的气体流量值，并发送至控制模块；流量调节模块设置在工艺腔室的出气端，用于调节工艺腔室的出气端处的气体流量；控制模块用于根据流量检测模块检测到的气体流量值和流量设定值，控制流量调节模块调节工艺腔室的出气端的气体流量，以使流经工艺腔室的气体流量等于流量设定值。本发明实施例提供的气体质量流量控制器，不仅可以提高控制精度，尤其可以保证温度敏感型气体的流量精度，而且便于拆装和维护。
气体质量流量控制器

[发明专利]工艺腔室压力控制装置-CN202010778501.8在审
发明人： 陈正堂;赵迪;郑文宁 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2020-08-05 - 公布日： 2020-11-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种工艺腔室压力控制装置。该压力控制装置与半导体工艺设备的工艺腔室连接，其包括：流体通道具有进气口及出气口；流量传感器与流体通道连通，并且靠近进气口设置，用于检测流体通道内的气流量；压力传感器与流体通道连通，并且靠近出气口设置，用于检测流体通道内的气压值；流量调节机构与流体通道连接，并且位于流量传感器及压力传感器之间，用于调节流体通道的开合度；控制器与用于根据流量传感器检测到的气流量和/或压力传感器检测到的气压值，控制流量调节机构调节流体通道的开合度，以调节工艺腔室内的压力。本申请实施例大幅缩小了体积及降低应用维护成本，并且大幅减少外漏漏点数量。
工艺压力控制装置

[发明专利]压力调节阀、压力控制阀以及反应腔室-CN201911300970.2在审
发明人： 陈正堂;赵迪;郑文宁 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2019-12-17 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： F16K1/22 文献下载
摘要：本发明提供的一种压力调节阀，调节阀为三偏心蝶阀，三偏心蝶阀包括具有流道的阀座、设置在流道中的碟片以及密封圈，其中，流道的周壁上设置有凹槽，凹槽的侧壁上设置有第一配合部；密封圈包括支撑部和密封部，支撑部上设置有第二配合部，支撑部设置在凹槽中，且第二配合部与第一配合部向卡合，以防止密封圈从凹槽中脱落，密封部与支撑部连接，用于在碟片关闭时，密封碟片两侧的空间。本发明利用第二配合部与第一配合部相互配合，以将密封圈固定在阀座的流道中，避免密封圈脱落，进而提高压力调节阀的密封性，增加压力调节阀的稳定性。本发明还提供了一种压力控制阀和一种反应腔。
压力调节控制以及反应

[发明专利]流体传感器及质量流量控制器-CN201810785756.X在审
发明人：苏乾益;宋志辉;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本发明提供一种流体传感器及质量流量控制器，该流体传感器包括至少两根测量管，至少两根测量管的管径具有比例关系。本发明提供的流体传感器，其可以保证在整个测量范围内的测量精度，还可以提高装置的可靠性。
流体传感器测量管测量质量流量控制器提高装置管径保证

[发明专利]一种流体输送测量装置-CN201611127685.1有效
发明人：苏乾益;宋志辉;杜井庆;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2016-12-09 - 公布日： 2019-10-25 - 主分类号： G01F1/76 文献下载
摘要：本发明公开了一种流体输送测量装置，包括：导热架，安装在底座表面，其设有一对竖直支架，支架具有侧向开口的卡槽；U形传感管，其水平中部的两端分嵌于两个支架的卡槽内并固定，其弯曲部的两端分别由底座表面向下密封穿过底座，传感管的水平中部绕有传感丝组；压板，安装在底座表面，用于将扁平电缆线的端部压紧并固定在底座表面上，扁平电缆线通过其端部露出的接线端子连接传感丝组的接线头；外罩，安装于底座表面，用于将传感管、导热架、压板罩住，外罩内部具有与传感管、导热架、压板外形对应的保温式避让槽。本发明可减小零漂，提高抗干扰能力，降低对安装位置的敏感度，实现高精度、快响应地进行流体输送测量。
底座表面传感管流体输送导热架扁平电缆线测量装置传感丝外罩支架接线端子连接抗干扰能力侧向开口竖直支架压板外形保温式避让槽接线头快响应敏感度弯曲部压板罩减小零漂压板压紧底座密封测量穿过

[实用新型]流体传感器及质量流量控制器-CN201821130304.X有效
发明人：苏乾益;宋志辉;陈正堂 -专利权人：北京七星华创流量计有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2019-04-23 - 主分类号： G05D7/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种流体传感器及质量流量控制器，该流体传感器包括至少两根测量管，至少两根测量管的管径具有比例关系。本实用新型提供的流体传感器，其可以保证在整个测量范围内的测量精度，还可以提高装置的可靠性。
流体传感器质量流量控制器本实用新型测量管测量提高装置管径保证

[发明专利]血浆miRNA水平指导非小细胞肺癌适宜放疗剂量的检测技术-CN201510989691.7在审
发明人：孙建国;陈旭;徐燕梅;张露萍;李德志;陈正堂 -专利权人：中国人民解放军第三军医大学第二附属医院
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2016-03-16 - 主分类号： C12Q1/68 文献下载
摘要：本发明公开了一种血浆miRNA水平指导非小细胞肺癌适宜放疗剂量的检测技术，步骤如下：(1)、抽取肺癌患者放疗前外周血，提取血浆；(2)、分离纯化血浆总RNA；(3)、以cel-miR-39-3p(cel-39)作为外参照，与miR-18a-5p反转录引物一起进行反转录；(4)、加入miR-18a-5pPCR引物进行10个循环的预扩增；(5)、加入cel-39引物与miR-18a-5pPCR引物，qPCR法检测肺癌患者血浆miR-18a-5p水平；(6)、miRNA判读标准：miR-18a-5p/cel-39>2.28。本发明设计合理，血浆中miRNAs可反映肿瘤细胞的生物学特性，检测血浆中miRNA表达水平，从而预测肺癌放疗敏感性，具有快速、简洁、准确的优点。
血浆 mirna 水平指导细胞肺癌适宜放疗剂量检测技术

[发明专利]用于肺癌诊断的靶向奥曲肽修饰的壳聚糖分子信标纳米复合物的制备方法-CN201410421419.4有效
发明人： 陈正堂;孙建国;朱海振;姚权;安江宏;韩静;李雪涛;朱聪慧;江飞龙;陈光朋 -专利权人：中国人民解放军第三军医大学第二附属医院
申请日： 2014-08-25 - 公布日： 2014-12-03 - 主分类号： A61K49/00 文献下载
摘要：本发明的用于肺癌诊断的靶向生长抑素类似物奥曲肽(OCT)修饰的壳聚糖(CS)分子信标(MB)纳米复合物，通过用自组装法合成壳聚糖分子信标纳米复合物，然后通过化学反应以戊二醛为交联剂合成靶向奥曲肽修饰的壳聚糖miR-155(microRNA-155)分子信标纳米复合物，该靶向奥曲肽修饰的壳聚糖分子信标纳米复合物能够根据荧光强度动态监测肺癌的发生、发展过程，可应用于肺癌细胞及肺癌荷瘤鼠活体动物成像，具有靶向性强、转染效率高、特异性高、稳定性好、背景低等特点，将为肺癌的早期诊断提供新思路、新方法和新技术。
用于肺癌诊断靶向奥曲肽修饰聚糖分子信标纳米复合物制备方法

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