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- [发明专利]半导体存储器-CN200410034250.3有效
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石仓聪;里见胜治
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松下电器产业株式会社
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2004-04-05
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2004-10-13
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H01L27/11
- 6晶体管型SRAM存储单元一直多采用横型存储单元布局,但因是横长形,例如当使位线为第2或第3层布线时,前者在横向延伸的字线与VSS电源在同一层中靠近地并排延伸,从而字线寄生电容增大和布线微粒引起的成品率降低;后者的位线被VSS电源与VDD电源夹着并排延伸,从而位线寄生电容增大。本发明分别用第2、第3、第4层布线配置正/负位线、字线、VSS电源布线,并将VDD电源布线配置在正/负位线之间。另外,分别用第2、第3、第4层布线配置字线、正/负位线、VSS电源布线,并将VDD电源布线配置在正/负位线之间。另外,分别用第2、第3、第4、第5层布线配置VDD电源布线、正/负位线、字线、VSS电源布线。另外,分别用第2、第3、第4、第5层布线配置正/负位线、VDD电源布线、字线、VSS电源布线。
- 半导体存储器
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