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[发明专利]一种FPGA虚拟化资源调度系统及方法-CN202310616927.7在审
发明人：李玉成;李志刚;路雪松 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十二研究所
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：本发明属于计算机技术领域，具体涉及一种FPGA虚拟化资源调度系统及方法。一种FPGA虚拟化资源调度系统，包括资源调度管理模块以及多个资源处理节点，每个资源处理节点均包括通信连接的FPGA虚拟化模块、上层控制器模块，上层控制器模块与资源调度管理模块通信连接；FPGA虚拟化模块包括采用局部动态重构技术将物理FPGA划分为一个静态区域、一个或多个动态可重构区域，每个动态可重构区域用于部署并实现FPGA资源调度任务；上层控制器模块用于监管FPGA虚拟化模块中动态可重构区域的FPGA资源使用情况；资源调度管理模块，用于接收资源调度需求，并根据各FPGA虚拟化模块中动态可重构区域的FPGA资源使用情况，对所有节点中的动态可重构区域的PFGA资源进行调度管理。
一种 fpga 虚拟资源调度系统方法

[发明专利]一种NUMA架构下多任务调度管理系统-CN202310615494.3在审
发明人：李志刚;路雪松;陶磊;项世珍 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十二研究所
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： G06F9/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种NUMA架构下多任务调度管理系统，包括多个节点，在其中一个节点上部署服务组件和调度组件，且在有节点上部署执行组件，用户根据任务情况生成任务清单。本NUMA架构下多任务调度管理系统进行用户任务调度时，兼顾用户任务优先级、保证CPU优先访问节点本地内存以及节点间负载均衡，进而有效防止CPU跨节点内存访问，避免远程内存访问的高延迟导致应用任务性能下降，从而提高系统性能及稳定性；本NUMA架构下多任务调度管理系统的流程实现简单、执行效率高且效果好以及兼容性强，调度策略时根据当前可用资源信息和任务资源需求生成，实现多类型资源公平分配。
一种 numa 架构任务调度管理系统

[发明专利]用于在等离子体处理腔室中的原位腔室清洁效率提高的等离子体处理工艺-CN201780027736.X有效
发明人：张林;路雪松;安德鲁·V·勒;吴昌锡;鑫海·韩 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-04-11 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本公开内容的实施方式包括用于半导体基板制造工艺的等离子体处理腔室的原位腔室清洁效率提高工艺的方法。在一个实施方式中，用于在清洁等离子体工艺之后执行等离子体处理工艺的方法包括以下步骤：在没有设置在等离子体处理腔室上的基板的情况下，在等离子体处理腔室中执行清洁工艺；随后将包括至少含氢气体和/或含氧气体的等离子体处理气体混合物供应到等离子体处理腔室中；将RF源功率施加到处理腔室，以由等离子体处理气体混合物形成等离子体；和等离子体处理处理腔室的内表面。
用于等离子体处理中的原位清洁效率提高工艺

[发明专利]一种基于动态加载和重定向技术的DSP虚拟化系统及方法-CN202211248281.3在审
发明人：李志刚;李玉成;路雪松;史亮;陈夏燕 -专利权人：中国电子科技集团公司第五十二研究所
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06F9/445 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于动态加载和重定向技术的DSP虚拟化系统及方法，系统通过运行在主机的HOST侧与运行在DSP的DSP侧协同工作实现，DSP侧包括DSP固件模块，HOST侧包括DSP Lib模块、vDSP Manager模块和vDSP Lib模块。本发明通过DSP虚拟化系统实现多用户对单DSP资源的并发使用，解决DSP只能由单一用户开发和使用的问题，达到提升DSP资源利用率的目的。本发明对于CPU‑DSP协同应用，用户可简单通过DSP函数蓝图扩展和vDSP Lib模块扩展来灵活支持CPU‑DSP应用程序中新的DSP API调用请求。
一种基于动态加载定向技术 dsp 虚拟系统方法

[发明专利]具有场聚合物保护的方向性选择性接面清洁-CN202180008580.7在审
发明人：雷雨;路雪松;河泰泓;唐先敏;安德鲁·阮;龚则敬;菲利普·A·克劳斯;刘仲楠;孙晖;呼宇飞 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-05-17 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/311 文献下载
摘要：描述了一种清洁用于制造半导体装置的接面界面的处理，涉及在垂直分离的区域之间形成低电阻的电连接。可执行蚀刻以移除凹陷特征底部处的硅表面上的氧化硅。描述了用于蚀刻孔或沟槽底部处的氧化物同时最小化对底层的外延层和场上的介电层和金属栅极结构的转角的影响的方法和设备。用于蚀刻特征的方法涉及配备有电容耦合等离子体和电感耦合等离子体的组合的反应腔室。CHxFy气体和等离子体用于形成保护层，可通过NH3‑NF3等离子体使选择性蚀刻底部二氧化硅成为可能。理想情况下，EPI上的氧化硅被移除以确保低电阻的电接触，同时外延层和场/转角介电层仅被最少地蚀刻或完全不被蚀刻。
具有聚合物保护方向性选择性清洁

[发明专利]一种电动葫芦及其控制方法-CN201910265811.7有效
发明人：丁煦;路雪松;丁苏赤;王栋 -专利权人：丁煦
申请日： 2019-04-03 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B66D1/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种电动葫芦，包括操作杆、PLC控制模块、电机、吊钩；所述电动葫芦的工作模式包括：手动模式、悬浮模式；其中，所述手动模式下，操作人员通过操控手柄控制电机运转，从而控制吊钩向下运动或向上运动；所述悬浮模式下，操作人员通过上推或下拉吊钩上所吊挂的工件控制电机运转，从而控制吊钩向下运动或向上运动。本发明的电动葫芦包括手动模式和悬浮模式，方便操作人员针对现场的不同情况灵活操控电动葫芦，提高了操作人员的工作效率；且本发明的电动葫芦还解决了悬浮模式下进行卸货时出现触地反弹的问题。
一种电动葫芦及其控制方法

[发明专利]用以防止HDP-CVD腔室电弧放电的先进涂层方法及材料-CN202210097874.8在审
发明人：琳·张;路雪松;安德鲁·V·勒;吴昌锡 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2022-05-27 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文中所述的实施方式涉及用以减少(例如在HDP‑CVD、PECVD、PE‑ALD及蚀刻腔室中)腔室电弧放电的装置及涂覆方法。所述装置包括用于涂覆材料的原位沉积的环形气体分配器，及包括环形气体分配器的处理腔室。所述环形气体分配器包括环形主体，所述环形主体具有设置于环形主体的第一侧面上的至少一个气体进口及设置在环形主体的第一表面上的多个气体分配口。所述多个气体分配口被布置在多个均匀分布的行中。所述多个均匀分布的行的第一行中的多个气体分配口被调适为以与多个均匀分布的行的第二行中的多个气体分布口的出口角不同的出口角引导气体。
用以防止 hdp cvd 电弧放电先进涂层方法材料

[发明专利]用以防止HDP-CVD腔室电弧放电的先进涂层方法及材料-CN201680025485.7有效
发明人：琳·张;路雪松;安德鲁·V·勒;吴昌锡 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-10-26 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本文中所述的实施方式涉及用以减少(例如在HDP‑CVD、PECVD、PE‑ALD及蚀刻腔室中)腔室电弧放电的装置及涂覆方法。所述装置包括用于涂覆材料的原位沉积的环形气体分配器，及包括环形气体分配器的处理腔室。所述环形气体分配器包括环形主体，所述环形主体具有设置于环形主体的第一侧面上的至少一个气体进口及设置在环形主体的第一表面上的多个气体分配口。所述多个气体分配口被布置在多个均匀分布的行中。所述多个均匀分布的行的第一行中的多个气体分配口被调适为以与多个均匀分布的行的第二行中的多个气体分布口的出口角不同的出口角引导气体。
用以防止 hdp cvd 电弧放电先进涂层方法材料

[发明专利]用于半导体设备的匹配腔室性能的方法-CN201680033926.8有效
发明人： 路雪松;张林;安德鲁·V·勒 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-08-31 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明的实施方式提供匹配及校准处理腔室中的处理腔室性能的方法。在一个实施方式中，用于校准用于半导体制造处理的处理腔室的方法包含以下步骤：在处理腔室中执行第一预定处理，在执行预定处理的同时收集第一组信号(第一组信号由设置在处理腔室中的第一组传感器传输至控制器)，分析所收集的第一组信号，将所收集的第一组信号与储存在控制器中的数据库比较以检查来自第一组传感器的传感器响应，当发现失配传感器响应时基于所收集的第一组信号来校准传感器，随后在处理腔室中执行第一系列处理，及在执行系列处理的同时收集第二组信号(第二组信号由传感器传输至控制器)。
用于半导体设备匹配性能方法

[实用新型]一种物料包边精准剪切机-CN201922424383.6有效
发明人：吴俊杰;丁煦;郑红梅;黄思航;路雪松 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： D05B35/06 文献下载
摘要：本实用新型属于纺织生产技术领域，具体涉及一种物料包边精准剪切机，包括机架，所述机架上设有呈横向放置的物料的输送机构；所述剪切机还包括剪切机构，剪切机构位于输送机构上输送的物料包边的行进路径上；所述剪切机构包括剪切单元和控制单元，来料检测单元将来料信号传递至剪切机构的控制单元中，控制单元控制剪切单元对物料包边进行切割，同时随着输送机构上物料包边的持续供给，控制单元控制剪切单元对物料进行有序间断性剪切，实现了对包边物料的自动化剪切，同时实现精准剪切，保证了剪切质量；当来料检测单元检测到输送机构上无物料包边时，来料检测单元将信号传递至剪切机构的控制单元中，控制单元控制剪切单元停止工作。
一种物料精准剪切

[发明专利]先进温度监测系统和用于半导体制造生产力的方法-CN201980013792.7在审
发明人： 路雪松;琳·张;约瑟夫·C·沃纳;吴昌锡;巴拉基·帕苏帕希;迈克尔·W·约翰逊 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-01-11 - 公布日： 2020-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文中的实施方式提供监测流体输送管道和其他部件的温度的方法和与所述方法相关的监测系统，所述流体输送管道用于将流体输送到在电子装置制造中使用的处理腔室的处理空间，所述其他部件在处理腔室的处理空间外部。在一个实施方式中，一种监测处理系统的方法包括以下步骤：经由数据采集装置接收来自一个或多个温度传感器的温度信息，和接收来自系统控制器的背景信息，所述系统控制器耦接至包括处理腔传达室的处理系统。在此，一个或多个温度传感器设置在处理腔室的处理空间外部的一个或多个位置中。背景信息与由系统控制器执行以控制处理系统的一个或多个操作的指令相关。
先进温度监测系统用于半导体制造生产力方法

[发明专利]一种电力通信传输桥架-CN202010194308.X在审
发明人：王晓峰;袁媛;孙超宇;郭智超;王可;路雪松;王可贺 -专利权人：齐齐哈尔医学院附属第二医院
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： H02G3/04 文献下载
摘要：本发明涉及电力通讯行业技术领域,公开了一种电力通信传输桥架,解决了现有的桥架不能实现在任意位置向下延伸铺设电缆，使得电缆的铺设很不方便的问题，包括两块相互平行的侧板与若干个固定部，两块侧板之间卡接有支撑部，支撑部包括两根相互平行的安装条，两根安装条之间均匀固定有若干根支撑杆，且两根安装条相互靠近的一侧均开设有卡槽，固定部包括两块安装块，两块安装块之间固定有固定杆，且两块安装块相互远离的一侧均滑动插设有卡块，卡块的底端固定有弹簧，固定杆上表面的两端通过锁紧螺杆安装有L型固定板，根据需要把固定部卡接在不同位置的两侧卡槽之间，使线缆向下延伸铺设，从而减少线缆的损坏，提高其使用寿命。
一种电力通信传输

[发明专利]一种物料包边精准剪切机-CN201911375882.9在审
发明人：吴俊杰;丁煦;郑红梅;黄思航;路雪松 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-04-28 - 主分类号： D05B35/06 文献下载
摘要：本发明属于纺织生产技术领域，具体涉及一种物料包边精准剪切机，包括机架，所述机架上设有呈横向放置的物料的输送机构；所述剪切机还包括剪切机构，剪切机构位于输送机构上输送的物料包边的行进路径上；所述剪切机构包括剪切单元和控制单元，来料检测单元将来料信号传递至剪切机构的控制单元中，控制单元控制剪切单元对物料包边进行切割，同时随着输送机构上物料包边的持续供给，控制单元控制剪切单元对物料进行有序间断性剪切，实现了对包边物料的自动化剪切，同时实现精准剪切，保证了剪切质量；当来料检测单元检测到输送机构上无物料包边时，来料检测单元将信号传递至剪切机构的控制单元中，控制单元控制剪切单元停止工作。
一种物料精准剪切

[发明专利]一种包括升降式线盘转运部的机器人-CN201910365309.3在审
发明人：吴玉程;路雪松;丁煦;翟华;储彬;卢裕敏 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B65G25/06 文献下载
摘要：本发明涉及转运物料机器人领域，尤其涉及一种包括升降式线盘转运部的机器人，该机器人包括行走部，所述行走部上设置有机架，所述机架包括上水平板、与上水平板垂直且位于水平板两端部下方的两个机架侧板，所述机架上设置有升降式线盘转运部；所述升降式线盘转运部包括移动架和驱动移动架上下移动的卷扬驱动组件，所述移动架上设置固定线盘的结构，所述机架侧板位于线盘的两侧；所述移动架在卷扬驱动组件的作用下包括第一工位和第二工位，第一工位处于低位用于上下线盘，第二工位处于高位用于运送线盘。该发明的优点在于：提供一种升降式线盘转运部，通过卷扬驱动组件来实现上下线盘和运送线盘，从而实现线盘运送的机械化搬运。
线盘转运升降式移动架工位驱动组件卷扬机架侧板上水平板行走部运送线机器人机器人领域固定线盘人本发明上下移动两端部水平板有机架低位机械化搬运垂直运送驱动

[发明专利]机器人运送线盘至框绞机的控制方法-CN201910365316.3在审
发明人： 路雪松;丁煦;翟华;王栋;茆弘民;王丁玎;张鹏;王静;黄思航 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2019-04-30 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： B65H67/02 文献下载
摘要：一种机器人运送线盘至框绞机的控制方法，具体步骤包括S1、机器人从停止位(PS)运动到工作原点(P0)；S2、将满线盘送到地板上的所有线盘放置区(PX)；S3、将框绞机内放满满线盘，运满线盘填满未放置线盘的线盘放置区(PX)，等待框绞机第一次加工完毕的一排空线盘，将该空线盘放置到空线盘放置区(PY)；S4、将线盘放置区(PX)的满线盘放置到框绞机内，后将该排空线盘放置到对应的线盘放置区(PX)处；S5、重复步骤S4，将空线盘放置区(PY)内的空线盘移动到线盘置换区内；S6、将线盘放置区(PX)的空线盘移动到线盘置换区内，取出满线盘放回到相应的线盘放置区(PX)；S7、回到步骤S4。本发明使用一个转运线盘机器人实现框绞机自动上下线盘。
线盘放置区框绞机空线盘机器人运送线排空置换工作原点停止位填满移动转运地板取出加工重复

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