专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]传感器及用于形成传感器的方法-CN201911036102.8有效
  • 郑钧文;赖飞龙;张贵松;蔡尚颖 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2019-10-29 - 2023-08-11 - B81B7/02
  • 在一些实施例中,提供一种传感器。所述传感器包括:微机电系统(MEMS)衬底,设置在集成芯片(IC)之上,其中集成芯片界定第一空腔的下部部分及第二空腔的下部部分,且其中第一空腔具有与第二空腔的操作压力不同的第一操作压力。顶盖衬底设置在微机电系统衬底之上,其中顶盖衬底的第一对侧壁局部地界定第一空腔的上部部分,且顶盖衬底的第二对侧壁局部地界定第二空腔的上部部分。传感器区域及虚设区域二者设置在第一空腔中,传感器区域包括微机电系统衬底的能够移动的部分,虚设区域包括微机电系统衬底的固定部分。压力增强结构设置在虚设区域中。
  • 传感器用于形成方法
  • [发明专利]集成电微流控探针卡、系统及其使用方法-CN201310039862.0有效
  • 刘怡劭;赖飞龙;郑创仁;郑钧文 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2013-01-31 - 2017-04-12 - B81B7/00
  • 本发明提供了一种生物场效应晶体管(BioFET)设备的测试和处理方法、系统和装置。晶圆级生物传感器处理工具包括晶圆载物台、集成电微流控探针卡以及流体供应器和回流器。该集成电微流控探针卡包括流控底座(其可以为透明的)、流控底座中的微流体通道、位于流控底座的底部的至少一个微流控探针和多个电探针顶端、位于流控底座的侧部的流体和电子输入口和输出口以及位于流控底座上的至少一个操作凸缘。该方法包括对准晶圆、安装集成电微流控探针卡、使测试流体流动以及测试电气性能。该工具还可以用于标识或标记晶圆上的设备区中的流体。本发明还提供了一种集成电微流控探针卡、系统及其使用方法。
  • 集成电微流控探针系统及其使用方法
  • [发明专利]半导体结构及其制造方法-CN201610600300.2在审
  • 郑钧文;朱家骅;赖飞龙;林详淇 - 台湾积体电路制造股份有限公司
  • 2016-07-27 - 2017-03-15 - B81B7/00
  • 本发明的实施例提供了一种半导体结构,包括第一器件和第二器件。第一器件包括第一衬底;穿过第一衬底并且填充有导电或半导体材料的多个通孔;第一氧化物层,围绕导电或半导体材料;腔体,被第一衬底围绕;金属材料,设置在第一表面上方;第二氧化物层,设置在第二表面上方;膜,设置在第二氧化物层和腔体上方;加热器,设置在膜内;感测电极,设置在膜和加热器上方;以及感测材料,设置在腔体上方并且与感测电极接触。第二器件包括第二衬底和设置在第二衬底上方的接合结构。金属材料与接合结构接合以将第一器件与第二器件集成。本发明实施例涉及半导体结构及其制造方法。
  • 半导体结构及其制造方法

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