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- [实用新型]晶圆高效抓取装置-CN202021685056.2有效
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李佳森;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2020-08-13
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2021-05-04
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B25J15/06
- 本实用新型揭示了一种晶圆高效抓取装置，包括呈圆柱状的基座，所述基座外圆周面的四周均布有一组抓取块，所述抓取块上固设有一滑杆，所述滑杆至少部分贯穿所述基座延伸置于所述基座的容置腔内，所述基座上固设有一可上下移动的驱动件，所述驱动件可驱动所述抓取块面向或背向所述基座的中轴线移动；所述基座的底部还固设有一吹气板，所述吹气板上还设有吹气孔。本实用新型的有益效果主要体现在：该装置在将晶圆抓取时，吹气孔与晶圆之间有气体流动，产生微小的间隙，从而使得晶圆与基座之间不直接接触，减少对晶圆的污染，降低在抓取时对晶圆的损坏，提高良品率。
- 高效抓取装置
- [实用新型]晶圆旋转清洗装置-CN202021686394.8有效
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李佳森;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2020-08-13
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2021-05-04
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B08B3/04
- 本实用新型揭示了一种晶圆旋转清洗装置，包括基座以及开设在其上的容置空间，所述容置空间内配置有用以容置晶圆的承载组件，所述承载组件的下方设有枢轴设置在所述基座上用以驱动所述晶圆转动和震荡的转辊组件，所述转辊组件的外表面承靠所述晶圆的边缘，且所述转辊组件由固设在所述基座上的驱动组件驱动。本实用新型的有益效果主要体现在：驱动电机依次通过驱动齿轮、主动齿轮和从动齿轮驱动转辊转动，从而通过转辊带动晶圆旋转清洗的效果，该装置结构精巧，装配要求低，能够降低晶圆转速防止容置空间内的液体因摩擦而升温。另外，转辊上开设有的缺口，可增加晶圆震荡的幅度，便于晶圆表面附着的污染物和细小微粒被强制除去，提高良品率。
- 旋转清洗装置
- [实用新型]石英管无动力清洗装置-CN202021686399.0有效
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白忠华;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2020-08-13
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2021-05-04
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B08B9/023
- 本实用新型揭示了一种石英管无动力清洗装置，包括一箱体；一承载机构，设置在所述箱体内，用以承载倒扣放置的石英管；一驱动组件，设置在所述承载机构的一侧，用以驱动所述承载机构自转；一多方位喷嘴，设置在所述承载机构上，用以对所述石英管的内壁进行清洗；一自动力喷嘴，设置在所述承载机构的上方，用以对所述石英管的外壁进行清洗。本实用新型的有益效果主要体现在：自动化程度高，只需将石英管倒扣在承载板上，即可实现自动清洗，多方位喷嘴对准石英管内部清洗，喷嘴可以清洗石英管内壁及石英管内壁上的死角；自动力喷嘴可在喷射力的作用下，自动转动，对石英管外壁进行清洗，无需电机的驱动，极大程度上降低成本。
- 石英管动力清洗装置
- [实用新型]晶圆盒全自动夹持装置-CN202021685055.8有效
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高翔鹰;裴文龙;陈晨;张少阳;谷晓东
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苏州芯矽电子科技有限公司
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2020-08-13
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2021-04-09
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H01L21/677
- 本实用新型揭示了一种晶圆盒全自动夹持装置，包括机架，所述机架上设有一可沿其轴线上下移动的驱动壳体，所述驱动壳体上枢轴设有夹持轴，所述夹持轴上设有用以将晶圆盒夹持的夹持件，所述夹持轴可由设置在所述驱动壳体内的驱动组件驱动其相向或相背转动。本实用新型的有益效果主要体现在：夹持件同步相向或相背转动，工作速度一致，能同时夹持晶圆盒且不会将晶圆盒碰倒；晶圆盒受力均匀，不会发生损坏或破损的情况，延长使用寿命；同时，驱动壳体可由传动丝杆通过传动螺母驱动其上下移动，可精准的控制驱动壳体移动的位置，避免抓取过程出现偏差的情况。另外，该操作工作平稳可靠，避免失误的产生。
- 晶圆盒全自动夹持装置
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