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[实用新型]一种超高真空用机械手导入装置-CN202223393416.3有效
发明人： 詹铁锤 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： B29C37/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种超高真空用机械手导入装置，属于机械手领域，一种超高真空用机械手导入装置，包括真空箱和机械手，真空箱的内部设置有真空泵，真空泵的一端固定连接有出气管，真空泵的另一端固定连接有进气管，真空箱的内底面固定连接有工作箱，真空箱的顶部固定连接有真空过渡管，它可以通过设置连接管、固定管和移动杆，将传统的导入杆变成双层，则当需要导入时，可以将固定管利用密封组件进行固定密封，可以避免巨大摩擦带给密封组件的损伤，同时推动橡胶囊，通过橡胶囊将移动杆往里推，实现了将机械手导入工作箱的目的，在橡胶囊的作用下，外界气体无法进入真空过渡管内，不会发生密封不佳的问题。
一种超高真空机械手导入装置

[发明专利]一种逻辑芯片漏电失效分析剥离装置-CN202310092568.X在审
发明人： 詹铁锤 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G01R31/317 文献下载
摘要：本发明提供了应用于逻辑芯片领域的一种逻辑芯片漏电失效分析剥离装置，本方案通过将漏电芯片放置于剥离槽中对其进行开帽，当暴露出部分引线时，利用防护打磨块上的限制槽扣住芯片并通过出胶孔向芯片表面加注树脂，利用树脂对引线进行固定，减少了在继续剥离时对引线造成的晃动和损伤，提高了继续剥离的安全性，利用高清摄像头对芯片进行拍摄并通过图像分析模块分析出需要继续剥离的区域，配合电动打磨球对指定位置进行剥离，精准识别待剥离区域，有效避免了损伤引线和芯片，提高了剥离的完整性，通过纯净水和二氧化硅颗粒混合物对芯片表面进行冲刷，可以逐步的剥离受到腐蚀的芯片封装层，减少了机械剥离对芯片造成的伤害。
一种逻辑芯片漏电失效分析剥离装置

[发明专利]一种蓄冷器压力测试系统-CN202310218665.9在审
发明人： 詹铁锤 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2023-03-09 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： G01N3/12 文献下载
摘要：本申请公开了应用于压力测试领域的一种蓄冷器压力测试系统，该测试系统通过回收罐等装置的设置，被测管在测试结束后，打开泄压控制阀将被测管的内部的高压氮气通过泄压管导入回收罐的内部对氮气进行回收，避免了氮气的浪费，同时打开排水控制阀和水泵，关闭进水控制阀，向被测管的内部填充置换液，此时被测管内部残留的氮气就可完全被挤压至回收罐的内部，然后关闭泄压控制阀，打开排气控制阀，使水泵将被测管内部的置换液重新抽回至储液罐的内部，并将排气控制阀和排水控制阀关闭，最后将被测管从上接板和下接板上拆除，通过上述设置，可进一步的对被测管内部残留的氮气进行回收，极大的避免了氮气的浪费。
一种蓄冷器压力测试系统

[实用新型]一种芯片表面划痕检测装置-CN202223536876.7有效
发明人： 詹铁锤 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G01N21/89 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种芯片表面划痕检测装置，属于芯片加工技术领域，一种芯片表面划痕检测装置，包括检查台，检查台上端左右两侧均固定连接有支撑柱，一对支撑柱靠近一侧固定连接有放大镜，一对支撑柱下侧均开设有通孔，一对通孔内部均横向插设有转杆，一对转杆相互靠近一侧均固定连接有夹具，一对夹具相互靠近一侧均开设有与芯片相适配的卡槽，一对检查台上端固定连接有顶板，顶板中间设置有玻璃窗口，玻璃窗口、海绵垫以及一对夹具自上而下依次分布，且轴心线处于同一条直线上，可以实现检测人员从放大镜上端进行观察，同时检测时芯片自动转动，减少了检测人员的操作步骤，增加检测舒适度，同时能提高检测效率。
一种芯片表面划痕检测装置

[实用新型]一种具有防护结构的芯片剥离装置-CN202320016852.4有效
发明人： 詹铁锤 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2023-01-05 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有防护结构的芯片剥离装置，属于芯片加工技术领域，一种具有防护结构的芯片剥离装置，包括剥离箱与芯片本体，剥离箱上端后侧开设有剥离通孔，剥离箱内部设置有转动连接的转轴，转轴外壁固定连接有一对主动齿轮，一对主动齿轮后侧设置有与主动齿轮之间啮合连接的从动齿板，一对从动齿板上端固定连接有刮板，刮板靠近剥离通孔一侧固定连接有刮刀，剥离箱后侧内壁通过铰链转动连接有支撑杆，可以实现利用机器对芯片本体上的保护膜进行自动刮除，剥离箱内设置的防护板能很好的起到对芯片本体的保护作用，使得芯片本体不易产生损坏的同时提高了芯片本体的剥离效率。
一种具有防护结构芯片剥离装置

[发明专利]一种空心阴极放电电极水冷装置-CN201911067234.7在审
发明人： 詹铁锤;程光周;薛进;倪红德 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H05H1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种空心阴极放电电极水冷装置,包括空心电极与箱体电极，所述空心电极为多层电极，且多层电极的主体为环绕成多层管状结构的多层电极管，且在多层电极管的两端分别设有进水口II与出水口II，所述进水口II与出水口II的外圆上均套设有密封套II，且在进水口II与出水口II的端部均固定套接有水管接头II，所述箱体电极的侧面设有与进水口II与出水口II相穿配的过孔，且在箱体电极与多层电极的侧面之间设有块状结构的电极固定块；本发明通过在单层电极管与多层电极管内通入循环冷却水，能够及时带走电极放电产生的热量，进而能够营造适宜的腔内环境，并且整个机构不产生环境污染，可实现环保循环利用。
多层电极出水口进水口电极电极水冷装置多层管状结构空心阴极放电电极固定块循环冷却水单层电极电极放电空心电极块状结构水管接头循环利用侧面固定套密封套管内腔内外圆环绕环保

[发明专利]一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置-CN201911067925.7在审
发明人： 詹铁锤;程光周;徐佳圆;倪红德 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种圆腔体内环形电极等离子体放电的装置,包括放电室、放电室两端套接的法兰盘电极与放电室外圆上套配的环形电极，所述放电室的主体为圆柱形管状结构，且在绝缘套的外圆上套配有环形套状结构的两个环形电极，所述放电室的左右两端分别套接有圆盘状结构的法兰盘电极；通过将法兰盘电极作为放电的一极，环形电极作为另一极电极，使两个电极在放电室内形成三维放电，进而使整个放电室内的放电更为均衡；通过将两个法兰盘设为同一电极，将两个环形电极设为另一极电极，成倍的增加了整个电极的表面积，进而使放电室内的有效放电空间面积成倍增加，提高了整个放电室的空间利用率。
电极放电放电室环形电极法兰盘室内上套套接圆柱形管状结构电极等离子体空间利用率圆盘状结构放电空间环形套状体内环形绝缘套外圆圆腔三维室外均衡

[发明专利]一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置-CN201911067235.1在审
发明人： 詹铁锤;程光周;薛进;倪红德 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2019-11-04 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种方腔体内平板电极等离子体放电的装置,包括电极室、电极室内所设的固定架与固定架中间所插配的电极板，所述电极室为方型箱体结构，所述电极室的内壁上固定安装有固定架，所述固定架的左右两侧对称设有四条T型条状结构的竖直导轨；本发明中，电极室作为一极电极，两个电极板同为另一极电极，这种结构使得电极板与电极室之间的放电较为均衡，工件放置在电极板上后，其表面可以得到充分的清洗，因此保证了等离子表面处理的质量；两电极板与电极室之间均可形成辉光放电效应，因此提高了放电腔体的范围，两电极板上均可放置工件进行等离子表面处理，提高了放电腔体的空间利用率。
电极板电极室固定架电极等离子表面处理放电腔体等离子体放电空间利用率方型箱体放置工件工件放置辉光放电平板电极竖直导轨左右两侧放电插配方腔内壁对称清洗体内均衡室内保证

[实用新型]一种电容耦合等离子体高分子表面处理装置-CN201820703668.6有效
发明人： 詹铁锤;程光周;薛进;刘龙威 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2018-05-12 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： B29C65/48 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电容耦合等离子体高分子材料表面处理装置，包括：等离子体表面处理真空室、前真空门、前观察窗、后真空门、后观察窗、上电容电极、下电容电极、进气接口、气体混合室、进气管路、进气室、进气缓冲挡板、材料放置架。本实用新型的一种电容耦合等离子体高分子材料表面处理装置，利用电容耦合等离子体稳定、均匀的优点，给高分子材料处理真空腔内提供稳定且均匀的等离子体处理环境；同时装置通过设置一进气混合装置，可提高通入混合气体时的气体混合效果，并提高气体进入真空室后分布的均匀性，保证处理效果的均匀性。
电容耦合等离子体处理装置高分子材料表面本实用新型均匀性真空门真空室等离子体表面处理等离子体处理进气混合装置材料放置架高分子表面高分子材料气体混合室下电容电极电容电极后观察窗缓冲挡板混合气体进气管路进气接口气体混合前观察窗同时装置进气室真空腔进气保证

[实用新型]一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置-CN201820703672.2有效
发明人： 詹铁锤;程光周;倪红德;薛进 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2018-05-12 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，包括射频电感耦合等离子体反应装置，其特征在于，所述射频电感耦合等离子体反应装置包括：石英管、螺线管型线圈、固定法兰组件，所述固定法兰组件上设真空气路接口、氩气接口、源气体接口，所述真空气路接口上方连接真空规，所述真空气路接口与真空规通过三通管件连接，本实用新型是一种射频电感耦合等离子体制备纳米材料的装置，结构简单、制造容易、成本较低，方便制备与推广。
射频电感耦合等离子体制备纳米材料真空气路等离子体反应装置本实用新型固定法兰真空规螺线管型线圈三通管件氩气接口石英管源气体制备制造

[发明专利]一种射频等离子体清洗装置-CN201810451733.5在审
发明人： 詹铁锤;程光周;倪红德;薛进 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2018-05-12 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置和真空室，其特征在于，所述进气装置包括进气混合管路、进气管路和进气阀，所述真空室包括腔体和调节导轨，所述等离子体发生装置包括电极接线柱、电极托盘和射频电源，所述腔体为长方体形结构，所述腔体上部接进气混合管路和匀气管，所述腔体底部开设抽气路法兰接口、破空气路法兰接口，本发明是一种射频等离子体清洗装置，结构简单、设计合理，能通过设定适当的正负电极托盘之间的间距，以获得更适宜的离子、活性自由基比例，有利于控制目的性反应，实现对半导体晶片的目的性、无损伤清洗。
射频等离子体清洗装置腔体等离子体发生装置混合管路进气装置真空室进气长方体形结构半导体晶片电极接线柱活性自由基无损伤清洗托盘电极托盘法兰接口进气管路腔体上部射频电源正负电极进气阀空气路性反应抽气导轨和匀路法气管离子

[发明专利]一种中频等离子体清洗装置-CN201810451732.0在审
发明人： 詹铁锤;程光周;倪红德;薛进 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2018-05-12 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： B08B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种中频等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置、真空室、抽气管路，所述进气装置包括进气口、MFC质量流量计、电磁阀，所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源，所述正负电极包含电极接线柱、电极安装板、电极托盘，所述真空室包括视窗法兰、真空腔门、真空腔体，所述电极接线柱采用鳄鱼嘴式的插口设计。本发明的一种中频等离子体清洗装置，通过设计优良的鳄鱼嘴式的插口设计，可实现快速插拔且接触良好优于通电的电极衔接，兼具卡紧拔松，易于控制电子、离子等高能活性离子浓度，获得更适宜的离子、活性自由基比例，有利于控制目的性反应，实现对PCB板及FPC的目的性、无损伤清洗。
中频等离子体清洗装置等离子体发生装置电极接线柱插口进气装置正负电极鳄鱼嘴式真空室离子进气口电极安装板活性自由基无损伤清洗质量流量计抽气管路电极托盘活性离子快速插拔真空腔体电极电磁阀性反应真空腔拔松法兰卡紧视窗电源通电衔接

[实用新型]一种等离子体清洗装置-CN201820703670.3有效
发明人： 詹铁锤;程光周;薛进;倪红德 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2018-05-12 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种等离子体清洗装置，包括进气装置、等离子体发生装置和真空室；所述进气装置包括进气管路、MFC质量流量计、电磁阀、气体混合室和匀气管路；所述等离子体发生装置包括正负电极和PWM脉宽调制电源，所述正负电极包含电极接入端、电极导轨、电极托盘；所述真空室包括电极调节轨道、真空腔体，真空腔体底部开设主抽气路法兰接口、纯净气体破空法兰接口、上部开设进气路法兰接口、上下两端各开设电极法兰接口。本实用新型的一种等离子体清洗装置，通过设定适当的正负电极托盘之间的间距，获得更适宜的离子、活性自由基比例，有利于控制目的性反应实现对PCB板及FPC的目的性、无损伤清洗。
等离子体清洗装置正负电极等离子体发生装置本实用新型法兰接口进气装置真空腔体真空室活性自由基气体混合室无损伤清洗质量流量计托盘纯净气体电极导轨电极调节电极法兰电极接入电极托盘进气管路上下两端电磁阀进气路气管路性反应抽气和匀路法破空离子电源轨道

[实用新型]一种远程等离子体清洗装置-CN201820703662.9有效
发明人： 詹铁锤;程光周;薛进;刘龙威 -专利权人：合肥杰硕真空科技有限公司
申请日： 2018-05-12 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种远程等离子体清洗装置，包括：进气装置、等离子体发生装置和真空室；所述进气装置包括混气室、进气管路和进气阀；所述等离子体发生装置包括电感耦合等离子体源和射频电源，所述电感耦合等离子体源包含石英管、铜制螺线管型线圈，所述螺线管型线圈内部可通冷却水防止石英管烧熔；所述真空室包括上缸体和下缸体。本实用新型的一种远程等离子体清洗装置，利用远程等离子体技术优点，通过设定适当的样品台与等离子体源之间的距离，降低电子、离子等高能活性离子浓度，获得更适宜的离子、活性自由基比例，有利于控制目的性反应，实现对半导体晶片的目的性、无损伤清洗。
远程等离子体清洗电感耦合等离子体源等离子体发生装置螺线管型线圈本实用新型进气装置石英管真空室离子远程等离子体半导体晶片等离子体源活性自由基无损伤清洗活性离子技术优点进气管路射频电源混气室进气阀冷却水上缸体下缸体性反应样品台烧熔铜制

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