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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种MEMS麦克风-CN201710339052.5有效
发明人： 詹竣凱;蔡孟錦;周宗燐 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS麦克风，包括衬底以及位于衬底上方的振膜、背极；在所述振膜的边缘位置形成有多个梳齿部，所述多个梳齿部间隔分布在振膜的周向方向上；其中，所述振膜上相邻两个梳齿部之间的位置通过绝缘层连接在衬底上；所述振膜上的梳齿部至少部分地与衬底重叠在一起，二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道。本发明的麦克风，具有更好的抗冲击能力，而且还可以避免粉尘的入侵。
一种 mems 麦克风

[发明专利]一种感测膜片以及MEMS麦克风-CN201710297168.7有效
发明人： 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦;王宇 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2020-11-20 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种感测膜片及MEMS麦克风，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到冲击时相对于保持部发生位移，以在保持部与敏感部之间形成气流流通通道。本发明的感测膜片，不同于传统的泄压阀结构，对敏感部的振动特性影响较小，敏感部的动态稳定性更好。
一种膜片以及 mems 麦克风

[发明专利]一种微通道加工方法、微通道-CN201810771392.X有效
发明人：蔡孟锦;詹竣凱;邱冠勳 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2018-07-13 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种微通道加工方法及微通道，在衬底上形成微沟道，所述微沟道贯通衬底的两侧；在微沟道中沉积牺牲层，所述牺牲层的上端将微沟道的开口封闭住，牺牲层的内部形成空隙；在衬底上沉积覆盖层，所述覆盖层覆盖在衬底以及微沟道、牺牲层的上方；通过空隙将牺牲层腐蚀掉。本发明微通道的加工方法，可以使覆盖层与衬底上除微沟道以外的位置良好地结合在一起，避免了传统键合带来的泄露问题，以及传统贴合带来的微沟道阻塞问题，保证了微沟道的小型化发展。
一种通道加工方法

[发明专利]一种压电式麦克风-CN201710364823.6有效
发明人： 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦 -专利权人：潍坊歌尔微电子有限公司
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种压电式麦克风，包括具有背腔的衬底，以及通过绝缘层连接在衬底上方的压电膜；在所述压电膜上位于压电膜与衬底连接点内侧的位置设置有多个镂空孔，所述压电膜上的镂空孔至少部分地与衬底重叠在一起，所述压电膜上镂空孔的位置与衬底之间具有间隙，所述间隙与镂空孔一起被构造为通道。相对传统的镂空结构而言，本发明的间隙可以阻碍声音直接通过镂空孔传出，从而可以大大降低该压电式麦克风低频信号、中频信号的泄漏量，提高了压电式麦克风的性能。而且该间隙还可有效防止粉尘、微粒、水入侵对芯片产生伤害。
一种压电麦克风

[发明专利]在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器-CN201611041741.X有效
发明人： 詹竣凱;周宗燐;邱冠勳;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2016-11-22 - 公布日： 2019-01-18 - 主分类号： B81C3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种在MEMS传感器上形成过滤网的方法以及MEMS传感器。该方法包括以下步骤：在基材上设置可解离胶带，在可解离胶带的粘接面上形成过滤网；将所述过滤网转印到薄膜上，以形成自粘卷材；将位于所述自粘卷材上的所述过滤网转移粘接到MEMS传感器的采集孔上。该方法形成的过滤网，网孔细密、均匀，并且良品率高。此外，该方法适用于大规模、工业化生产。
过滤网自粘卷材胶带解离采集孔良品率基材网孔粘接转印薄膜

[实用新型]一种MEMS麦克风中的背极及MEMS麦克风-CN201721457678.8有效
发明人：邱冠勳;詹竣凱;蔡孟锦 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-11-03 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的背极及MEMS麦克风，包括背极本体以及设置在背极本体上的通孔；其中，所述背极本体上设置有至少一个延伸至通孔内的延伸部，所述延伸部与背极本体是一体的。本实用新型的背极及MEMS麦克风，由于采用了延伸部，使得通孔可以做的较大，以降低声阻，提高声音的传递效率。同时，该延伸部既可以阻挡灰尘通过通孔进入到背极与振膜之间，也可以提高背极与振膜之间的相对面积，从而在防止异物进入的同时，提高了麦克风的性能。
背极延伸部通孔本实用新型振膜麦克风传递效率防止异物阻挡延伸

[实用新型]一种MEMS麦克风-CN201720752374.8有效
发明人： 詹竣凱;蔡孟錦 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2018-03-20 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极、支撑部构成的平板电容器结构；在所述振膜上设置有通孔，在所述背极上设置有泄压阀，在所述振膜与背极之间形成了保压通道，所述振膜上的通孔构成了该保压通道的入口，所述背极上的泄压阀构成了该保压通道的出口。本实用新型的麦克风，通过进入至保压通道内的气压与振膜外界受到的瞬间冲击力进行对抗，来获得二者之间的动态平衡，可以很好地缓冲振膜所受到的冲击力；采用这种结构的泄压方式，使得不用在振膜上进行过多的泄压设计，保证了振膜的可靠性。
一种 mems 麦克风

[实用新型]一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风模组-CN201720751404.3有效
发明人：邱冠勳;蔡孟錦;詹竣凱;周宗燐;宋青林 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-06-26 - 公布日： 2018-02-27 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风模组。该芯片包括背极、振膜和具有背腔的衬底，衬底与背极连接在一起以在它们之间形成容纳空间，振膜被自由设置在容纳空间内，振膜与背腔相对，在容纳空间内设置有限位柱，限位柱穿过振膜，以限定振膜的振动方向，在背极与振膜之间设置有用于防止背极与振膜粘连的第一凸起。本实用新型所要解决的一个技术问题是现有的MEMS麦克风芯片的振膜在振动时会横向摆动。实用新型的一个用途是用于MEMS麦克风模组。
一种 mems 麦克风芯片以及模组

[实用新型]一种感测膜片以及MEMS麦克风-CN201720472305.1有效
发明人： 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦;王宇 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-04-28 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： G01H11/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种感测膜片及MEMS麦克风，包括位于中部区域的敏感部，以及位于敏感部外侧边缘且与所述敏感部一体成型的固定部；还包括从固定部延伸至敏感部边缘位置且非封闭的缝隙部，所述缝隙部在感测膜片上围成了根部位于固定部上、自由端延伸至敏感部上边缘位置的保持部；所述敏感部被配置为在受到冲击时相对于保持部发生位移，以在保持部与敏感部之间形成气流流通通道。本实用新型的感测膜片，不同于传统的泄压阀结构，对敏感部的振动特性影响较小，敏感部的动态稳定性更好。
一种膜片以及 mems 麦克风

[实用新型]一种感测膜片以及MEMS麦克风-CN201720539470.4有效
发明人： 詹竣凱;蔡孟錦;周宗燐 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种感测膜片以及MEMS麦克风，在所述感测膜片的边缘位置形成有多个梳齿部，所述多个梳齿部间隔分布在感测膜片的周向方向上；其中，所述感测膜片上相邻两个梳齿部之间的位置为用于连接的连接部。本实用新型的麦克风，由于感测膜片的梳齿部区域与衬底之间形成了连通外界的缺口，感测膜片受到的声压可以通过该缺口快速进行泄压，以迅速均衡麦克风内外腔体的气压。而且梳齿部可以根据自身的受压情况发生形变，从而可实时依据受到的过载声压来调整泄压路径的尺寸，以此保护感测膜片。
一种膜片以及 mems 麦克风

[实用新型]一种压电式麦克风-CN201720575489.4有效
发明人： 詹竣凱;周宗燐;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-05-22 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H04R17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压电式麦克风，包括具有背腔的衬底，以及通过绝缘层连接在衬底上方的压电膜；在所述压电膜上位于压电膜与衬底连接点内侧的位置设置有多个镂空孔，所述压电膜上的镂空孔至少部分地与衬底重叠在一起，所述压电膜上镂空孔的位置与衬底之间具有间隙，所述间隙与镂空孔一起被构造为通道。相对传统的镂空结构而言，本实用新型的间隙可以阻碍声音直接通过镂空孔传出，从而可以大大降低该压电式麦克风低频信号、中频信号的泄漏量，提高了压电式麦克风的性能。而且该间隙还可有效防止粉尘、微粒、水入侵对芯片产生伤害。
一种压电麦克风

[实用新型]一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风-CN201720449431.5有效
发明人：邱冠勳;蔡孟锦;詹竣凱;周宗燐;李俊;李江龙 -专利权人：歌尔科技有限公司
申请日： 2017-04-26 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种MEMS麦克风中的振膜及MEMS麦克风，包括振膜主体，在所述振膜主体上设置有至少两个分布在不同周向方向上的泄压部，所述每个泄压部呈环状，且所述至少两个泄压部中，位于外侧的泄压部的泄压能力小于位于内侧的泄压部。本实用新型的振膜，泄压部根据振膜的受力分布状态排列，使得在受到大气冲击时，通过泄压能力不同的泄压部可以快速均衡振膜整体各位置的压差，也就是说，均衡振膜各位置的受力，从而可以避免因气流扰动而造成振膜的扭曲变形、破裂。
一种 mems 麦克风中的

[实用新型]一种MEMS麦克风-CN201720539551.4有效
发明人： 詹竣凱;蔡孟錦;周宗燐 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括衬底以及位于衬底上方的振膜、背极；在所述振膜的边缘位置形成有多个梳齿部，所述多个梳齿部间隔分布在振膜的周向方向上；其中，所述振膜上相邻两个梳齿部之间的位置通过绝缘层连接在衬底上；所述振膜上的梳齿部至少部分地与衬底重叠在一起，二者之间具有间隙并被构造为供气流通过的气流流通通道。本实用新型的麦克风，具有更好的抗冲击能力，而且还可以避免粉尘的入侵。
一种 mems 麦克风

[实用新型]MEMS声换能器-CN201720227788.9有效
发明人： 詹竣凱;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2017-03-09 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： H04R19/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS声换能器，在由所述第一可动梳齿与第一固定梳齿构成，以及由第二可动梳齿与第二固定梳齿构成的两组梳齿结构中，其中一组梳齿结构的可动梳齿高于固定梳齿，另一组梳齿结构中的可动梳齿低于固定梳齿；本实用新型的MEMS声换能器，振膜组件本身可以输出高频的音频讯号，梳齿结构可以作为换能器的低频结构，且二者的驱动接口可以独立规划，并整合于一单体中可同时输出高低频讯号，从而提供准确的声音讯号。另外，本实用新型的声换能器，振膜组件在接受音频信号输出声音的同时，还可以形成麦克风结构从而为声音源的修正提供外界的噪音信号参数，提高了声换能器的抗噪能力。
mems 声换能器

[实用新型]一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风-CN201621321393.7有效
发明人： 詹竣凱;李江龙;蔡孟錦 -专利权人：歌尔股份有限公司
申请日： 2016-12-05 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种MEMS麦克风芯片以及MEMS麦克风。该麦克风芯片包括衬底、背极和振膜，背极和振膜分别构成电容器的两个电极，背极和振膜被悬置在衬底的上方，背极位于衬底和振膜之间，衬底具有背腔和支撑柱，支撑柱通过连接部与背腔的侧壁连接在一起，连接部具有贯穿于厚度方向的通孔或者缺口以使位于连接部的两侧的空间相互连通，支撑柱被配置为用于支撑背极。该MEMS麦克风芯片具有良好的抗吹气性能。该MEMS麦克风包括上述MEMS麦克风芯片。
一种 mems 麦克风芯片以及

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