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- [实用新型]切片机热交换器更换自动升降车-CN201621314989.4有效
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武红运;王艳萍
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2016-12-02
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2017-07-25
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B66F7/00
- 本实用新型公开的切片机热交换器更换自动升降车,包括机械部和电控部,机械部包括升降框架和设置于升降框架下端的行走组件,升降框架上沿其竖向设置有链轮电机传动部,链轮电机传动部上固定有升降传动部并带动其升降,升降传动部连接有起吊件;电控部包括相连的PLC和继电器,PLC控制继电器驱动链轮电机传动部的电机实现正转和反转。本实用新型的切片机热交换器更换自动升降车解决了现有技术拆卸热交换器时存在的劳动强度大、工作效率低的缺点。本实用新型的切片机热交换器更换自动升降车通过起吊杆固定热交换器,然后利用链轮电机传动部带动其上下运动,从而两人即可轻松完成热交换器的拆卸工作。
- 切片机热交换器更换自动升降车
- [实用新型]硅片脱胶花篮检具-CN201621316072.8有效
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郑军锋
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2016-12-02
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2017-07-25
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H01L21/673
- 本实用新型公开的硅片脱胶花篮检具,包括本体以及本体两侧相连且相对设置的凹字形测试板,本体相对的两个端面上对称设置有竖向的凹槽,本体端面上设置的凹槽与花篮上的凹槽形状、尺寸以及位置相适应,两个测试板之间的距离与花篮的长度相适应,每个测试板相对应的两个内壁之间的距离与花篮的宽度相适应。本实用新型的硅片脱胶花篮检具针对现有市场上没有专门检测花篮是否合格的检具的问题,提出一种可以快速便捷地对花篮的平直度、垂直度以及外形尺寸进行检测的硅片脱胶花篮检具,只需观测花篮可否通过检具即可测得花篮是否合格。
- 硅片脱胶花篮
- [实用新型]探头检测装置-CN201621015264.5有效
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王真;邢建龙;王宁军
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2016-08-31
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2017-03-15
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G01R27/02
- 本实用新型公开的探头检测装置,包括固定座和检测探头,固定座具有止口,检测探头安装于固定座的止口中,探头检测装置还包括活动连接组件,活动连接组件包括转动连接件和伸缩连接件,转动连接件使检测探头可相对于固定座转动,伸缩连接件使检测探头可相对于固定座伸缩移动。本实用新型的探头检测装置具有以下优点1.在检测探头具有多个探针的情况下,可使每个探针均充分接触待测物的表面,确保检测结果的准确性以及检测的稳定性;2.利用活动连接组件安装检测探头,使得检测探头相对于固定座可以浮动并伸缩,避免检测探头在接触待测物时因冲击造成损坏;3.驱动器及传动机构可以实现检测探头的自动转动,方便人员操作且转动角度能得到精确控制。
- 探头检测装置
- [实用新型]硅片水平清洗设备-CN201620910410.4有效
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郭江涛;赵可武;邓浩;李定武
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2016-08-19
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2017-02-15
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H01L21/67
- 本实用新型公开的硅片水平清洗设备,包括传输机构、毛刷机构、超声机构、喷淋机构和烘干机构,传输机构具有引入硅片的上游以及输出硅片的下游,毛刷机构、超声机构以及喷淋机构均设置于传输机构的上游与下游之间,烘干机构设置于传输机构的下游,毛刷机构用于刷洗硅片表面,超声机构用于超声清洗硅片,喷淋机构用于向接受刷洗或超声清洗的硅片喷淋清洗液,烘干机构用于干燥处理经毛刷机构、超声机构和喷淋机构处理后的硅片。本实用新型的硅片水平清洗设备在水平刷洗过程中辅助于超声、喷淋的机械物理作用,减少甚至彻底避免了化学试剂的使用,同时降低纯水消耗及能耗,提高了硅片清洗的自动化程度及清洗效率。
- 硅片水平清洗设备
- [实用新型]工件顶紧装置-CN201620910482.9有效
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吴亚兵
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2016-08-19
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2017-02-15
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G01B21/00
- 本实用新型公开的工件顶紧装置,包括两个限位挡块和一个顶推机构,两个限位挡块处于同一平面,顶推机构的端部安装有浮动结构,顶推机构带动浮动结构作用于工件的第一端面,浮动结构发生角度旋转使得所述工件的第二端面与两个限位挡块相贴合,第一端面与第二端面位置相对。本实用新型的工件顶紧装置在活塞杆连接头处安装浮动结构,即浮动结构可绕转销中心做一定角度旋转,及时调整其与工件端面的作用状态,当工件端面先接触到其中一个限位挡块时,工件在浮动结构的作用下将自校正继续向前推进,使得工件端面与两个限位挡块均能接触,因此有效地消除了工件端面与限位挡块之间的间隙,提高了工件端面外形尺寸检测的准确性。
- 工件装置
- [实用新型]单晶炉冷却报警装置-CN201620625386.X有效
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付泽华;邹西昌;周锐;张永辉;文勇
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2016-06-22
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2016-12-14
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C30B11/00
- 本实用新型公开的单晶炉冷却报警装置,用于监控单晶炉的冷却件中冷却介质的状态,包括压强表、控制盒以及报警器,压强表安装于冷却件的冷却管道,控制盒接收压强表的压强信号、并根据压强信号判断冷却管道内冷却介质的压强是否异常,报警器在控制盒判断冷却管道内冷却介质的压强异常时触发警报信号。本实用新型的单晶炉冷却报警装置解决了现有的单晶炉冷却件中冷却介质状态难以监控、存在安全隐患的问题,实现了单晶炉中冷却介质流动状态的实时监控,并能在发现异常时发出报警信号,提醒操作人员及时处理;更进一步的,针对冷却管道中不同位置处的压力与流量不尽相同,由于其同时使用了压强表及流量计,能做到多点监测,提升监控的全面性。
- 单晶炉冷却报警装置
- [发明专利]工件检测装置及工件检测方法-CN201410848248.3在审
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闵浩毅;徐战军;邢建龙
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西安隆基硅材料股份有限公司
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2014-12-29
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2016-07-27
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G01B11/26
- 本发明公开的工件检测装置包括工件定位机构、检测机构及计算模块,工件定位机构包括承载待测工件的承载座;检测机构包括检测驱动结构及检测器,检测驱动结构驱动检测器在竖直检测平面内移动,检测器在检测平面内的多个检测点测量多个检测点与待测端面的水平距离;计算模块根据多个水平距离计算待测端面的垂直度。本发明公开的工件检测方法包括利用两个夹持件夹持待测工件并将其引导至检测位置;利用检测机构获得检测平面内多个检测点与待测端面的距离,并将结果传递至计算模块;计算模块计算待测端面的端面垂直度。本发明的工件检测装置及工件检测方法实现了对工件端面垂直度的自动化测量,节省了时间及人力且不损伤工件,提高了检测精度。
- 工件检测装置方法
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