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[发明专利]一种升降式硅片清洗辅助装置及其清洗方法-CN201810162748.X有效
发明人：葛林新;葛林五;陈景韶;李杰;丁高生 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2021-07-06 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种升降式硅片清洗辅助装置，该装置包括箱体，在箱体内部设有升降装置，在所述箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块，在所述丝杆上设有螺母，所述螺母的内螺纹与丝杆之间螺纹连接，本发明通过丝杆的设计，实现当丝杆在电机驱动下转动的时候，螺母带着连接套筒和连接杆沿着丝杆轴向方向上升或下降，从而带动硅片承载花篮上下运动，从而实现待清洗硅片不断的在清洗槽中上下运动，提高硅片的清洗质量和清洗效率。
一种升降硅片清洗辅助装置及其方法

[发明专利]一种用于硅片夹持的夹具机头-CN201810159864.6有效
发明人：丁高生;葛林五;陈景韶;葛林新;李杰 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： B08B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于硅片夹持的夹具机头，属于硅片清洗技术领域。该夹具机头包括机座，机座内穿设有两个驱动杆和两个连接杆，两个驱动杆的左端分别连接有驱动块，两个连接杆的左端直径逐渐缩小，两个驱动块上分别设有支撑件，两个支撑件分别在复位机构的作用下压紧在两个连接杆上，两个连接杆的右端连接有驱动机构，驱动机构驱动两个连接杆左右滑动，在复位机构作用下，支撑件到连接杆中心线的距离发生变化，从而带动两个驱动杆产生旋转，并且两个驱动杆的旋转方向相反。该夹具机头通过将连接杆较大距离的运动转化为支撑件与连接杆中心线之间距离的改变，实现驱动杆旋转的精度控制，便于实现夹爪旋转的精度控制，实现夹爪对硅片的精准夹持。
一种用于硅片夹持夹具机头

[发明专利]一种用于硅片清洗的机械手-CN201810162782.7有效
发明人：葛林新;葛林五;陈景韶;李杰;丁高生 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于硅片清洗的机械手，属于硅片清洗技术领域。该机械手包括基座、升降驱动机构、夹具机头、基座侧移驱动机构和两个夹爪，所述升降驱动机构的下端与基座连接，用于驱动夹具机头和夹爪进行竖直方向的移动，所述夹具机头安装在升降驱动机构的顶部，用于通过第一驱动杆和第二驱动杆驱动两个夹爪对硅片进行夹持和松开，所述基座侧移驱动机构安装在基座的侧部，用于带动基座进行水平方向的移动。该机械手的两个夹爪用于夹持硅片，并通过夹爪在水平方向的移动来实现硅片在清洗槽内的清洗，提高清洗液对硅片表面的冲刷，提高硅片的清洗效果，加快硅片的清洗效率，利用夹爪对硅片的侧部进行夹持，可以有效保护硅片的表面免受损伤。
一种用于硅片清洗机械手

[发明专利]一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法-CN201810159849.1有效
发明人：李杰;葛林五;陈景韶;葛林新;丁高生 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2018-02-26 - 公布日： 2020-04-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅片清洗干燥一体化装置，该装置包括可移动框架，在所述可移动框架中设有控制柜、气缸、升降装置、自动盖板和清洗槽，所述升降装置设置在箱体中，在箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块。本发明能够实现待清洗硅片不断的在清洗槽中上下运动，提高硅片的清洗质量和清洗效率；通过鼓泡口向内槽体中通入氮气，增加内槽体内清洗液的流动性和湍动性，增强清洗液对硅片表面的清洗效果和干燥效果。
一种硅片清洗干燥一体化装置及其方法

[实用新型]一种晶片清洗干燥机-CN201920104493.1有效
发明人： 葛林五;李杰;丁高生;陈景韶;葛林新 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片清洗干燥机，该干燥机包括：上箱体，所述上箱体中设置有干燥组件；中箱体，所述中箱体中设置有用来承置晶片的花篮组件；以及下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体能够一起构成密封整体，所述下箱体中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管、用来向所述下箱体中供水的进水管和用来向外部排出水流的第一出水管。本实用新型的有益效果为提高晶片清洗的洁净度和干燥效率。
下箱体上箱体中箱体本实用新型清洗干燥机干燥效率干燥组件晶片清洗密封整体排出气流抽气管出水管干燥机洁净度进水管外部晶片排出种晶花篮供水

[实用新型]一种刷片机用手臂模组-CN201920104523.9有效
发明人：葛林新;葛林五;李杰;丁高生;陈景韶 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种刷片机用手臂模组，该模组包括：摆臂；外轴，所述外轴中空，所述外轴的顶部与所述摆臂的第一端固定连接，所述外轴的底部与步进电机的转子驱动连接；内轴，所述内轴设置在所述外轴的内部，所述内轴的底部与驱动电机的转子驱动连接，所述内轴的顶部伸入所述摆臂的第一端内部，所述内轴与所述摆臂的第一端转动连接；传动单元；以及刷片单元，所述刷片单元转动设置在所述摆臂的第二端，所述刷片单元包括转轴，所述转轴通过所述传动单元与所述内轴驱动连接。本实用新型的有益效果为通过摆臂带动擦拭构件对晶片的擦拭动作，同时擦拭构件本身保持自转，实现双重的擦拭。
内轴摆臂外轴第一端刷片本实用新型擦拭构件传动单元转子驱动转轴擦拭摆臂带动步进电机驱动电机驱动连接转动连接转动设置手臂模晶片模组片机伸入中空种刷自转

[实用新型]一种晶片清洗装置-CN201920105732.5有效
发明人：丁高生;陈景韶;李杰;葛林五;葛林新 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片清洗装置，该清洗装置包括：清洗臂组件，所述清洗臂组件包括清洗模组、移动模组、二流体模组，所述清洗模组能够对晶片做出擦拭动作，所述移动模组的移动部与所述清洗模组固定连接，用来控制所述清洗模组贴合或者离开所述晶片表面，所述二流体模组能够向所述晶片喷射清洗用的二流体；旋转固定组件，所述旋转固定组件设置在所述清洗臂组件的下方，所述旋转固定组件能够固定所述晶片的下表面的同时，使得所述晶片形成自转，并且所述晶片的上表面正对所述清洗模组；以及收集盆组件，所述收集盆组件设置在所述旋转固定组件的周围，用来收集清洗完成后剩余的二流体。本实用新型能自动清洗晶片。
晶片清洗模组旋转固定组件流体清洗臂本实用新型清洗装置移动模组收集盆模组晶片表面喷射清洗自动清洗组件包括组件设置上表面下表面移动部贴合正对种晶自转擦拭清洗

[实用新型]一种旋转真空轴组-CN201920105717.0有效
发明人： 葛林五;葛林新;李杰;丁高生;陈景韶 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： F16C3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种旋转真空轴组，所述真空轴组包括：转轴，所述转轴为圆柱壳结构，所述转轴的侧壁设置有贯穿孔，所述贯穿孔与所述转轴的内腔相连通，所述转轴的底部与电机转子轴连接，使得所述转轴能够绕自轴旋转；中间层，所述中间层套设在所述转轴上，所述中间层与所述转轴之间的间隙距离为预定值，所述中间层的两端固定有轴承，所处轴承的内圈与所述转轴紧配合，所述中间层的内侧壁设置有凹入的环形腔，所述环形腔与所述贯穿孔相连通，所述中间层上开设有第一通孔，所述第一通孔的一端与所述中间层的外部空间连通，所述第一通孔的另一端与所述环形腔相连通。本实用新型的有益效果为使得转轴同时具有抽真空的功能。
转轴中间层贯穿孔环形腔通孔本实用新型真空轴轴承电机转子轴内腔相连通圆柱壳结构间隙距离两端固定外部空间中间层套凹入的抽真空紧配合内侧壁轴旋转侧壁内圈连通

[实用新型]一种晶片清洗盆-CN201920104495.0有效
发明人：李杰;葛林五;葛林新;丁高生;陈景韶 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片清洗盆，该清洗盆包括：钵状主体，所述钵状主体的内部底面中心位置设有凸起结构，所述凸起结构的中部设置第一通孔，所述第一通孔的边缘设置有向上延伸的环形件，所述钵状主体的底部连通有抽气管道；固定模组，所述固定模组的第一端穿过所述第一通孔用来固定晶片，所述固定模组的第一端设置有向下延伸的环形扣；升降模组，所述升降模组的移动端与所述固定模组的第二端固定连接；其中，所述环形扣的直径大于所述环形件的直径，所述升降模组处于下降状态时，所述环形扣罩设在所述环形件上，所述环形扣的下边沿高度小于所述环形件的上边沿高度。本实用新型的有益效果为提供晶片清洗的固定与废液收集平台。
固定模组环形件环形扣升降模组钵状通孔本实用新型凸起结构第一端清洗盆边缘设置抽气管道底部连通废液收集固定晶片晶片清洗内部底面下降状态向上延伸向下延伸上边沿下边沿移动端种晶穿过

[实用新型]一种清洗干燥晶片用的花篮-CN201920104497.X有效
发明人：陈景韶;葛林五;葛林新;李杰;丁高生 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-11-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗干燥晶片用的花篮，该花篮包括一组相对设置且带有平行凹槽的侧板，两两相对的所述凹槽之间放置所述晶片，所述花篮还包括：通气管道，所述通气管道设置在所述侧板的中部位置，所述通气管道上开设有若干出气孔。本实用新型的有益效果为能够将晶片稳定承置，并通过通气管道的布设，提高干燥效果和效率。
通气管道晶片花篮本实用新型清洗干燥侧板干燥效果两两相对平行凹槽相对设置中部位置布设出气孔

[发明专利]一种晶片清洗方法-CN201910059147.0在审
发明人：林生海;陈景韶;葛林五;葛林新;李杰;丁高生 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片清洗方法，该清洗方法包括：清洗时，晶片具有第一自转，刷头在晶片上做往返的弧线运动，弧线运动的往返点超出或重合于晶片的边沿；清洗后，晶片具有第二自转，用来甩干晶片表面的残留清洗液。本发明的有益效果为刷头在晶片上做往返的弧线运动并配合晶片自转，实现了对晶片的全面覆盖清洗；晶片自转的同时，刷头也按照一定速度旋转，且两者旋转的方向相反，使得清洗更为有力高效；配合二流体来清洗，一方面取得更细微的水微粒，更好的与刷头配合清洗晶片，另一方面二流体中的氮气使得水微粒的动能更大，更好的带走微尘，调整水气比例还可以取得不同的清洗效果，适应更多类型的晶片。
晶片清洗自转刷头弧线运动往返水微粒流体种晶氮气配合方向相反晶片表面清洗晶片清洗效果全面覆盖多类型清洗液动能水气重合甩干微尘残留

[发明专利]一种晶片清洗装置-CN201910059145.1在审
发明人：丁高生;林生海;陈景韶;李杰;葛林五;葛林新 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： B08B1/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片清洗装置，该清洗装置包括：清洗臂组件，所述清洗臂组件包括清洗模组、移动模组、二流体模组，所述清洗模组能够对晶片做出擦拭动作，所述移动模组的移动部与所述清洗模组固定连接，用来控制所述清洗模组贴合或者离开所述晶片表面，所述二流体模组能够向所述晶片喷射清洗用的二流体；旋转固定组件，所述旋转固定组件设置在所述清洗臂组件的下方，所述旋转固定组件能够固定所述晶片的下表面的同时，使得所述晶片形成自转，并且所述晶片的上表面正对所述清洗模组；以及收集盆组件，所述收集盆组件设置在所述旋转固定组件的周围，用来收集清洗完成后剩余的二流体。本发明能自动清洗晶片。
晶片清洗模组旋转固定组件流体清洗装置清洗臂移动模组收集盆模组种晶晶片表面喷射清洗自动清洗组件包括组件设置上表面下表面移动部贴合正对自转擦拭清洗

[发明专利]一种晶片清洗干燥机-CN201910060208.5在审
发明人： 葛林五;李杰;丁高生;林生海;陈景韶;葛林新 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片清洗干燥机，该干燥机包括：上箱体，所述上箱体中设置有干燥组件；中箱体，所述中箱体中设置有用来承置晶片的花篮组件；以及下箱体，所述上箱体、中箱体与下箱体能够一起构成密封整体，所述下箱体中设置有用来向外部排出气流的第一抽气管、用来向所述下箱体中供水的进水管和用来向外部排出水流的第一出水管。本发明的有益效果为提高晶片清洗的洁净度和干燥效率。
下箱体上箱体中箱体清洗干燥机种晶干燥效率干燥组件晶片清洗密封整体排出气流抽气管出水管干燥机洁净度进水管外部晶片排出花篮供水

[发明专利]一种晶片清洗盆-CN201910059138.1在审
发明人：李杰;葛林五;葛林新;丁高生;林生海;陈景韶 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： B08B3/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片清洗盆，该清洗盆包括：钵状主体，所述钵状主体的内部底面中心位置设有凸起结构，所述凸起结构的中部设置第一通孔，所述第一通孔的边缘设置有向上延伸的环形件，所述钵状主体的底部连通有抽气管道；固定模组，所述固定模组的第一端穿过所述第一通孔用来固定晶片，所述固定模组的第一端设置有向下延伸的环形扣；升降模组，所述升降模组的移动端与所述固定模组的第二端固定连接；其中，所述环形扣的直径大于所述环形件的直径，所述升降模组处于下降状态时，所述环形扣罩设在所述环形件上，所述环形扣的下边沿高度小于所述环形件的上边沿高度。本发明的有益效果为提供晶片清洗的固定与废液收集平台。
固定模组环形件环形扣升降模组清洗盆钵状通孔凸起结构第一端种晶边缘设置抽气管道底部连通废液收集固定晶片晶片清洗内部底面下降状态向上延伸向下延伸上边沿下边沿移动端穿过

[发明专利]一种旋转真空轴组-CN201910060206.6在审
发明人： 葛林五;葛林新;李杰;丁高生;林生海;陈景韶 -专利权人：上海提牛机电设备有限公司
申请日： 2019-01-22 - 公布日： 2019-05-03 - 主分类号： F16C3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种旋转真空轴组，所述真空轴组包括：转轴，所述转轴为圆柱壳结构，所述转轴的侧壁设置有贯穿孔，所述贯穿孔与所述转轴的内腔相连通，所述转轴的底部与电机转子轴连接，使得所述转轴能够绕自轴旋转；中间层，所述中间层套设在所述转轴上，所述中间层与所述转轴之间的间隙距离为预定值，所述中间层的两端固定有轴承，所处轴承的内圈与所述转轴紧配合，所述中间层的内侧壁设置有凹入的环形腔，所述环形腔与所述贯穿孔相连通，所述中间层上开设有第一通孔，所述第一通孔的一端与所述中间层的外部空间连通，所述第一通孔的另一端与所述环形腔相连通。本发明的有益效果为使得转轴同时具有抽真空的功能。
转轴中间层贯穿孔环形腔真空轴通孔轴承电机转子轴内腔相连通圆柱壳结构间隙距离两端固定外部空间中间层套凹入的抽真空紧配合内侧壁轴旋转侧壁内圈连通

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