“翟虎”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果161个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[实用新型]用于晶圆片载盘存放的运输车-CN202321321411.1有效
发明人：林基明;李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于晶圆片载盘存放的运输车，该运输车包括箱体、多个放置组件、空气净化装置、电源以及行走机构，其中，箱体内部设置有分隔板，以将箱体分成相互隔绝的第一空间和第二空间；多组放置组件沿竖直方向间隔均匀地布置在第一空间内，且每组放置组件分别包括两个相对设置在箱体两侧内壁的固定板；空气净化装置集成在箱体上以用于净化第一空间内的空气；电源容纳于第二空间内，用于为空气净化装置供电；行走机构设置于箱体的底部。通过上述技术方案，该运输车能够有效避免晶圆片在转运过程中被污染，同时提高晶圆片的转运效率。
用于晶圆片载盘存运输车

[实用新型]蓝宝石晶片缺陷检测装置-CN202320643028.1有效
发明人：杨欣武;宋亚滨;翟虎;陆继波;洪飞 -专利权人：甘肃旭碳新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本公开提供一种蓝宝石晶片缺陷检测装置，具体包括镜头移动支撑组件和安装于镜头移动支撑组件上的光学显微镜头，装有蓝宝石晶片的陶瓷盘放置在光学显微镜头的下方，以光学显微镜头在镜头移动支撑组件的移动作用下观察不同蓝宝石晶片的缺陷。可以对多片蓝宝石晶片进行检测，提高生产效率；还可以对单片蓝宝石晶片多角度检测，缺陷晶片被提前发现，降低了后续生产的生产成本；提高了成本阶段的良品率。
蓝宝石晶片缺陷检测装置

[实用新型]蓝宝石研磨液的回收装置-CN202223575889.5有效
发明人：罗鹏;宋亚滨;翟虎;陆继波;陈桥玉;万建军;周文辉 -专利权人：甘肃旭晶新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： B01D29/50 文献下载
摘要：本公开提供一种蓝宝石研磨液的回收装置。本申请涉及过滤技术领域。其中，蓝宝石研磨液的回收装置，包括：本体，本体为柱状结构，具有位于本体上方的进口和位于本体下方的出口，进口用于接收待过滤液体，出口用于排放废水；第一过滤网，第一过滤网设置在本体内部，且位于进口与出口之间，第一过滤网具有能够过滤杂质的第一过滤能力；第二过滤网，第二过滤网设置在本体内部，位于第一过滤网与出口之间，第二过滤网具有能够过滤待过滤物质的第二过滤能力，待过滤液体经过第一过滤网和第二过滤网后的废水从出口排出。从而减少了过滤时间和研磨时间，过滤效果好，且降低了成本。
蓝宝石研磨回收装置

[实用新型]用于回收碳化硼的装置-CN202320724590.7有效
发明人：刘彬;边潇帅;宋亚滨;翟虎;陆继波;洪飞 -专利权人：甘肃旭晶新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硼回收技术领域，公开了一种用于回收碳化硼的装置。该装置包括：研磨机构，研磨机构上设置有浆料出口；进料斗，进料斗通过管路与浆料出口连通，所述管路内部设置有第一过滤网和第二过滤网，第一过滤网的目数小于所述第二过滤网的目数，进料斗底部还连接有导流槽；水洗机构，水洗机构包括内箱体和外箱体，内箱体设置于外箱体的内部，内箱体的内部设置有喷淋口和搅拌组件，所述内箱体的外壁设置有加热器组件，内箱体的底部还开设有排水口，内箱体的侧面设置有取料口。本实用新型提供的装置能够有效回收粒径符合要求的碳化硼，使其实现重复使用，从而有效降低成本。
用于回收碳化装置

[发明专利]减少蓝宝石晶体长晶缺陷的方法及蓝宝石长晶炉-CN202111446119.8有效
发明人：翟虎;宋亚滨;秦俊 -专利权人：江苏吉星新材料有限公司;北京远大信达科技有限公司
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C30B11/00 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石晶体制造，公开了一种减少蓝宝石晶体长晶缺陷的方法，包括以下方面：1)控制设置在坩埚底部的热交换器与设置在坩埚周边的加热器的相对位置，使得所述加热器的底端高度低于所述热交换器的顶部高度；2)控制坩埚中蓝宝石原料的装填方法，在坩埚的底部装填回收原料，其他部分的周边装填初始原料，中间装填回收原料；3)控制加热过程中坩埚内不同部位的蓝宝石液体的温度，提高坩埚底部与坩埚周边蓝宝石液体的温度梯度。所生产的蓝宝石晶体中出现气泡和空穴缺陷的概率更低。本发明还公开了一种蓝宝石生长炉。
减少蓝宝石晶体缺陷方法长晶炉

[发明专利]减少碳包裹的碳化硅单晶的制备方法-CN202111264650.3有效
发明人：翟虎 -专利权人：江苏吉星新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2021-10-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明涉及晶体制备技术领域，公开了一种减少碳包裹的碳化硅单晶的制备方法，所述方法至少包括装料和长晶的步骤，装料步骤包括：向长晶容器中加入碳化硅粉末和氧化物，氧化物为二氧化硅和/或二氧化铈；其中使得碳化硅粉末和氧化物在长晶容器中形成包裹反应结构、层叠反应结构或复合反应结构；包裹反应结构包括二氧化硅层和包裹在二氧化硅层外部的碳化硅粉末层；层叠反应结构包括碳化硅粉末层和二氧化铈层，二氧化铈层和碳化硅粉末层之间具有隔离物而不直接接触；复合反应结构包括二氧化硅层、包裹在二氧化硅层外部的碳化硅粉末层和二氧化铈层，二氧化铈层和碳化硅粉末层之间具有隔离物而不直接接触。该方法能够有效降低碳化硅晶体的石墨化程度。
减少包裹碳化硅制备方法

[实用新型]用于多线切片的固定装置及多线切片装置-CN202320553300.7有效
发明人：邹敏;翟虎;林宏达;孙金梅 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于多线切片的固定装置及多线切片装置，用于多线切片的固定装置包括：安装座；固定件，至少设有两个，至少两个所述固定件间隔设置在所述安装座的一侧；以及加工冶具，可拆卸地设置在所述固定件上用于安装待切割物。本公开的固定件设置在安装座上，固定件设有至少两个，这样可以同时切割多个待切割物，提高工作效率，多个固定件间隔设置可以用于切割尺寸较大的待切割物，固定件之间留有间距以使安装在固定件上的待切割物不会彼此触碰，待切割物通过加工冶具设置在固定件上，加工冶具与固定件可拆卸连接，方便更换，同时可以安装适用不同尺寸待切割物的加工冶具。
用于切片固定装置

[实用新型]维修工具-CN202320408400.0有效
发明人：谢国辉;翟虎;林宏达;李孟轩;孙金梅 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭集团有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B25B13/48 文献下载
摘要：本公开涉及一种维修工具，用于对曝光机内部区域的螺母进行拆卸和安装，包括：维修杆，包括相对的维修端和连接端；延长杆，延长杆的一端形成有用于供连接端插入的插槽，以及弹性锁止结构，设于插槽，用于可解锁地将维修杆的连接端锁止于插槽内。该维修工具通过延长杆整体加长了维修工具的长度，方便操作，且可以通过弹性锁止结构将维修杆可解锁地锁止于延长杆，对于曝光机内不同大小的螺母可以更换不同大小的维修杆，提高维修工具的通用性。
维修工具

[实用新型]研磨机-CN202320033496.7有效
发明人：边潇帅;宋亚滨;翟虎;陆继波;洪飞 -专利权人：甘肃旭晶新材料有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-01-06 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本公开提供一种研磨机，包括：研磨部；桶体的顶部封盖有盖体，盖体朝向桶体的一侧设置搅拌部，搅拌部包括水平叶片组和竖直叶片组，水平叶片组和竖直叶片组沿竖直方向间隔设置，水平叶片组和竖直叶片组用于对不同高度处的研磨液进行搅拌；回液管连通桶体和研磨部，回液管能够将研磨部的排液处的液体输送至桶体内，回液管上设置过滤网。本公开搅拌部包括水平叶片组和竖直叶片组，能够对不同高度处的研磨液进行搅拌，实现了水平、竖直两个方向的搅拌，使搅拌更加充分；回液管连通桶体和研磨机，提高了资源的利用率，同时减缓了桶体内液面的下降幅度，避免搅拌部打到研磨液表面造成研磨液飞溅的情况，降低了搅拌装置维护时间和维护成本。
研磨机

[发明专利]碳化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及应用-CN202310391497.3在审
发明人：李奕铭;林宏达;翟虎;宋亚滨 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： C01B32/984 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅制备领域，公开了一种碳化硅废粉再利用以生产碳化硅的方法及应用。本发明的方法包括：向所述管状模具与所述反应容器的侧壁之间的间隙填充碳化硅废粉，并向所述管状模具的内侧填充碳硅混合料；填充完成后，拆卸所述管状模具，盖上所述反应容器的盖体，将所述反应容器置于合成炉进行合成反应制得所述碳化硅粉料。本发明提供的方法将无法用于晶体生长的碳化硅废粉回收再利用以生产碳化硅粉料，为碳化硅废粉的再利用开辟了新途径，提高了碳化硅废粉的利用率，同时，克服了现有技术合成的碳化硅粉料碳化而导致最终得到的碳化硅产率降低的问题，提高了碳硅混合料合成得到的碳化硅粉料的产率。
碳化硅再利用生产方法应用

[发明专利]抛光液换热装置和抛光机-CN202310653035.4在审
发明人：许伟峰;翟虎;林宏达;孙金梅 -专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本公开涉及一种抛光液换热装置和抛光机，该抛光液换热装置包括容器、流量控制单元以及第一测温组件，容器包括第一换热腔，第一换热腔上形成有第一进水口、抛光液进口以及抛光液出口，抛光液进口用于与抛光机的出液口连通，抛光液出口用于与抛光机的储液装置连通，流量控制单元的出口与第一进水口连通，流量控制单元的入口用于与冷水机的出口连通，第一测温组件用于检测从抛光液出口流出的抛光液的温度，第一测温组件与流量控制单元电连接。通过该抛光液换热装置，可以对抛光液的温度进行控制，使从抛光液出口流出的抛光液更接近其最佳工作温度，有利于提高抛光液对碳化硅晶片表面的抛光质量。
抛光液换热装置抛光机

[发明专利]一种纳米级图形转移的工艺方法及其应用-CN202310278478.X在审
发明人：谢国辉;李孟轩;孙金梅;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体领域，公开了一种纳米级图形转移的工艺方法及其应用，该方法包括：(1)采用防粘试剂I对硅模板进行防粘处理I，得到模板I；(2)将PET膜覆盖在结构面含有快速模板胶稀释剂的所述模板I上，得到中间材料，然后采用压印设备对所述中间材料进行纳米压印I，得到柔性软模板；所述快速模板胶稀释剂中快速模板胶的含量为74‑76wt％；(3)采用防粘试剂II对所述柔性软模板进行防粘处理II，得到模板II；(4)采用所述压印设备并利用所述模板II对涂覆有紫外纳米压印胶的衬底片进行纳米压印II，得到压印产品。本发明提供的方法使得纳米图形转移更精确。
一种纳米图形转移工艺方法及其应用

[发明专利]碳化硅粉料的制备方法-CN202310406312.1在审
发明人：李奕铭;林宏达;翟虎;宋亚滨 -专利权人：成都中浦科技有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： C01B32/984 文献下载
摘要：本申请提供一种碳化硅粉料的制备方法，涉及碳化硅粉料技术领域。该方法包括：向石墨坩埚的内部中铺设保护层；向增设有保护层的石墨坩埚中装入待处理物；其中，保护层用于阻隔待处理物对石墨坩埚的侵蚀。本方法通过铺设的保护层来隔断待处理物与石墨坩埚的接触，防止了装入待处理物在加热过程中对石墨坩埚的侵蚀，解决了现有石墨坩埚因易被待处理物侵蚀而导致的使用寿命短的问题。
碳化硅制备方法

[发明专利]一种二氧化硅-蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用-CN202310314617.X在审
发明人：李孟轩;林宏达;翟虎 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-28 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体氮化镓外延基材领域，具体涉及一种二氧化硅‑蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用。该方法包括：(1)在刻蚀气体存在下，对基体I进行第一刻蚀处理，得到中间体I；(2)在刻蚀溶剂存在下，对所述中间体I进行第二刻蚀处理；所述第二刻蚀处理的条件至少满足：温度为24‑26℃，时间为30‑35秒；其中，所述刻蚀溶剂中含有HF溶液，且在所述刻蚀溶剂中，所述HF溶液的浓度为45‑55体积％。本发明提供的二氧化硅‑蓝宝石复合衬底的蓝宝石基面能够充分裸露，且能够避免由SiO2材料形成的圆锥体底部形成蓝宝石圆凸台，解决蓝宝石衬底的过刻蚀导致的SiO2圆锥体积难以最大化的问题。
一种二氧化硅蓝宝石复合衬底及其制备方法应用

[发明专利]一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用-CN202310259548.7在审
发明人：林宏达;翟虎;李孟轩 -专利权人：浙江丽晖智能装备有限公司;东旭科技集团有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L33/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种蓝宝石复合衬底及其制备方法和应用，蓝宝石复合衬底包括由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底和设置在所述基底上的至少两个圆锥体，各个所述圆锥体相同，且所述圆锥体由二氧化硅材料形成，所述圆锥体的锥底与所述基底直接接触，所述圆锥体的高度与底径的比值为1：1.1‑1.9，该蓝宝石复合衬底具有体积最大化的二氧化硅材料形成的至少两个圆锥体、充分裸露的由蓝宝石衬底材料形成的具有平面结构的基底底面，其制备工艺简单，适用于工业化生产。
一种蓝宝石复合衬底及其制备方法应用

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
下一页»
尾页
共 161 条