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[实用新型]一种废水处理系统及其电化学反应器-CN202022936079.2有效
发明人：魏秋平;罗立珍;黎亚文;王宝峰;王立峰;周科朝 -专利权人：南京岱蒙特科技有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废水处理系统及其电化学反应器，该电化学反应器，包括反应器本体，所述反应器本体的中部设有搅拌器，内周壁上设有若干电极模组，若干所述电极模组沿所述反应器本体的轴向在所述反应器本体的内周壁上成螺旋形分布。该电化学反应器的中部布置搅拌器，内周壁上设有若干电极模组，若干电极模组在电化学反应器的轴向方向上呈螺旋分布，通过搅拌器的搅动，可以加快电极表面物质更新速度，减少电极表面的浓差极化。
一种废水处理系统及其电化学反应器

[发明专利]一种废水污染物电化学降解装置-CN202110449854.8在审
发明人：魏秋平;黎亚文;罗立珍;王宝峰;周科朝;施应洁;谭际麟;施振;施帅;施海平;王立峰;李秋燕 -专利权人：湖南新锋科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本发明公开了一种废水污染物电化学降解装置，旨在实现废水的充分电解矿化。为此，本申请提供的废水电化学处理装置，包括反应槽和设置于所述反应槽内的电极模组，所述电极模组包括阳极板和阴极板，所述阳极板和阴极板在所述反应槽内自下到上平行交替分布，将所述反应槽内分隔成左右往复弯折延伸呈蛇形设置的废水处理流道，所述反应槽的上部设有与所述废水处理流道的顶端连通的出水口，下部设有与所述废水流道的底端连通的进水口。
一种废水污染物电化学降解装置

[实用新型]一种电化学降解废水的电极模组-CN202022635841.3有效
发明人：魏秋平;罗立珍;黎亚文;王宝峰;王立峰;周科朝 -专利权人：南京岱蒙特科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电化学降解废水的电极模组，包括阳极板、阴极板、阳极导电体和阴极导电体，所述阳极导电体依次穿过交替间隔平行设置的若干所述阴极板和阳极板与阳极锁紧螺母连接，相邻所述阳极板和阴极板之间通过绝缘垫片隔开，所述阴极板与所述阳极导电体之间通过绝缘套隔开，所述阳极板与所述阳极导电体接触，所述阴极板设有延伸至所述阳极板外的极耳，所述阴极导电体与所述极耳电连接。该电极模组具有结构简单，拆卸方便的优点。
一种电化学降解废水电极模组

[实用新型]电化学有机废水处理设备-CN202022638616.5有效
发明人：魏秋平;罗立珍;黎亚文;王宝峰;王立峰;周科朝 -专利权人：南京岱蒙特科技有限公司
申请日： 2020-11-13 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： C02F1/46 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电化学有机废水处理设备，包括电化学反应器、电极模组和搅拌器，所述电极模组包括阴极板和阳极板，所述搅拌器设置在所述电化学反应器内，所述电极模组在所述电化学反应器内环绕所述搅拌器均匀布置多个。该处理设备在将电化学反应器的中部布置搅拌器，而电极模组则环绕搅拌器布置，通过搅拌器的搅动，可以加快电极表面物质更新速度，减少电极表面的浓差极化。
电化学有机废水处理设备

[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的导向机构-CN201921319564.6有效
发明人：华冬辉;李纲;郑启发;罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的导向机构，安装于真空镀膜室内，其设置有至少两条滑轨，所述滑轨设置有调节结构，以用于调节所述滑轨的高度和两条所述滑轨之间的宽度。本实用新型中的导向机构既可以调节宽度，也可以调节高度，可以适配设置在转台架上不同位置的滑轮，实现导向，可以有效解决卧式镀膜机的进出料导向问题，填补市场空白，实用性强。
一种用于卧式真空镀膜导向机构

[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构-CN201921320254.6有效
发明人：华冬辉;郑启发;李纲;罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的工件安装机构，其设置有安装架和转台架，所述转台架可绕水平轴转动地安装于所述安装架上，且所述转台架上设置有用于安装工件的工件安装结构，所述工件安装结构与所述转台架联动，从而在所述转台架转动时随之转动。本实用新型中的转台架可绕水平轴转动地设置在安装架上，可以适用于卧式镀膜机，并且进一步通过将其设置自转座组件来安装工件，既可以实现公转、自转，也可以较好的安装工件，为卧式真空镀膜机的实现提供结构基础，实用性强。
一种用于卧式真空镀膜工件安装机构

[实用新型]一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构-CN201921320501.2有效
发明人： 罗立珍;李纲;郑启发;华冬辉 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于卧式真空镀膜机的进出料机构，设置有工件小车，工件小车设置有移动装置，移动装置设置有驱动工件小车移动的驱动组件和在工件小车退出真空镀膜室后支撑工件小车的支撑组件。本实用新型的进出料机构可以很好的适配卧式结构设计的真空镀膜机，解决卧式结构设计的真空镀膜机的进出料问题，实用性强。
一种用于卧式真空镀膜进出机构

[实用新型]一种卧式真空镀膜机-CN201921321943.9有效
发明人： 罗立珍;李纲;郑启发;华冬辉 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种卧式真空镀膜机，包括卧式真空镀膜室和两个工件上下料机构，所述卧式真空镀膜室的两侧设置有可开闭的上下料口，两个所述工件上下料机构对应所述上下料口设置并可交替地将工件送入所述卧式真空镀膜室。本实用新型中的真空镀膜机将传统的立式结构改为卧式结构，无需搭建高台，方便工人装卸工件，有利于保证安全生产，并且同时设置有两个工件上下料机构，可以交替进行上料、下料，生产效率高，降低了车间要求，有利于降低生产成本，实用性强。
一种卧式真空镀膜

[实用新型]一种可快速拆装靶芯的立式镀膜机-CN201921321944.3有效
发明人： 罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可快速拆装靶芯的立式镀膜机，其设置有真空镀膜室，所述真空镀膜室的顶部设置有靶头组件，所述靶头组件的下端旋转扣接有靶芯组件，且所述靶头组件于所述靶芯组件的外侧套设有靶材。本实用新型中的镀膜机，采用旋转扣接的方式来安装靶芯组件，较传统的安装方式，更为便捷，效率高，实用性强。
一种快速拆装立式镀膜

[发明专利]一种真空镀膜设备-CN201810457470.9有效
发明人：李纲;华冬辉;罗立珍;郑启发 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： C23C14/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种真空镀膜设备，包括：真空腔，真空腔的一端为电弧离子镀膜区，另一端为磁控溅射镀膜区，电弧离子镀膜区与磁控溅射镀膜区连通；卷绕系统，包括正面电弧离子镀膜辊、反面电弧离子镀膜辊、反面磁控溅射镀膜辊、正面磁控溅射镀膜辊；镀件依次经过正面电弧离子镀膜辊、反面电弧离子镀膜辊、反面磁控溅射镀膜辊、正面磁控溅射镀膜辊；电弧离子靶组件，数量为两组，一组在正面电弧离子镀膜辊旁且朝向镀件正面，另一组在反面电弧离子镀膜辊旁且朝向镀件反面；磁控溅射靶组件，数量为两组，一组在正面磁控溅射镀膜辊旁且朝向镀件正面，另一组在反面磁控溅射镀膜辊旁且朝向镀件反面。具有更高的效率。本发明应用于镀膜领域。
磁控溅射镀膜电弧离子镀膜镀件真空镀膜设备真空腔两组磁控溅射靶电弧离子卷绕系统靶组件镀膜连通应用

[实用新型]一种立式硅片磁控溅射镀膜机-CN201820706819.3有效
发明人：李纲;周通之;隆祖亿;罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种立式硅片磁控溅射镀膜机，包括：真空室、设置在真空室内用于悬挂和移动硅片的传动装置，以及用于抽真空的真空抽气系统、用于供电和控制工作状态的电源控制系统；所述真空室包括互相连接的清洗室和溅射室，清洗室内设置有离子清洗电极，溅射室内设置有溅射靶；传动装置包括设置在真空室内的硅片挂板、挂板底座、轨道车，硅片挂板与挂板底座可拆卸连接，轨道车顶部开设有凹槽，挂板底座底部设置有凸出部，挂板底座通过凸出部和凹槽的配合与轨道车固定插接。采用本设计可以减少真空室体积、真空效果好，并且取放硅片方便，能够有效去除硅片表面残渣并加热，镀膜后的成片效果好。
硅片挂板底座轨道车真空室室内磁控溅射镀膜机传动装置凸出部电源控制系统真空抽气系统本实用新型供电和控制可拆卸连接固定插接硅片表面互相连接离子清洗真空效果抽真空溅射靶溅射室清洗室电极镀膜溅射取放加热去除清洗悬挂移动配合

[实用新型]一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极-CN201820707081.2有效
发明人：李纲;张旭;隆祖亿;罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极，包括：电极接头、水冷电极、进水接头、出水接头和分水管，电极接头的一端与水冷电极相连，分水管包括贯穿水冷电极和电极接头的第一内分水管、第二内分水管、延伸出水冷电极顶部的外分水管网，进水接头通过第一内分水管与外分水管网相连，出水接头通过第二内分水管与外分水管网相连；电极接头外覆盖有绝缘套，绝缘套外覆盖有外屏蔽罩，外屏蔽罩通过固定装置与立式硅片磁控溅射镀膜机内的支架底部相连，水冷电极与立式硅片磁控溅射镀膜机内的支架之间设置有密封绝缘套。本实用新型将加热和清洗步骤同时进行，并且利用等量的冷却水进行了双重散热，散热效果好、密封绝缘性佳。
分水管磁控溅射镀膜机电极接头水冷电极硅片分水管网本实用新型出水接头进水接头离子清洗外屏蔽罩绝缘套电极支架密封绝缘套密封绝缘性固定装置散热效果双重散热冷电极冷却水出水等量覆盖加热清洗应用延伸贯穿

[实用新型]一种高精度恒压强闭环控制仪-CN201820706818.9有效
发明人：李纲;张旭;杨靖;罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2019-04-26 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度恒压强闭环控制仪，包括闭环控制仪本体和真空电控系统，闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒；真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。本设计通过真空屏蔽箱和内屏蔽盒的双层设计，并且在内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧都覆盖有电磁屏蔽层，能够有效屏蔽电磁干扰；控制模块通过监测数据实时控制真空泵的进气量来实现真空屏蔽箱内部压强的闭环控制，能够提供稳定的真空环境，保证了芯片的测试结果的可靠性。
真空屏蔽闭环控制真空泵流量计压强电控系统控制模块内屏蔽真空计支架芯片本实用新型电磁屏蔽层电磁干扰电性连接监测数据内部压强实时控制双层设计有效屏蔽真空环境进气量屏蔽盒覆盖保证

[实用新型]一种高精度恒压强闭环控制仪的电控系统-CN201820706817.4有效
发明人：李纲;张旭;罗立珍;杨靖 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高精度恒压强闭环控制仪的电控系统，包括：微处理器、用于监测闭环控制仪真空压强的真空计、设置在真空充气阀内的阀控单元、用于监测真空充气阀充气流量的流量计、模拟运放单元和数字转换单元，所述真空计、流量计皆通过模拟运放单元和数字转换单元与微处理器相连，所述微处理器与阀控单元相连。本实用新型通过真空计监测真空压强，流量计监测充入气体流量，真空计和流量计通过模拟运放单元和数字转换单元将信号反馈给微处理器，微处理器通过接收信号控制真空充气阀内的阀控单元，实现对真空充气阀充气流量的实时控制，不仅能够精确真空压力控制，而且响应速度快。
微处理器流量计充气阀真空计数字转换单元闭环控制阀控单元运放压强监测本实用新型充气流量电控系统真空压强真空压力控制气体流量实时控制信号反馈信号控制响应

[实用新型]一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的传动装置-CN201820706820.6有效
发明人：李纲;虢小双;隆组义;罗立珍 -专利权人：湖南菲尔姆真空设备有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的传动装置，包括：机架、设置在机架上的真空室，真空室设置有硅片挂板、挂板底座、轨道车，硅片挂板与挂板底座可拆卸连接；轨道车顶部开设有凹槽，挂板底座底部设置有凸出部，挂板底座通过凸出部和凹槽的配合与轨道车固定插接，挂板底座和轨道车的接触面之间设置有绝缘层；轨道车侧边设置有从动轮，真空室外壁与从动轮对应处设置有驱动轮，驱动轮与从动轮通过转动轴相连。采用此设计既方便取放硅片，又可以整个减少真空室的容积，真空效果好，提高了镀膜质量，此外设置的绝缘层避免了镀膜时因为绝缘效果不佳产生的边缘效应，使镀膜效果更均匀，提高了成片质量。
挂板轨道车硅片底座从动轮真空室绝缘层磁控溅射镀膜机传动装置驱动轮凸出部镀膜本实用新型可拆卸连接真空室外壁边缘效应镀膜效果固定插接绝缘效果真空效果转动轴侧边取放应用配合