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[发明专利]一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极-CN201810447697.5有效
发明人：李纲;张旭;隆组义;罗立珍 -专利权人：湖南众源科技有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜机的离子清洗电极，包括：电极接头、水冷电极、进水接头、出水接头和分水管，电极接头的一端与水冷电极相连，分水管包括贯穿水冷电极和电极接头的第一内分水管、第二内分水管、延伸出水冷电极顶部的外分水管网，进水接头通过第一内分水管与外分水管网相连，出水接头通过第二内分水管与外分水管网相连；电极接头外覆盖有绝缘套，绝缘套外覆盖有外屏蔽罩，外屏蔽罩通过固定装置与立式硅片磁控溅射镀膜机内的支架底部相连，水冷电极与立式硅片磁控溅射镀膜机内的支架之间设置有密封绝缘套。本发明将加热和清洗步骤同时进行，并且利用等量的冷却水进行了双重散热，散热效果好、密封绝缘性佳。
一种应用于立式硅片磁控溅射镀膜离子清洗电极

[发明专利]一种卧式真空镀膜机-CN201910748001.7有效
发明人： 罗立珍;李纲;郑启发;华冬辉 -专利权人：湖南众源科技有限公司
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种卧式真空镀膜机，包括卧式真空镀膜室和两个工件上下料机构，所述卧式真空镀膜室的两侧设置有可开闭的上下料口，两个所述工件上下料机构对应所述上下料口设置并可交替地将工件送入所述卧式真空镀膜室。本发明中的真空镀膜机将传统的立式结构改为卧式结构，无需搭建高台，方便工人装卸工件，有利于保证安全生产，并且同时设置有两个工件上下料机构，可以交替进行上料、下料，生产效率高，降低了车间要求，有利于降低生产成本，实用性强。
一种卧式真空镀膜

[实用新型]一种半导体器件用微纳米粉体镀膜设备-CN202320067203.7有效
发明人：刘雄飞;魏秋平;蒋韬;罗立珍;李俊;施应磊;汤博宇;周强胜;黄开塘 -专利权人：湖南辰皓真空科技有限公司;中南大学
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体器件用微纳米粉体镀膜设备，包括真空腔室、设置在真空腔室中的磁控溅射装置以及与真空腔室连接的真空系统，还包括设置在真空腔室中的多边形镀膜滚筒和转动支架，所述多边形镀膜滚筒和转动支架均与真空腔室内壁转动连接，还包括电机，所述多边形镀膜滚筒和转动支架分别通过电机驱动转动，所述转动支架设置在多边形镀膜滚筒内部,多个所述磁控溅射装置安装在转动支架上，各所述磁控溅射装置的溅射侧均朝向多边形镀膜滚筒。本申请的镀膜设备，通过滚动的方式对微纳米粉体进行分散，避免粉体成团，提高粉体表面镀膜均匀性；通过在转动支架上设置多个磁控溅射装置，在滚动镀膜的同时便于更换不同靶材，实现多层镀膜。
一种半导体器件纳米镀膜设备

[实用新型]一种半导体高功率器件电子封装材料气体压力熔渗设备-CN202320067760.9有效
发明人：蒋韬;魏秋平;罗立珍;刘雄飞;李俊;施应磊;汤博宇;周强胜;黄开塘 -专利权人：湖南辰皓真空科技有限公司;中南大学
申请日： 2023-01-10 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B22D23/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种半导体高功率器件电子封装材料气体压力熔渗设备，包括压力炉和加热电极,所述加热电极穿过压力炉装配，所述加热电极包括大径连接段和小径连接段，所述压力炉开设有与大径连接段和小径连接段匹配的连接孔，所述大径连接段的轴向台阶面与连接孔装配处设置有绝缘垫圈，所述绝缘垫两侧还设置有密封圈，所述加热电极与连接孔之间套接有密封陶瓷套，所述密封陶瓷套分为多个密封陶瓷套段，各所述密封陶瓷套段之间均设置有密封圈。本申请的半导体高功率器件电子封装材料气体压力熔渗设备，通过在加热电极与连接孔之间套接密封陶瓷套和密封圈，保证设备加工所需的真空度和压力值，从而提高复合材料加工质量。
一种半导体功率器件电子封装材料气体压力设备

[发明专利]一种锂电池集流体双面镀膜连续生产线及工艺-CN202310446566.6有效
发明人：马峰;罗立珍;蒋韬;刘雄飞;魏秋平;汤博宇;黄开塘 -专利权人：湖南辰皓真空科技有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： C23C14/20 文献下载
摘要：本发明涉及锂电池，公开了一种锂电池集流体双面镀膜连续生产线，放卷装置输出的塑料基材依次通过预处理装置、第一镀膜装置、第一活化清洗装置、第二镀膜装置、清洗干燥装置处理后进入收卷装置，第一镀膜装置先为基材两面镀覆纳米膜，第二镀膜装置再镀覆微米膜，形成厚度均匀的电子复合膜，该生产线工序连贯、一体化成型效果好、生产效率明显提高；第一活化清洗装置内盛装有第一活化清洗液，能对基材表面进行清洗和刻蚀，进一步提高电子复合膜的结合强度和质量，同时采用电解法对清洗废液、废弃金属进行回收，既能减少排放污染，还能实现资源重复利用；本发明还提出一种先蒸镀后磁控溅射形成第一膜层的方式，能更进一步提高镀膜强度、质量和效率。
一种锂电池流体双面镀膜连续生产线工艺

[发明专利]一种高精度恒压强闭环控制仪-CN201810448482.5有效
发明人：李纲;张旭;杨靖;罗立珍 -专利权人：湖南众源科技有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度恒压强闭环控制仪，包括闭环控制仪本体和真空电控系统，闭环控制仪本体包括支架、设置在支架上的真空屏蔽箱、真空屏蔽箱内设置有用于放置芯片的内屏蔽盒；真空电控系统包括与真空屏蔽箱相连的真空泵、设置在真空屏蔽箱内的真空计、流量计，以及与真空泵、真空计、流量计电性连接的控制模块。本设计通过真空屏蔽箱和内屏蔽盒的双层设计，并且在内屏蔽盒外侧和真空屏蔽箱内侧都覆盖有电磁屏蔽层，能够有效屏蔽电磁干扰；控制模块通过监测数据实时控制真空泵的进气量来实现真空屏蔽箱内部压强的闭环控制，能够提供稳定的真空环境，保证了芯片的测试结果的可靠性。
一种高精度压强闭环控制

[发明专利]一种立式硅片磁控溅射镀膜机-CN201810448149.4有效
发明人：李纲;周通之;隆组义;罗立珍 -专利权人：湖南众源科技有限公司;湖南天羿领航科技有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种立式硅片磁控溅射镀膜机，包括：真空室、设置在真空室内用于悬挂和移动硅片的传动装置，以及用于抽真空的真空抽气系统、用于供电和控制工作状态的电源控制系统；所述真空室包括互相密封连接的的清洗室和溅射室，清洗室内设置有离子清洗电极，溅射室内设置有溅射靶；传动装置包括设置在真空室内的硅片挂板、挂板底座、轨道车，硅片挂板与挂板底座可拆卸连接，轨道车顶部开设有凹槽，挂板底座底部设置有凸出部，挂板底座通过凸出部和凹槽的配合与轨道车固定插接。采用本设计可以减少真空室体积、真空效果好，并且取放硅片方便，能够有效去除硅片表面残渣并加热，镀膜后的成片效果好。
一种立式硅片磁控溅射镀膜

[实用新型]一种废水冷却循环电解装置-CN202222381874.9有效
发明人： 罗立珍;罗浩;黎亚文;伍水平;余丹;魏秋平;蔡群欢;陈大伟;张维;王宝峰;邓泽军 -专利权人：湖南新锋先进材料科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-02-07 - 主分类号： C02F9/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及废水电解处理技术领域，具体涉及一种废水冷却循环电解装置。本实用新型公开了一种废水冷却循环电解装置，包括废水预处理反应釜、过滤器组件和废水电解槽，所述废水预处理反应釜内设置有冷却水管路，所述冷却水管路与冷水机组连接，废水预处理反应釜的出水口通过管路连接过滤器组件的进水口，所述过滤器组件的出水口通过管路连接废水电解槽的进水口，所述废水电解槽的出水口通过管路连接至废水预处理反应釜的回流口。本申请的废水冷却循环电解装置，一方面，实现废水在装置中循环流动，多次进行电解反应，同时能过滤废水中的杂质，电解效果好，另一方面，对循环的废水进行冷却降温，进一步提高电解效果。
一种废水冷却循环电解装置

[实用新型]一种用于废水电化学处理的溢流式电解槽-CN202222381883.8有效
发明人：罗浩;余丹;魏秋平;罗立珍;黎亚文;伍水平;蔡群欢;陈大伟;张维;王宝峰;邓泽军 -专利权人：湖南新锋先进材料科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型涉及废水电化学处理技术领域，具体涉及一种用于废水电化学处理的溢流式电解槽。本实用新型公开了一种用于废水电化学处理的溢流式电解槽，包括依次连通的进水端槽体、第一连接槽体、中间槽体、第二连接槽体和出水端槽体；所述第一连接槽体和第二连接槽体用于安装电极板，进水端槽体中设置有进水端溢流堰，出水端槽体中设置有出水端溢流堰，中间槽体中设置有中间溢流堰；所述进水端槽体开设有进水口，所述出水端槽体开设有出水口。本申请的电解槽，能够对废水流动起到缓冲作用，保证水位高度，提高废水电解效果。
一种用于废水电化学处理溢流电解槽

[实用新型]一种密封式电化学处理装置-CN202222381882.3有效
发明人： 罗立珍;魏秋平;罗浩;黎亚文;伍水平;余丹;蔡群欢;陈大伟;张维;王宝峰;邓泽军 -专利权人：湖南新锋先进材料科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型的一种密封式电化学处理装置，包括壳体、阴极模组和阳极模组，所述壳体包括两侧开口的壳体中框以及分别封闭壳体中框两侧开口的两块盖板，所述盖板开设有多个沉头孔；所述阴极模组连接有阴极接线柱，所述阳极模组连接有阳极接线柱，所述阴极接线柱和阳极接线柱穿过盖板上的沉头孔后均套接有密封组件,所述密封组件包括设置在沉头孔内的密封圈,所述密封圈上方依次装配有密封垫、平垫圈和压紧螺母。本申请的密封式电化学处理装置，可以解决接线柱位置的密闭性问题。
一种密封电化学处理装置

[实用新型]一种防废气溢出式废水电化学处理装置-CN202222381895.0有效
发明人：罗浩;余丹;魏秋平;罗立珍;黎亚文;伍水平;蔡群欢;陈大伟;张维;王宝峰;邓泽军 -专利权人：湖南新锋先进材料科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型涉及废水处理技术领域，具体涉及一种防废气溢出式废水电化学处理装置。本实用新型公开了一种防废气溢出式废水电化学处理装置，包括内置有电极模组的开放式电解槽和开设有抽风口的箱体，所述开放式电解槽放置在箱体中，所述开放式电解槽上方设置有从抽风口延伸进箱体的废气收集管，所述废气收集管在开放式电解槽放置有电极模组的对应位置开设有吸气口。本实用新型的一种防废气溢出式废水电化学处理装置，在开放的电解槽中进行废水电解处理，通过废气收集管收集可以防止废气溢出。
一种废气溢出废水电化学处理装置

[实用新型]一种缓冲式废水电化学处理装置-CN202222381893.1有效
发明人： 罗立珍;罗浩;黎亚文;魏秋平;伍水平;余丹;蔡群欢;陈大伟;张维;王宝峰;邓泽军 -专利权人：湖南新锋先进材料科技有限公司
申请日： 2022-09-08 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种缓冲式废水电化学处理装置，包括阴极杆、阳极管、第一通孔封板、第二通孔封板、第一端面板、第二端面板；所述第一端面板的下端设置有进水口，所述第一端面板在远离进水口的一面开设有与进水口连通的进水槽；所述第二端面板的上端设置有出水口，所述第二端面板在远离出水口的一面开设有与出水口连通的出水槽；所述第一通孔封板固定连接在第一端面板的进水槽一侧，所述第二通孔封板固定连接在第二端面板的出水槽一侧；所述阳极管连通进水槽和出水槽，所述阳极管直径大于所述阴极杆直径，所述阴极杆穿过阳极管内部装配，所述阳极管和阴极杆之间形成水流通道。本申请的装置，在进行废水处理时，电解反应更加充分。
一种缓冲废水电化学处理装置

[实用新型]一种电化学降解废水用电极模组-CN202122307686.7有效
发明人：魏秋平;罗立珍;黎亚文;王宝峰;王立峰;周科朝 -专利权人：南京岱蒙特科技有限公司
申请日： 2021-09-23 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电化学降解废水用电极模组，包括极板组件，所述极板组件包括阳极板、阴极板、绝缘垫板和绝缘螺栓，多块所述阴极板叠置并且由位于中间的所述绝缘垫板相互分开，所述绝缘螺栓穿过所述阴极板和绝缘垫板后与锁紧螺母连接，任意相邻两块所述阴极板之间均设有所述阳极板，所述阳极板与两侧的所述阴极板之间存在放电间隙，所述绝缘垫板位于所述阳极板的上方和下方，所述绝缘垫板面向所述阳极板的侧壁上设有卡槽，所述阳极板的上下端卡紧固定在所述卡槽中。该电极模组具有结构简单，拆卸方便的优点。
一种电化学降解废水用电模组

[实用新型]一种废水污染物电化学降解装置-CN202120863755.X有效
发明人：魏秋平;黎亚文;罗立珍;王宝峰;周科朝;施应洁;谭际麟;施振;施帅;施海平;王立峰;李秋燕 -专利权人：湖南新锋科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废水污染物电化学降解装置，旨在实现废水的充分电解矿化。为此，本申请提供的废水电化学处理装置，包括反应槽和设置于所述反应槽内的电极模组，所述电极模组包括阳极板和阴极板，所述阳极板和阴极板在所述反应槽内自下到上平行交替分布，将所述反应槽内分隔成左右往复弯折延伸呈蛇形设置的废水处理流道，所述反应槽的上部设有与所述废水处理流道的顶端连通的出水口，下部设有与所述废水流道的底端连通的进水口。
一种废水污染物电化学降解装置

[实用新型]一种废水污染物电化学氧化降解设备-CN202120862255.4有效
发明人：魏秋平;黎亚文;罗立珍;王宝峰;周科朝;施应洁;谭际麟;施振;施帅;施海平;王立峰;李秋燕 -专利权人：湖南新锋科技有限公司
申请日： 2021-04-25 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C02F1/461 文献下载
摘要：本申请涉及有机废水处理技术领域，提供一种废水污染物电化学氧化降解设备，包括：外壳、移动电源、电极模组和动力泵，所述移动电源、所述电极模组和所述动力泵均设置在所述外壳内，所述移动电源与所述电极模组、所述动力泵均电连接，所述电极模组的进液口与外界废液储备装置连接，所述电极模组的出液口与所述动力泵连接，所述动力泵与外界的废液收集装置连接。通过将移动电源、电极模组和动力泵均设置在外壳内，既可以将该设备体积设置的较小，又无需外界电源，从而可以独立的处理废水，功能完备的同时具有放置环境适应能力强，可随时移动且搬运方便的优点。
一种废水污染物电化学氧化降解设备

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