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- [实用新型]一种防掉片的蒸镀治具-CN202321236497.8有效
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杨宇豪;符红锐;章程;董国庆;文国昇;金从龙
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江西兆驰半导体有限公司
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2023-05-22
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2023-09-12
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C23C14/24
- 本实用新型提供一种防掉片的蒸镀治具,包括晶片盘以及拉伸组件,拉伸组件位于晶片盘背离晶片的一面,拉伸组件包括第一弹簧和第二弹簧,第一弹簧的弹簧圈与第二弹簧的弹簧圈层叠设置、且第一弹簧的中部和第二弹簧的中部固定连接,第一弹簧和第二弹簧的两端均向外延伸分别形成相对设置的伸缩部,在第一弹簧中,任一伸缩部的自由端朝向晶片盘的一侧弯折形成夹持部、另一伸缩部的自由端形成固定部与晶片盘连接,夹持部与晶片接触,在第二弹簧中,两伸缩部的自由端均朝向晶片盘的一侧弯折形成夹持部,在晶片盘背离拉伸组件一侧的边缘凸起设有承托部,本实用新型中的防掉片的蒸镀治具,通过夹持部的回弹多方向挤压晶片至承托部,加强对晶片的固定力度。
- 一种防掉片蒸镀治具
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