专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种一拖二二极管晶圆自动传输机械手装置-CN201720561890.2有效
  • 刘红军;杨刚;孟宪圆;郑金宝;李艳霞 - 秦皇岛视听机械研究所
  • 2017-05-19 - 2017-12-05 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种一拖二二极管晶圆自动传输机械手装置,它涉及晶圆自动传输装置领域,机架上设置有上片机构和收片机构,上片机构和收片机构的一侧位于机架的台面上设置有水平旋转臂,水平旋转臂的上方安装有水平伸缩臂,水平伸缩臂的前端安装有竖直伸缩臂,竖直伸缩臂的前端安装有晶圆拾取机构。它通过采用上片机构与收片机构独立的设计方案,并且通过晶圆拾取机构对晶圆上表面进行吸附操作,解决了晶舟内空间狭小的弊端,由于对晶圆上表面进行吸附操作,现有半自动探针台机不需要做任何结构改动即可完成自动化升级工作,该装置采用了近似对称的结构,旋转机构可以实现大于180°角度的旋转,可以为两台探针台提供晶圆传输服务。
  • 一种一拖二二极管自动传输机械手装置
  • [发明专利]一种二极管裸晶圆高速双针测试装置-CN201510111796.2有效
  • 杨刚;孟宪圆;杨锋;于国辉 - 秦皇岛视听机械研究所
  • 2015-03-13 - 2017-09-29 - G01R31/26
  • 本发明公开了一种二极管裸晶圆高速双针测试装置,包括第一、第二测试针、用于安放待测裸晶圆芯片的裸晶圆吸片台,及测试仪,该测试仪弹片及其上的弹片触点、该触点与气缸上的触点相对应,当给测试仪表测试信号时,电磁阀驱动气缸上的触点与弹片触点接触,通过第一测试针接触待测裸晶圆上的单颗芯片与测试仪形成闭合回路,实现对待测裸晶圆上单颗芯片的测试,测试结束后,电磁阀驱动气缸上的触点与弹片触点脱离,形成断开电路,同理,电磁阀驱动第二测试针所在的电路形成闭合回路,对第二测试针正下方的芯片进行测试。即可实现裸晶圆上两颗芯片的测试,大大提高了裸晶圆的测试效率。
  • 一种二极管裸晶圆高速测试装置
  • [发明专利]裸晶粒缺陷检测设备-CN201510028543.9在审
  • 刘红军;杨刚;孟宪圆;于国辉;杨锋 - 秦皇岛视听机械研究所
  • 2015-01-21 - 2015-05-20 - B07C5/34
  • 本发明公开了一种裸晶粒检测设备,包括裸晶粒传输装置,对裸晶粒进行排列处理;裸晶粒探测传感器,检测裸晶粒是否进入图像采集装置的工作区域;多个图像采集装置,单个裸晶粒经过多个图像采集装置时,采集图像信息,传送给处理装置,处理装置判断裸晶粒表面是否合格;裸晶粒拾取装置,裸晶粒经过处理装置判断后,通过裸晶粒拾取装置对裸晶粒表面合格品或不合格品放入不同的存储仓。本发明将排列传输的裸晶粒经过图像采集装置时触发图像采集装置,将采集到的图像传送给处理装置,判断裸晶粒多面体的表面是否合格,最后通过裸晶粒拾取装置将合格或不合格品放入不同的存储仓,能减少人为因素的干扰和工作强度,节省成本并增加检测的准确度和一致性。
  • 晶粒缺陷检测设备
  • [实用新型]探针台的晶圆芯粒自动对准装置-CN201420564913.1有效
  • 宋涛;刘烽;赵明宇 - 秦皇岛视听机械研究所
  • 2014-09-29 - 2015-01-07 - H01L21/66
  • 本实用新型公开了一种探针台的晶圆芯粒自动对准装置,包括晶圆探针台;其中它还具有用于控制晶圆探针台运动的视觉系统;所述的视觉系统,包括工控机,及其上与之连接的支撑臂,该支撑臂上安装有CCD摄像机及CCD摄像机连接的镜头和安装在镜头上的LED光源,由CCD摄像机通过数据传输线与工控机控制系统连接。通过视觉系统对晶圆探针台的运动进行控制。本新型首先实现由晶圆探针台的晶圆片上片过程,再通过视觉系统进行图像采集计算分析,实现对晶圆片的自动角度调整以及晶圆片第一个芯粒的定位过程。解决了传统人工上片精度和工作效率低的问题,极大的提升了优良率和产能。
  • 探针晶圆芯粒自动对准装置

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