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[发明专利]外延炉清洗方法、装置、电子设备及存储介质-CN202310824886.0在审
发明人：郭嘉杰;盛飞龙;张南;刘自然;罗骞 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本申请属于清洗碳化硅外延炉的技术领域，公开了一种外延炉清洗方法、装置、电子设备及存储介质，该方法包括：获取外延炉反应室中石墨件在清洗前的碳化硅信息，设置外延炉反应室为真空的清洗环境，调节外延炉反应室中石墨托盘的运动状态为旋转状态，利用氩气和三氟化氯气，基于预设的温度范围和预设的压力范围，结合真空的清洗环境和石墨托盘的旋转状态，对外延炉反应室进行清洗，得到清洗后的碳化硅信息，对比清洗前的碳化硅信息和清洗后的碳化硅信息，确定清洗效果，通过设置真空环境、维持石墨托盘的旋转状态和调节对应的温度及压力，利用氩气和三氟化氯气，对外延炉进行清洗，提高了外延炉清洗的效率。
外延清洗方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法-CN202310635028.1在审
发明人：王鑫;盛飞龙;高桑田;仇礼钦;戴科峰 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-05-31 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种传片漏气检测装置及方法、传片装置及方法，其中传片漏气检测装置，应用在外延设备中，外延设备包括传送腔和反应腔，传片漏气检测装置包括过渡腔和用于向过渡腔和传送腔充入惰性气体的充气装置，传送腔通过过渡腔与反应腔连通，传送腔与过渡腔之间设置有第一插板阀，过渡腔和反应腔之间设置有第二插板阀，传送腔内有第一真空计，过渡腔内有氧气传感器和第二真空计，通过该方式可实时检测传送腔内是否存在漏气点，从而防止空气进入反应腔中与反应腔中的氢气结合产生爆炸。
一种漏气检测装置方法

[发明专利]一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉-CN202210438710.7有效
发明人：伍三忠;徐俊;王慧勇;刘欣然;盛飞龙 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C30B25/02 文献下载
摘要：本发明属于外延生长技术领域，特别涉及一种外延炉的阀门隔热装置及外延炉，其中，外延炉的阀门隔热装置包括：法兰，用于连接外延炉的反应室和外延炉的传输阀，法兰上设有用于进行衬底上下料的传输口；装置还包括：隔热挡板，活动安装在法兰靠近反应室的一侧；驱动机构，安装在法兰上，且与隔热挡板连接，用于根据反应室的运行状态驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输口；该装置能根据反应室的运行状态利用驱动机构驱动隔热挡板运动以遮挡或打开传输阀与反应室之间的法兰上的传输口，从而减少了传输阀的温升，有效避免了传输阀的阀板因高温而损耗使用寿命，并有效减少反应室内高温对传输室内温度的影响。
一种外延阀门隔热装置

[发明专利]碱性体系直接尿素燃料电池阳极催化剂及其制备方法-CN202310544036.5在审
发明人：张雨娟;盛飞龙;胡拖平;安富强;宋江锋;高建峰 -专利权人：中北大学
申请日： 2023-05-15 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01M4/90 文献下载
摘要：本发明涉及一种碱性体系直接尿素燃料电池阳极催化剂，是采用导电聚合物聚吡咯为载体，于含有可溶性镍盐和尿素的水溶液中水热反应化学沉积氢氧化镍，于惰性气氛下煅烧后得到的、由含氮的碳材料包裹的单质镍/氧化镍纳米晶复合材料。本发明采用新型催化剂载体负载氢氧化镍，煅烧后得到活性物质镍和氧化镍取代传统贵金属，通过掺杂杂原子调节催化剂电子结构，提高了催化剂的催化活性和电极导电性，以其作为碱性体系直接尿素燃料电池阳极催化剂，具有优良的电化学反应活性。
碱性体系直接尿素燃料电池阳极催化剂及其制备方法

[发明专利]一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法-CN202210481219.2有效
发明人： 盛飞龙;郭嘉杰;王慧勇;王鑫;吴彩庭;孔倩茵 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B25/08 文献下载
摘要：本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种外延沉积反应室、沉积系统及沉积方法，其包括：所述反应室包括上半月石墨腔体和下半月石墨腔体，所述上半月石墨腔体两侧通过侧壁支撑石墨件与所述下半月石墨腔体连接，以围合构成气体反应腔，所述上半月石墨腔体的底壁具有多条平行设置的冷却流道，所述上半月石墨腔体一侧设有与所述冷却流道连接的冷却气体提供组件，所述冷却气体提供组件用于在所述反应室进行外延生长时为所述冷却流道提供所述冷却气体；该外延沉积反应室能够有效地减少由于反应气体在上半月石墨腔体的底壁发生化学反应而形成晶体的情况。
一种外延沉积反应系统方法

[发明专利]一种外延炉供气结构及供气系统-CN202310346330.5在审
发明人： 盛飞龙;郭嘉杰;孔倩茵;王鑫;徐俊;黄吉裕 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-04-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明涉及半导体生产技术领域，具体公开了一种外延炉供气结构及供气系统，其中，外延炉供气结构包括第一供气管道，与传送室连接，用于为传送室供应惰性气体；第二供气管道，与反应室进气端连接，用于为反应室供应初始载气；第一回气管道，其两端分别与传送室和第二供气管道连接；该外延炉供气结构设置第一回气管道连接传送室和第二供气管道，使得第二供气管道最终能为反应室输送由其原始提供的初始载气和第一回气管道提供的惰性气体构成的气浮混合载气，即利用了需要直接排放至废气处理设备中的传送室内的惰性气体来填补部分载气，有效降低整个设备的气体成本。
一种外延供气结构系统

[发明专利]一种用于外延设备的压力调节装置及工艺气体切换方法-CN202310283886.4在审
发明人： 盛飞龙;郭嘉杰;伍三忠;毛朝斌;钟新华;王鑫 -专利权人：季华实验室
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： C30B25/16 文献下载
摘要：本申请涉及外延设备技术领域，具体提供了一种用于外延设备的压力调节装置及工艺气体切换方法，该装置包括：流入管路，与反应室的进气端连接；排放管路，与反应室的排气管连接；压差检测组件，其两端分别与流入管路和排放管路连接，用于检测流入管路和排放管路之间的压差信息；载气供应组件，分别与流入管路和排放管路连接，用于为流入管路和排放管路供应载气；工艺气体供应组件，与流入管路和排放管路连接；切换组件，用于控制工艺气体供应组件为流入管路或排放管路供应工艺气体；回气组件，其两端分别与反应室的排气管和排放管路连接，用于将反应室的部分尾气导入排放管路；以及调节组件；该装置能够有效地减少载气使用量。
一种用于外延设备压力调节装置工艺气体切换方法

[发明专利]一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质-CN202111665014.1有效
发明人：王鑫;高桑田;钟新华;仇礼钦;盛飞龙;唐卓睿;戴科峰 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本申请涉及外延炉技术领域，具体提供了一种外延炉氢气吸收系统、方法、电子设备及存储介质，该系统包括：传送腔；存片腔，与所述传送腔连接；氢气吸收装置，设置在所述传送腔内，用于吸收所述传送腔内的氢气；氢气浓度检测装置，设置在所述传送腔内，用于采集所述传送腔内的氢气浓度信息；控制器，用于在对存片腔进行晶片上料或下料前，获取所述氢气浓度信息，还用于当所述氢气浓度信息大于或等于第一阈值时，控制所述氢气吸收装置吸收所述氢气直至所述氢气浓度信息小于第二阈值；通过氢气吸收装置吸收传送腔内的氢气，无需对反应腔执行抽真空和通入惰性气体的操作，从而有效地减少降低传送腔内的氢气浓度所需要的时间，提高外延炉的运行效率。
一种外延氢气吸收系统方法电子设备存储介质

[发明专利]甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机-CN202210146404.6有效
发明人： 盛飞龙;吴彩庭;戴科峰;伍三忠;吴帆;徐俊 -专利权人：季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： F26B11/08 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种甩干机的烘干系统、方法、设备、存储介质及甩干机，甩干机的烘干系统包括甩干桶，还包括：吹扫机构，用于送入吹扫气体；加热机构，用于加热吹扫气体和甩干桶；气体流量调节机构，用于调节吹扫气体的流量；温度湿度传感器，用于测量甩干桶内的温度信息和湿度信息；控制器，用于获取温度信息和湿度信息；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息小于或等于预设温度阈值时，减小吹扫机构中吹扫气体的流量；在湿度信息大于预设湿度阈值，且温度信息大于预设温度阈值时，增大吹扫机构中吹扫气体的流量，本申请提出的烘干系统可自动调节吹扫气体流量，实现了甩干机自动化烘干，并提高能源利用率。
甩干机烘干系统方法设备存储介质

[发明专利]一种用于反应室的气浮驱动装置、系统及方法-CN202211286779.9在审
发明人： 盛飞龙;郭嘉杰;王鑫;吴帆;戴科峰;梁启恒 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本申请涉及外延生长技术领域，具体提供了一种用于反应室的气浮驱动装置、系统及方法，该装置包括：气浮气体供应组件，用于供应包括氢气和惰性气体的气浮气体；第一气浮气路，通过第一质量流量控制器与所述气浮气体供应组件连接；第二气浮气路，通过第二质量流量控制器与所述气浮气体供应组件连接；压差测量组件，与所述第一气浮气路和所述第二气浮气路连接，用于生成所述第一气浮气路和所述第二气浮气路之间的压差信息；该装置能够有效地延长底座的使用寿命和降低更换底座的频率。
一种用于反应驱动装置系统方法

[发明专利]反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质-CN202211005536.3在审
发明人： 盛飞龙;钟新华;唐卓睿;徐俊;仇礼钦;谢利华 -专利权人：季华实验室
申请日： 2022-08-22 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，具体公开了一种反应腔内外延片测温方法、装置、电子设备及存储介质；该方法包括：将热电偶温度计充当外延片放置于反应腔内的衬底托盘上，也将钨铼热电偶放在反应腔内，在预设的第一加热温度范围内获取钨铼热电偶与热电偶温度计之间的温度变换关系，即是获得钨铼热电偶与外延片实际温度之间的变换关系；在外延反应过程中，根据钨铼热电偶和测温探头测取的温度、以及钨铼热电偶与热电偶温度计之间的温度变换关系，换算得到关于外延片实际温度与测温设备所测取的温度之间的变换关系；在实际反应中，只需根据测温探头测得的温度，即可获得外延片的实际温度；该方法简单，实用，可直接获取到外延片的实际温度。
反应外延测温方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种反应室温度测量系统、方法、装置及温度调节方法-CN202110938495.2有效
发明人： 盛飞龙;钟新华;胡承;吴帆;戴科峰;唐卓睿 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明涉及温度测量技术领域，具体公开了一种反应室温度测量系统、方法、装置及温度调节方法，系统用于测量反应室内高温工况下的温度分布情况，包括：反应室，其外壁设有一测温口；测温器，用于测量反应室内温度情况，与测温口摆动连接；摆动驱动器，用于驱动测温器在测温口内摆动；控制器，用于控制摆动驱动器运行使测温器在测温口中摆动以获取反应室内不同位置的温度信息，控制器根据不同位置的温度信息绘制热场曲线。该系统仅需在反应室外壁设置一测温口安装测温器便可进行区域化测温，避免反应室开设过多测温孔导致反应室中热量散失，并能基于温度信息绘制热场曲线，为反应室内温度工况分析、调节提供数据基础。
一种反应温度测量系统方法装置调节

[实用新型]一种建筑设计用智能展示装置-CN202220084271.X有效
发明人： 盛飞龙;母国涛;潘文正 -专利权人： 盛飞龙
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： F16M13/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及建筑设计技术领域，具体为一种建筑设计用智能展示装置，包括固定安装板，所述固定安装板的表面固定连接有固定限位块，所述固定安装板的内部活动连接有固定螺栓，所述固定限位块的表面外侧固定连接有连接定位机构，所述固定限位块的内部活动连接有活动安装块，本实用新型通过设有的固定限位块、连接定位机构、活动安装块、连接支撑臂、连接安装头、活动连接杆和固定连接件，便于将固定安装板通过固定螺栓固定在墙体表面，对装置整体进行安装，拆卸时，通过连接定位机构对活动安装块的作用，将活动安装块从固定限位块的内侧移出，对装置进行拆卸，防止固定螺栓发生松动，操作简单快捷，实用性强。
一种建筑设计智能展示装置

[实用新型]一种用于SiC高温离子注入的旋转加热靶及离子注入机-CN202220154541.X有效
发明人：王慧勇;钟新华;伍三忠;赵海英;盛飞龙 -专利权人：季华恒一（佛山）半导体科技有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造领域，具体而言，涉及一种用于SiC高温离子注入的旋转加热靶及离子注入机，用于对衬底进行离子注入工艺，所述旋转加热靶包括基板，所述基板上周向设置有多个用于安装衬底托盘的加热靶座，所述基板上设置有用于带动所述基板旋转的旋转轴，本方案通过设计一种多面式旋转加热靶实现多面衬底同时进行离子注入工艺并提高工艺的稳定性和均匀性，且该旋转加热靶可适用于原有的离子注入机，大大降低成本。
一种用于 sic 高温离子注入旋转加热

[发明专利]外延炉吹扫冷却系统、方法、装置、电子设备及存储介质-CN202110936866.3有效
发明人： 盛飞龙;毛朝斌;罗骞;伍三忠;胡承;王鑫 -专利权人：季华实验室
申请日： 2021-08-16 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： C30B23/02 文献下载
摘要：本发明涉及外延生长技术领域，具体公开了一种外延炉吹扫冷却系统、方法、装置、电子设备及存储介质，其中，系统包括：冷却室，用于放置外延片且内部充满用于对外延片进行吹扫冷却的吹扫气体；气体温度计，用于获取吹扫气体的第一温度信息；温度调节机构；测温计，用于获取外延片的第二温度信息；气体循环机构；控制器，用于控制吹扫气体进行循环流动而对外延片进行循环吹扫冷却，并根据第二温度信息控制温度调节机构调节吹扫气体的第一温度信息以使外延片逐渐降温；该系统根据第二温度信息控制温度调节机构调节吹扫气体的第一温度信息，防止吹扫气体和外延片之间的温度差值过大导致外延片冷却时产生范性形变和位错。
外延炉吹扫冷却系统方法装置电子设备存储介质

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