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[发明专利]一种成形宽带离子束注入机-CN201811381226.5有效
发明人：彭立波;王迪平;袁卫华;许波涛;胡振东;金则军;徐松;张赛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种成形宽带离子束注入机，包括用于产生成形宽带离子束的离子源、引出电极、分析器、带分析缝的分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘，所述离子源、引出电极、分析器、分析光栏、平行透镜以及旋转靶盘依次布置，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，经过所述平行透镜后的成形宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
一种成形宽带离子束注入

[发明专利]一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统-CN202310279920.0在审
发明人：曹华翔;彭立波;王迪平;童雪林;罗南安;熊国庆 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：本发明公开了一种全电扫离子注入机束流与剂量测控系统，包括多通道多量程束流采集模块、从CPU单元、SPI接口模块、模拟波形发生电路、数字波形发生电路、IO接口模块、电压频率转换模块和主CPU单元；多通道多量程束流采集模块的输出端经电压频率转换模块与主CPU单元的输入端相连，并经SPI接口模块分别与主CPU单元和从CPU单元的输入端相连，主CPU单元的输出端分别与模拟波形发生电路和数字波形发生电路的输入端相连，从CPU单元的输出端与模拟波形发生电路的输入端相连。本发明具有成本低、实现离子注入期间的剂量采集及注入均匀性监控等优点。
一种全电扫离子注入机束流剂量测控系统

[发明专利]一种离子注入装置-CN201811201334.X有效
发明人：彭立波;王迪平;钟新华;袁卫华;胡振东;金泽军;许波涛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-10-16 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J37/10 文献下载
摘要：一种离子注入装置，包括屏蔽房、依次设置的离子源、引出电极、分析器、分析光栏、聚焦透镜、加速管、对称静电扫描电极以及均匀磁场平行透镜，屏蔽房内设有相互隔离的第一腔室和第二腔室，第一腔室内设有高压仓，第二腔室内设有靶室，离子源、引出电极、分析器、及分析光栏设于高压仓内，加速管设于第一腔室内，高压仓上设有供离子束进入加速管的第一出口，第一腔室上设有供离子束进入对称静电扫描电极的第二出口，对称静电扫描电极和均匀磁场平行透镜设于第二腔室内，靶室内设有靶台、定向台、片库以及至少一个用于传递晶圆的机械手，靶室上设有供离子束注入靶台上晶圆的注入口。本发明具有结构简单、成本低、便于实现高能高精度注入等优点。
一种离子注入装置

[发明专利]一种扫描宽带离子束注入机-CN201811381277.8有效
发明人：彭立波;胡振东;易文杰;张赛;王迪平;袁卫华;许波涛;金则军 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-11-20 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H01J37/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种扫描宽带离子束注入机，包括旋转靶盘以及用于形成扫描宽带离子束的扫描宽带离子束形成组件，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，扫描宽带离子束形成组件形成的扫描宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
一种扫描宽带离子束注入

[发明专利]一种直热式固体金属离子源-CN201811276370.2有效
发明人：张赛;彭立波;易文杰;袁卫华;金则军;王迪平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-10-30 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01J37/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种直热式固体金属离子源，包括离子源弧室、灯丝部件和含铝部件，灯丝部件包括灯丝端面、螺旋侧面和导电部，灯丝端面由单根灯丝径向盘旋形成，螺旋侧面由单根灯丝轴向螺旋形成，导电部与灯丝端面和螺旋侧面连接，含铝部件包括相互连接的第一环体和第二环体，离子源弧室一端具有安装孔，第二环体装于安装孔内，第一环体伸入离子源弧室内，灯丝端面和螺旋侧面设于第一环体内，导电部穿出第二环体位于离子源弧室外。本发明简化了离子源本身和其外围配电的结果，提高了离子源运行的可靠性，同时Al离子源的寿命有较大程度的提升。
一种直热式固体金属离子源

[发明专利]一种适用于微纳器件制造的离子注入机-CN201711269543.3有效
发明人：袁卫华;彭立波;孙雪平;易文杰;钟新华;程文进;胡振东;王迪平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于微纳器件制造的离子注入机，包括依次相连的离子源、质量分析器、束流聚焦电透镜系统、束流静电扫描系统及载片腔室，还包括用于调节束斑形状和和束流大小的光阑组件、以及用于点注入的点注入掩膜板，所述光阑组件包括设于离子源和质量分析器之间的可调光阑、设于质量分析器和束流聚焦电透镜系统之间的限束光阑以及设于束流静电扫描系统和载片腔室之间的终端注入光阑，所述点注入掩膜板位于载片腔室内，所述终端注入光阑和所述点注入掩膜板上开设点注入微孔。本发明具有可简化工艺过程，能够实现微米级的低剂量、高精度注入等优点。
一种适用于器件制造离子注入

[发明专利]一种多维静电扫描系统及离子注入系统-CN201711349060.4有效
发明人：袁卫华;彭立波;孙雪平;易文杰;钟新华;程文进;王迪平;胡振东 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-12-15 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明涉及一种多维静电扫描系统，包括对称的扫描电极一和非对称的扫描电极二，且所述对称的扫描电极一与非对称的扫描电极二的扫描方向相互垂直，所述对称的扫描电极一包括对称布置的扫描板一和二，所述扫描板一、二之间的电场至少部分分布不均匀；所述非对称的扫描电极二包括相对布置的扫描板三和扫描板四，所述扫描板三呈平板状，所述扫描板四包括扫描前段和扫描后段，所述扫描板四的所述扫描前段与所述扫描板三平行，所述扫描板四的所述扫描后段相对于所述扫描前段呈远离所述离子束的方向往外折弯。本发明还涉及一种基于上述多维静电扫描系统的离子注入系统。本发明具有能够在除去离子束中的中性粒子的同时提高离子注入角度一致性的优点。
一种多维静电扫描系统离子注入

[发明专利]一种高温静电卡盘及其制作方法-CN201810275868.0有效
发明人： 王迪平;孙雪平;彭立波;张赛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2021-06-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种高温静电卡盘，包括基座，基座上方依次设有上过渡层、吸附电极层和上绝缘层，基座下方依次设有下过渡层、加热电极层和下绝缘层，吸附电极层包括双吸附电极，吸附晶片时双电极分别通以幅度相同、极性相反且相位相差180°的直流脉冲电压，释放晶片时双电极的正负极性互换，加热电极层包括至少两个加热区，各加热区的圆心重合并均匀布置且加热功率独立控制。卡盘的制作方法，包括步骤：采用磁控镀膜在基座的上、下表面分别沉积上过渡层和下过渡层；在下过渡层背面沉积加热电极层；在加热电极层背面沉积下绝缘层；在上过渡层正面沉积吸附电极层；在吸附电极层正面沉积上绝缘层。本发明具有晶片温度均匀性好、吸附紧固，生产效率高等优点。
一种高温静电卡盘及其制作方法

[发明专利]一种离子注入机束流与剂量测控装置及方法-CN202011523024.7在审
发明人：曹华翔;彭立波;王迪平;钟新华;罗南安;徐松 -专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
申请日： 2020-12-12 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机束流与剂量测控装置及方法。测控装置，包括多通道多量程束流采集模块、SPI接口模块、波形发生电路、电压频率转换模块、IO接口模块、通信模块、CPU单元，所述电压频率转换模块，用于将多通道多量程束流采集模块产生的束流电压信号转换频率信号；测控方法可基于该测控装置来实现，包括离子注入之前使束流扫描，并沿水平方向程一定的分布规律；离子注入期间，控制旋转批靶匀速旋转，对剂量杯束流信号转换成的频率信号进行脉冲计数，然后将脉冲数换算成实际剂量。本发明可以实现旋转批靶离子注入机的离子束流和剂量精确采集和控制，使离子按设定剂量均匀地、精确地注入到晶片中。
一种离子注入机束流剂量测控装置方法

[发明专利]一种离子注入机垂直扫描装置-CN201910151233.4有效
发明人：袁卫华;彭立波;程文进;许波涛;徐松;王迪平;周波 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2019-02-28 - 公布日： 2021-02-05 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机垂直扫描装置，离子注入机包括真空腔室及位于真空腔室内的靶台，垂直扫描装置包括支架、主轴、用于驱动主轴升降的第一驱动机构、以及用于驱动主轴旋转的第二驱动机构，所述真空腔室设于所述支架上，所述主轴上端与所述靶台相连，主轴下端延伸至所述真空腔室外、并与所述第一驱动机构和第二驱动机构相连。本发明具有可减少占用真空工艺腔室空间，避免影响工艺腔室极限真空度等优点。
一种离子注入垂直扫描装置

[发明专利]一种离子注入装置-CN201811325251.1在审
发明人：彭立波;邓坎;王迪平;胡振东;袁卫华;许波涛 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2018-11-08 - 公布日： 2020-05-15 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入装置，包括旋转靶盘及宽带离子束，所述旋转靶盘上设有与旋转靶盘中心重合的环形注入区域，所述环形注入区域内均匀布置有多个晶圆装载区，所述宽带离子束的宽度为a、所述环形注入区域的半径为b，则a≥b。本发明具有能够降低在大剂量注入、高产能的应用场景下的晶片表面的温升，满足一些对温度敏感的特殊材料的注入工艺要求的优点。
一种离子注入装置

[发明专利]一种引出电极的电极轴驱动装置-CN201610857751.4有效
发明人：彭立波;袁卫华;易文杰;钟新华;胡振东;王迪平;孙雪平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-28 - 公布日： 2018-01-16 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明公开了一种引出电极的电极轴驱动装置，包括电机、主动带轮、从动带轮及绕设于主动带轮和从动带轮上的传动带，所述电机的输出轴与所述主动带轮的轮轴连接，还包括连续调节组件，所述连续调节组件包括凸轮、摆杆及用于使摆杆的摆动端与凸轮紧贴的弹性件，所述凸轮安装于所述从动带轮的轮轴上，所述摆杆安装于引出电极的电极轴上。本发明具有结构简单、能实现连续调节和微小角度调节等优点。
一种引出电极驱动装置

[发明专利]一种用于SiC晶片掺杂的离子注入方法及装置-CN201610850259.4在审
发明人： 王迪平;彭立波;孙雪平;易文杰 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2016-09-26 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：一种用于SiC晶片掺杂的离子注入方法，包括以下步骤：产生SiC晶片掺杂需要的Al离子并引出形成离子束；对离子束依次进行质量分析、光栏分析和水平扫描；将宽带束变为平行束；加速提高离子束的能量；对加速后的离子束进行偏转过滤；经偏转过滤后的离子束注入SiC晶片，注入过程中对SiC晶片进行垂直扫描。一种用于SiC晶片掺杂的离子注入装置，包括按照注入过程依次设置的溅射式离子源、引出装置、质量分析器、分析光栏、水平扫描器、平行透镜、等梯度加速管、能量过滤器及靶盘，所述溅射式离子源配设有气箱，所述靶盘连接垂直扫描器。本发明具有成本低、离子束平行度好、传输效率高、良品率高、降低能量污染等优点。
一种用于 sic 晶片掺杂离子注入方法装置

[发明专利]一种用于植物光照的OLED平板光源-CN201410693942.2在审
发明人： 王迪平;钟新华;舒勇东;彭立波 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2014-11-27 - 公布日： 2015-05-13 - 主分类号： H01L51/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于植物光照的OLED平板光源，包括从上至下依次叠合的阴极层、电子传输层、发光层、空穴传输层、阳极层、玻璃基板；所述阴极层与电源负极电连接；所述阳极层与电源正极电连接；所述电源通过光源驱动器与光照控制器电连接。本发明的发光层采用红绿蓝三基色发光区以横向并列条状的结构，用光照控制器控制光照色度和亮度，可自由地进行色温调整、色度调整以及光强度调整，可以在任何时间任何场合提供植物所需要的光照效果，从而能够很好地满足植物各个生长环节对光的需求。
一种用于植物光照 oled 平板光源

[实用新型]一种用于植物生长的OLED平板光源控制系统-CN201420604598.0有效
发明人： 王迪平;钟新华;舒勇东;彭立波;董克冰 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2014-10-20 - 公布日： 2015-02-25 - 主分类号： H05B37/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于植物生长的OLED平板光源控制系统，包括计算机，所述计算机通过串口连接线与调色控制器连接；所述调色控制器与光源驱动器连接；所述光源驱动器驱动所述OLED平板光源；所述OLED平板光源包括发光层；所述发光层红绿蓝三基色横向并列设置。本实用新型的装置可以通过调色控制器控制OLED平板光源的色度和亮度，自由地进行色温调整、色度调整以及光强度调整，从而可以在任何时间任何场合提供植物所需要的光照效果。
一种用于植物生长 oled 平板光源控制系统

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