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[实用新型]一种片盒封装机构-CN202221252534.X有效
发明人：余仲;邱万里;戴军正;黄金泉 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B65B7/16 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种片盒封装机构，包括：工作台，用于放置片盒；翻转组件，设于工作台一侧，包括传动相连的翻转片和第一驱动件，第一驱动件用于驱动翻转片转动以推动片盒向上90度折叠；压盒组件，包括传动相连的压杆和第二驱动件，第二驱动件用于驱动压杆水平移动，以推动向上折叠的片盒继续朝内90度折叠并使片盒在一侧形成开口；封盒组件，设于工作台一侧，包括传动相连的封盒件和第三驱动件，封盒件能在第三驱动件的驱动下实现片盒于开口处的封装。本实用新型具有自动化程度高、生产效率高、不易损坏硅片的优点。
一种封装机构

[实用新型]一种硅片包装机构-CN202221262119.2有效
发明人：张勇;邱万里;戴军正;黄金泉 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-05-23 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： B65B5/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅片包装机构，包括：工作台；取盒装置，设于工作台一侧，用于取用片盒并将其转送至工作台上；硅片转送装置，设于工作台另一侧，用于将硅片转送至片盒内；片盒封装装置，设于工作台周侧，包括翻转组件、压盒组件和封盒组件，翻转组件用于驱动工作台上的片盒向上90度折叠，压盒组件用于驱动向上折叠的片盒继续朝内90度折叠并使片盒在一侧形成开口，封盒组件用于实现片盒于开口处的封装。本实用新型具有自动化程度高、生产效率高的优点。
一种硅片包装机构

[实用新型]输送机构、输送装置及镀膜设备-CN202220274813.X有效
发明人：王晨光;王理想 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-02-10 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B65G13/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种输送机构、输送装置及镀膜设备，输送机构包括导轮、传输件与调节件，传输件包括安装部以及第一限位部与第二限位部，所导轮套设于安装部，导轮朝与第一限位部之间形成第一安装间隙，导轮与第二限位部之间形成第二安装间隙，调节件分别位于第一安装间隙与第二安装间隙内，并能够在第一安装间隙与第二安装间隙内进行位置切换；输送装置包括输送结构；镀膜设备包括输送装置。当待传输件与导轮出现摩擦或碰撞时，可以通过将远离待传输件一侧的若干调节件从安装间隙中取出，并放入至靠近待传输件一侧的安装间隙内，增加导轮与待传输件之间的距离，克服待传输件与导轮摩擦或碰撞的缺陷，提高输送的稳定性。
输送机构装置镀膜设备

[实用新型]防绕镀装置及镀膜设备-CN202220505842.2有效
发明人：余仲;卢贤正 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防绕镀装置及镀膜设备，防绕镀装置包括防着门与导轮，防着门与镀膜装置转动连接，且转动轴线与镀膜载具的传输方向垂直，导轮转动连接于防着门的下部，导轮受镀膜载具的推动沿镀膜载具的上平面转动，防着门能够绕与镀膜装置的转动连接处摆动，而打开传输口，或者脱离镀膜载具的推动，而回摆并封堵传输口；镀膜设备包括上述的防绕镀装置。本实用新型中，防着门受镀膜载具的推力而摆动，并在自重下回摆而封堵传输口，从而实现传输口在镀膜载具在进出镀膜腔过程中打开，并在输送完成后关闭的效果，实现对镀膜腔的隔离，能够有效防止绕镀，增大腔体内防着板的维护周期，提升镀膜设备的上线时间。
防绕镀装置镀膜设备

[实用新型]石英舟用检测装置-CN202220505969.4有效
发明人：王晨光;林金雨;罗伟斌 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了石英舟用检测装置，包括：载置部，用于载置石英舟；安装座，至少在所述石英舟被检测的状态下位于所述载置部的上方，所述安装座上设置有沿上下方向移动的第一引导部；检具，用于检测所述石英舟，所述检具搭载在所述第一引导部上，所述检具包括主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同。本实用新型的石英舟用检测装置，能够提高对石英舟的检测效率。
石英检测装置

[实用新型]石英舟用检具以及检测装置-CN202220503185.8有效
发明人：王晨光;林金雨;罗伟斌 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01B21/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了石英舟用检具以及检测装置。其中，该检具包括：主体，所述主体设置有沿作为厚度方向的前后方向间隔且平行地排列的多个检测齿，所述检测齿的厚度均相同，并且所述检测齿分别具有：第一检测部，设置在所述主体的下侧部的左侧；第二检测部，设置在所述下侧部的右侧；第三检测部，设置在所述主体的左侧部的上侧；第四检测部，设置在所述主体的右侧部的上侧。本实用新型的石英舟用检具能够提高对石英舟的检测效率。
石英舟用检具以及检测装置

[实用新型]电子束偏转装置及镀膜设备-CN202220506797.2有效
发明人：张勇;卢贤正 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电子束偏转装置及镀膜设备，电子束偏转装置包括偏转组件，偏转组件包括线圈与偏转驱动件，电子束穿过线圈并在磁场作用下偏转，偏转驱动件与线圈连接，并在至少一个方向上驱动线圈摆动；镀膜设备包括上述的电子束偏转装置。本实用新型中，通过偏转驱动件驱动线圈摆动，使线圈产生的磁场方向发生变化，以改变电子束及等离子体的方向，扩大电子束在靶材表面分布范围，从而提升膜厚及方阻的均匀度，使靶材表面的不同区域受到均匀轰击，提高镀膜设备的上线时间。
电子束偏转装置镀膜设备

[实用新型]石英舟用固定装置-CN202220506866.X有效
发明人：张勇;林金雨;罗伟斌 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-08 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了石英舟用固定装置，包括：支撑座，用于支撑石英舟；第一定位件，设置在支撑座的左右方向的一侧；第一固定部，设置在支撑座的左右方向的另一侧，具有第一推动件，第一推动件可沿左右方向被驱动，在石英舟被支撑在支撑座的状态下，第一推动件推动石英舟在左右方向抵接第一定位件；第二定位件，设置在支撑座的前后方向的一侧；第二固定部，设置在支撑座的前后方向的另一侧，具有第二推动件，第二推动件可沿前后方向被驱动，在石英舟被支撑在支撑座的状态下，第二推动件推动石英舟在前后方向抵接第二定位件。本实用新型的石英舟用固定装置不仅能够可靠地固定石英舟，而且能够容易地拆装石英舟。
石英固定装置

[实用新型]一种石英舟挡板用缓冲装置-CN202220509741.2有效
发明人：张勇;杨大颂;彭倩;肖岳南 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英舟挡板用缓冲装置，包括：支撑座，与用于存放石英舟挡板的底座连接；支撑座顶部的两端均设有朝上凸出的限位柱，两个限位柱相对的一侧均设有限位槽；支撑组件，活动安装于支撑座上方，且两端分别嵌入限位槽内并能相对支撑座升降；支撑组件用于对石英舟挡板进行支撑；弹性组件，可拆卸连接于支撑座底部，并与支撑组件底部相抵，用于对支撑组件进行弹性支撑。根据本实用新型实施例的一种石英舟挡板用缓冲装置，便于对现有的底座进行改进，改进成本低；能够在石英舟挡板的舟脚与底座接触时对舟脚进行缓冲，避免了舟脚损伤，延长了石英舟挡板的使用寿命。
一种石英挡板缓冲装置

[实用新型]一种石英舟侧板用导向滚轮组件-CN202220519701.6有效
发明人：张勇;杨大颂;彭倩;肖岳南 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-03-09 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种石英舟侧板用导向滚轮组件，包括：中心轴，安装于底座；滚动环，套设于中心轴上并能绕自身中心轴线旋转；套环，套设于滚动环上并与滚动环外周壁之间具有间隙；密封圈，安装于滚动环和套环之间的间隙，且内外圈分别与滚动环和套环接触，用于对套环进行缓冲。根据本实用新型实施例的一种石英舟侧板用导向滚轮组件，能够绕自身轴线旋转以对石英舟侧板进行导向，从而校正石英舟侧板，降低石英舟侧板损坏的风险，延长石英舟侧板的使用寿命。
一种石英舟侧板用导向滚轮组件

[发明专利]PECVD制备硅片复合膜的方法和TOPCon电池的制备方法-CN202110786498.9有效
发明人：李军阳;张勇;李学文 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2021-07-12 - 公布日： 2022-07-26 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种管式PECVD设备制备硅片复合膜的方法和一种TOPCon太阳能电池的制备方法，管式PECVD设备制备硅片复合膜的方法包括将装载多个硅片的石墨舟置于PECVD设备的反应室内，设置射频频率为设置射频频率为40kHz‑13.56MHz；通入笑气或氧气沉积氧化硅层，通入硅烷和氢气，或硅烷和氩气沉积第一本征ploy层，通入硅烷、氢气和掺杂源气体沉积第一掺杂ploy层，通入硅烷和笑气，或硅烷和氨气沉积mask层，再将装载多个硅片的石墨舟移出PECVD设备。本发明的硅片复合膜的制备方法能够在不出炉的情况下，成长多层复合膜，工艺流程简单，生产效率高，本发明TOPCon太阳能电池的制备方法生产效率高，太阳能电池的光线效率高，产品不良率低。
pecvd 制备硅片复合方法 topcon 电池

[实用新型]一种翻转整片机构-CN202220430945.7有效
发明人：余仲;邱万里;黄金泉 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种翻转整片机构，包括：支架、翻转台、整片组件、吹气组件。支架上连接有转动组件；翻转台连接在转动组件上，翻转台用于放置硅片，转动组件用于驱动翻转台旋转，翻转台连接有用于定位硅片的定位柱；整片组件与翻转台相连，用于推动翻转台上的多个硅片向定位柱运动并使多个硅片对齐；吹气组件用于向翻转台上的硅片吹气以减少多个硅片之间的摩擦。本实用新型提供的一种翻转整片机构，能同时翻转多片硅片并减少硅片在翻转过程中的相互摩擦，降低硅片在后段的加工工序中的废片率。
一种翻转机构

[实用新型]用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备-CN202220193563.7有效
发明人：李时俊;杨宝立;王凯;林金雨 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备，用于PECVD设备的石墨舟包括：炉口石墨舟组，炉口石墨舟组左边的前端上下分别设有第一炉口电极和第二炉口电极，炉口石墨舟组左边的后端上下分别设有第三炉口电极和第四炉口电极，炉口石墨舟组的右边上下分别设有第五炉口电极和第六炉口电极，炉口石墨舟组右边的后端上下分别第七炉口电极和第八炉口电极；第四炉口电极和第六炉口电极输入正电极电流，第二炉口电极和第八炉口电极输入负电极电流；炉尾石墨舟组，炉尾石墨舟组连接于炉口石墨舟组；绝缘组件，绝缘组件设置于炉口石墨舟组的中间。本实用新型将正负极结构设置于炉口位置，且正负电极输入结构位于同一炉口侧，则电极结构维护方便快捷。
用于 pecvd 设备石墨

[实用新型]一种加热炉-CN202220342311.6有效
发明人：张勇;欧阳泉;张数俊 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：一种加热炉，包括：加热炉炉体；多个加热炉丝，皆设置于所述加热炉炉体内，每个所述加热炉丝的两端之间设置有公共连接端，所述公共连接端分别与所述加热炉丝的两端构成第一工作回路、第二工作回路；供电装置，分别与每个所述加热炉丝电性连接，所述供电装置用于为每个所述加热炉丝中所述第一工作回路和所述第二工作回路供电，且所述第一工作回路和所述第二工作回路工作在不同的相序；控制组件，与所述供电装置电性连接。本实用新型实施例的加热炉实现了将加热炉丝的断点减少，减少了加热炉丝断开处的间距，降低了加热炉丝断开处对于工艺上的影响，节约成本。
一种加热炉

[实用新型]一种用于扩散炉的炉体调节机构-CN202220343957.6有效
发明人：李时俊;张枭;韩泉 -专利权人： 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2022-02-18 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： F27D1/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于扩散炉的炉体调节机构，包括支撑架，包括支架、第一支撑杆和第二支撑杆，第一支撑杆与第二支撑杆设于支架上并能沿支架移动，且第一支撑杆和第二支撑杆用于承托炉体；调节装置，分别与第一支撑杆、第二支撑杆相连，用于驱动第一支撑杆和第二支撑杆独立移动；调节装置能驱动第一支撑杆和第二支撑杆同向移动，以调节炉体在支撑架上的水平位置；调节装置能驱动第一支撑杆和第二支撑杆相互靠近或远离，以调节炉体的高度位置。根据本实用新型提供的用于扩散炉的炉体调节机构，可以分别调节第一支撑杆和第二支撑杆的位置，两根支撑杆的移动保持独立，从而分别调节炉体的水平位置和高度位置，提高炉体定位精度。
一种用于扩散调节机构