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[发明专利]一种大颗粒SiC料合成装置以及工艺-CN202310658082.8有效
发明人：曹建伟;盛永江;欧阳鹏根;李荣臻;胡建荣;汪传勇;黄俊 -专利权人：内蒙古晶环电子材料有限公司;宁夏创盛新材料科技有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2023-06-06 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B01J6/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种大颗粒SiC料合成装置及工艺，属于SiC制备技术领域，包括坩埚和载体组件。所述坩埚具有盛放硅粉、碳粉的空腔，所述载体组件包括由石墨材料形成的固定部和载体部，所述固定部与所述坩埚的开口相适配，且所述固定部沿所述空腔的方向开设有孔槽，所述载体部悬挂至所述孔槽，并向所述空腔内的硅粉、碳粉进行延伸。该装置能够配合本工艺得到3mm的SiC颗粒（一般不低于40%），具体的，在本工艺条件下，部分颗粒尺寸还可达6mm以上，其中，3mm颗粒占比可以达到70％，因此有效的改善SiC粉料的粒径影响生长气氛中的Si/C比以及生长的速度。
一种颗粒 sic 合成装置以及工艺

[发明专利]一种用于碳化硅晶片氢气刻蚀工装及方法-CN202310514297.2有效
发明人：盛永江;欧阳鹏根;吴瑶瑶;胡建荣;汪传勇;黄俊;唐永刚 -专利权人：内蒙古晶环电子材料有限公司;宁夏创盛新材料科技有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2023-05-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于碳化硅晶片氢气刻蚀工装及方法，属于碳化硅晶片氢气刻蚀技术领域，包括外壳，以及位于外壳内的刻蚀组件。刻蚀组件包括气体管道和基座，气体管道穿过外壳，并与基座呈相对设置，基座上设有固定座，固定座具有第一状态和第二状态，在第一状态下，固定座的上端面为一微凸界面，以支持翘曲的碳化硅晶片，在第二状态下，固定座逐渐软化，且支持和引导随固定座软化而趋于平坦的碳化硅晶片，其中，固定座与气体管道之间设有预定距离，以配置为对固定座上的晶片进行刻蚀。该工装能够保证晶片在刻蚀过程中平整度，而且使晶片表面气流密度一致，减少产生温度梯度的情况，有效的提高晶片刻蚀的效果。
一种用于碳化硅晶片氢气刻蚀工装方法

[发明专利]一种双向生长碳化硅晶体的装置-CN202310350285.0有效
发明人：曹建伟;欧阳鹏根;李哲;汪传勇;黄俊 -专利权人：内蒙古晶环电子材料有限公司;宁夏创盛新材料科技有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本发明提供了一种双向生长碳化硅晶体的装置，属于晶体生长技术领域，该双向生长碳化硅晶体的装置包括下坩埚组件和上坩埚组件。其中，下坩埚组件中下坩埚体具有一向上开口的第一腔室，第一多孔石墨板设置于第一腔室，且第一多孔石墨板和第一腔室的下部配合构成第一容料腔；上坩埚组件中上坩埚体具有一向下开口的第二腔室，第二多孔石墨板设置于第二腔室，且第二多孔石墨板和第二腔室的上部配合构成第二容料腔，上坩埚体设置于下坩埚体上时，第一腔室和第二腔室连通，且第一容料腔和第二容料腔之间能够放置至少一块籽晶件，通过本装置的设置，使得籽晶可在双向进行生长，以获得较厚的晶体。
一种双向生长碳化硅晶体装置

[实用新型]一种SiC晶圆加工检测工装-CN202222854729.8有效
发明人：朱亮;曹建伟;欧阳鹏根;余炀阳;赵阳阳;朱春芬 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请涉及晶圆加工技术领域，尤其是涉及一种SiC晶圆加工检测工装，载体组件包括：载体本体，载体本体转动连接于座体上，载体本体具有一平面，平面用于连接待检测晶圆；定位组件，定位组件包括：定位块，定位块具有两组，两组定位块分别位于载体本体的两侧，两组定位块滑移连接于座体上，两组定位块之间形成夹持空间，检测组件包括：投光器，投光器固定连接于检测座上，投光器位于夹持空间上方；受光器，受光器固定连接于座体上，受光器位于投光器的正下方。解决了检测精度较低的技术问题，达到提高检测精度较的技术效果。
一种 sic 加工检测工装

[发明专利]一种用于大尺寸蓝宝石晶体生长制备装置-CN202310398638.4在审
发明人：曹建伟;朱亮;叶钢飞;欧阳鹏根;魏怡凡 -专利权人：内蒙古晶环电子材料有限公司;宁夏创盛新材料科技有限公司;浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： C30B33/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于大尺寸蓝宝石晶体生长制备装置，属于蓝宝石晶体生长制备技术领域，制备组件包括炉体以及用于承接晶体的坩埚，炉体的炉底板上具有托盘，托盘上连接有供坩埚升降的驱动件，加热组件包括加热器以及与加热器相连的第一电极，其中，炉底板的下方设有一升降结构，升降结构可驱动第一电极在炉底板上滑动，以推动加热器进行反复升降动作，第一电极与炉底板相交处设有密封座，密封座上设有易融结构，当坩埚泄露时，其熔融液体可将易融结构融穿，形成排液通道。该装置能够使得晶体内应力及开裂问题得到根本改善和解决，同时，当坩埚发生相应的开裂情况下，使其熔融状态的氧化铝液体排出，避免存储在炉体底壁上。
一种用于尺寸蓝宝石晶体生长制备装置

[实用新型]一种蓝宝石研磨机的研磨盘沟槽清洗工装-CN202220852067.8有效
发明人：石刚;唐永亮;潘海明;阮炎杰 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B24B53/017 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种蓝宝石研磨机的研磨盘沟槽清洗工装，属于研磨机技术领域，所述清洗工装包括：清洗固定架；清理单元，所述清理单元至少有两个，所述清理单元作用于研磨盘沟槽，所述清理单元包括有清理锯片和清洗喷嘴，所述清洗喷嘴和清理锯片均和清洗固定架连接；达到研磨盘沟槽的清洗到位的技术效果。
一种蓝宝石研磨机研磨沟槽清洗工装

[实用新型]一种蓝宝石截断前晶棒有效区域划分工装-CN202220848701.0有效
发明人：石刚;唐永亮;潘海明;李中 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种蓝宝石截断前晶棒有效区域划分工装，属于蓝宝石生产加工技术领域，划分工装作用于晶棒，划分工装包括：长度检测装置；所述长度检测装置位于所述晶棒的侧面，所述长度检测装置的移动方向和所述晶棒的长度方向一致；划线笔；所述划线笔和所述长度检测装置连接，所述划线笔位于晶棒的侧面，所述划线笔至少有第一状态，在第一状态下，所述划线笔和晶棒侧面接触；达到蓝宝石晶棒截断前，可以准确确定蓝宝石晶棒的有效长度的技术效果。
一种蓝宝石截断前晶棒有效区域划分工装

[实用新型]一种衬底固定机构-CN202220293578.0有效
发明人：杨华;石刚 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供了一种衬底固定机构，属于衬底加工设备技术领域，所述衬底固定机构包括：固定座，所述固定座包括：固定工位，所述固定工位上可容置一带槽的衬底，且所述固定工位可限定衬底的位置；导向槽，所述导向槽位于固定工位的一侧，且所述导向槽具有一导向路径，所述导向路径指向所述固定工位；对位块，所述对位块和所述导向槽适配，所述对位块可沿所述导向槽的导向路径做固定运动；其中，所述对位块的前端设置有一匹配部，所述匹配部和所述槽的形状对应，并通过匹配部确定衬底在固定工位上的适宜位置；达到准确固定衬底的技术效果。
一种衬底固定机构

[实用新型]一种多尺寸多晶向蓝宝石晶棒定向双面磨夹具-CN202022971639.8有效
发明人：石刚;杨华;陈超 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶棒定向磨削技术领域，旨在提供一种多尺寸多晶向蓝宝石晶棒定向双面磨夹具。该夹具包括研磨底座和法兰套筒，后者包括套筒本体，其顶端和底端设法兰，套筒设于研磨底座上端面；研磨底座上端面还设有多个T型槽，T型槽内设有T型螺杆，压板上开有螺纹孔并穿过T型螺杆，压板一端压紧套筒底部法兰，压板另一端与研磨底座间设有垫块，用于保证压板的水平，T型螺杆上还设有锁紧螺母用于锁紧压板。套筒本体侧壁上还设有多个螺孔，螺钉穿过螺孔并与设于套筒内部的顶头相连，顶头与蓝宝石晶棒接触，并能通过螺钉的旋紧固定蓝宝石晶棒。本实用新型可提高定向效率，避免同根晶棒两次定向，提高了晶棒定向精度，提升晶棒双面磨效率。
一种尺寸多晶蓝宝石定向双面夹具

[实用新型]用于蓝宝石原料清洗装置-CN201822251631.7有效
发明人：张俊;宣将育;朱春芬;周维;江厚祥 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2020-02-21 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型是关于蓝宝石晶体加工领域，特别涉及一种用于蓝宝石原料清洗装置。包括依次沿线性排列的酸洗槽、冲洗槽、溢流槽和淋干槽。本实用新型装置有效提升了蓝宝石晶体尾料的价值，采用较为简易的手段实现对蓝宝石尾料的清洗回收。
用于蓝宝石原料清洗装置

[实用新型]一种多尺寸多晶相蓝宝石晶锭掏棒用固定夹具-CN201920176926.4有效
发明人：石刚;宣将育;朱春芬;周维;董炯杰;于江忠 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2019-01-30 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本实用新型是关于蓝宝石晶锭的掏棒工艺领域，特别涉及一种多尺寸多晶相蓝宝石晶锭掏棒用固定夹具。包括下底盘；下底盘四周通过支撑螺杆与上底盘连接；顶杆组件包括竖板与顶杆；竖板通过底部的锁紧块与上底盘上端面上对应设有的T形槽，分别设于上底盘上端面的左侧、右侧与后侧；竖板上均设有若干顶杆；调节底座通过底部的锁紧块以及上底盘上端面上对应开有的T型槽设于上底盘上端面中部,调节底座上端面设有V形槽；调节板设于调节底座内。本实用新型较少占用车间占地面积，避免了更换不同装夹工装的过程，且由于本固定夹具便于搬运，减轻了操作人员的劳动强度，大幅提高了生产效率，提高了掏出晶棒的表面品质。
上底盘上端竖板本实用新型蓝宝石晶锭固定夹具锁紧块下底盘底座底座上端面表面品质顶杆组件工艺领域若干顶杆生产效率支撑螺杆装夹工装调节板上端面顶杆多晶晶棒搬运占用车间

[实用新型]一种陶瓷盘转运小车-CN201920174539.7有效
发明人：石刚;宣将育;朱春芬;周维;董炯杰;于江忠 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2019-01-31 - 公布日： 2019-11-22 - 主分类号： B62B3/00 文献下载
摘要：本实用新型是关于转运贴有蓝宝石晶片的陶瓷盘的工具，特别涉及一种陶瓷盘转运小车。包括转运小车本体，转运小车本体底部设有底部支承板；底部支承板的底部四角上设有八寸脚轮与四寸脚轮，转运小车本体其中两个相对的侧的内壁上焊接运转小车本体侧板；运转小车本体侧板上设有若干平行横置的支撑螺杆；另两个相对侧的外壁上分别沿竖向设有前挡轴与后挡轴；前挡轴两端均通过挡轴连接横置的挡轴连接板一端，挡轴连接板的另一端与转运小车本体相连，与前挡轴套筒顶端连接的挡轴通过螺纹与旋转手柄连接；后挡轴两端通过螺纹与转运小车本体连接。本实用新型提高了工作效率。降低了工作人员的劳动强度。防止转运小车滑动，提高了安全性。
转运小车挡轴前挡本实用新型底部支承板运转小车连接板陶瓷盘轴两端螺纹侧板横置后挡脚轮蓝宝石晶片底部四角顶端连接工作效率旋转手柄支撑螺杆轴套筒滑动内壁竖向外壁焊接转运平行

[发明专利]一种用于蓝宝石原料清洗装置-CN201811636879.3在审
发明人：张俊;宣将育;朱春芬;周维;江厚祥 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本发明是关于蓝宝石晶体加工领域，特别涉及一种用于蓝宝石原料清洗装置。包括依次沿线性排列的酸洗槽、冲洗槽、溢流槽和淋干槽。本发明装置有效提升了蓝宝石晶体尾料的价值，采用较为简易的手段实现对蓝宝石尾料的清洗回收。
蓝宝石原料清洗装置蓝宝石晶体尾料冲洗槽酸洗槽溢流槽淋干清洗简易回收加工

[发明专利]一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置-CN201710420615.3有效
发明人：朱亮;曹建伟;孙明;吴文泉;于江忠;董炯杰;卢宇 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2017-06-06 - 公布日： 2019-05-07 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及蓝宝石晶片搬运设备，旨在提供一种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置。该种用于吸取蓝宝石晶片工艺的机械手装置同步带轮组、丝杆模组、丝杆模组安装板、丝杆模组滑块连接座、同步带轮轴Ⅱ、同步带轮轴Ⅰ、齿轮、齿条、齿条安装板、小轴、皮带夹紧块、导轨滑块、导轨滑块安装板、吸盘安装座、晶片吸盘，能搬运晶片。本发明在晶片需要从晶舟盒中搬运到另一个平台的过程中，不需要人触碰到晶片，机械手晶片吸盘，在一个狭小的空间自动吸取蓝宝石晶片，整个的行程可以扩大一倍甚至更多。
一种用于吸取蓝宝石晶片工艺机械手装置

[实用新型]用于蓝宝石晶片研磨砂的过滤装置-CN201821083528.X有效
发明人：张俊;傅林坚;孙明;朱春芬;江厚祥;周维;蔡浩龙 -专利权人： 浙江晶瑞电子材料有限公司
申请日： 2018-07-10 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及蓝宝石晶片加工辅助领域，旨在提供一种用于蓝宝石晶片研磨砂的过滤装置。该过滤装置，包括顶部敞口的沉淀池；还包括第一层过滤结构和第二层过滤结构；第一层过滤结构和第二层过滤结构均包括矩形的上框体与下框体，下框体部分嵌套于上框体内，并紧密贴合固接为一体化结构；上框体内设有过滤网；第一层过滤结构的下框体嵌套进第二层过滤结构的上框体内，实现第一层过滤结构和第二层过滤结构的可拆卸套接；第二层过滤结构的下框体嵌套于沉淀池顶部，实现第二层过滤结构与沉淀池的可拆卸连接。本实用新型产品可以帮助操作人员减少回收砂的处理时间，减少工作量，提高生产效率，增加研磨砂的使用效能，降低该工序的生产成本。
过滤结构第一层下框体嵌套蓝宝石晶片过滤装置沉淀池研磨砂上框本实用新型体内可拆卸连接一体化结构顶部敞口紧密贴合生产效率过滤网可拆卸上框体固接套接生产成本工作量回收加工帮助

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