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[发明专利]等离子体异常放电诊断方法、等离子体异常放电诊断系统以及计算机程序-CN200780025076.8有效
发明人：宫野尚哉;松本俊行;池内直树;守屋刚 -专利权人：学校法人立命馆;东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-07-02 - 公布日： 2009-07-22 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：等离子体异常放电诊断系统具备：数据获取部(21)，其获取随着等离子体的状态而变动的时间序列数据；平移误差运算部(24)，其根据通过数据获取部(21)获取的时间序列数据，算出表示确定性的值，该值成为等离子体的时间序列数据是确定的数据还是或然的数据的指标；以及异常放电判断部(26)，其在上述等离子体产生中由上述确定性导出单元算出的表示确定性的值在规定的阈值以下的情况下，判断为上述等离子体是异常放电状态。表示确定性的值例如能够使用平移误差或者排列熵。在作为表示确定性的值而使用排列熵的情况下，具备排列熵运算部。
等离子体异常放电诊断方法系统以及计算机程序

[发明专利]微结构体的检查装置、检查方法以及检查程序-CN200680028847.4无效
发明人：八壁正巳;池内直树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-08-02 - 公布日： 2008-08-06 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：提供一种以简易方式高精确度地检查具有微小可动部的微结构体的检查装置、检查方法以及检查程序。输入测试声波，解析对测试声波的输入进行了响应的传感器输出电压振幅的频率特性。根据预先设想的使用条件等算出设备所要求的最大频率以及最小频率，判定能否在该频带中检测出期望的特性。具体地说，在规定的频带中，根据响应特性是否超过作为阈值的最小特性水平来判定为是合格品还是不合格品。
微结构检查装置方法以及程序

[发明专利]微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置、检查方法、以及计算机程序-CN200680010007.5无效
发明人：奥村胜弥;八壁正巳;池内直树 -专利权人：奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-03-30 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： G01R1/073 文献下载
摘要：本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针(2)与各个电极焊盘(PD)接触，然后经由继电器(30)连接一对探针(2)和烧穿用电源(50)。然后，从烧穿用电源(50)向一对探针(2)中的一个探针(2)施加电压。当逐渐升压时，通过烧穿现象弄破一对探针(2)之间的氧化膜，从而在一对探针(2)之间会有电流流过，探针(2)与电极焊盘(PD)之间电导通。然后，经由继电器(30)将一对探针(2)从烧穿用电源(5)切换到测定部(40)一侧而使其与测定部(40)电结合。
微小结构探针检查装置方法以及计算机程序

[发明专利]微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序-CN200680007010.1无效
发明人：松本俊行;池内直树;八壁正巳;圆城寺启一;林圣人 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-03-02 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： G01N29/00 文献下载
摘要：本发明提供一种微小结构体的检查装置、检查方法、以及检查程序。扬声器部(2)包括多个声源，从各个声源输出声波。通过从扬声器部(2)输出的为疏密波的声波的到达、即空气振动，使作为检测芯片(TP)的微小结构体的三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)而给出的输出电压来测量随着该动作而发生改变的电阻值的变化。控制部(20)根据测量出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。另外，对于多个声源的间隔，通过根据至三轴加速度传感器的可动部分的距离差和测试声波的波长将声源的间隔设定为规定值，可以按照被合成的声波的合成声场变为最大的方式向可动部分施加作为合成波的测试声波。
微小结构检查装置方法以及程序

[发明专利]探针-CN200580011928.9无效
发明人：八壁正巳;星野智久;池内直树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-10-31 - 公布日： 2007-04-04 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：横梁部(3)通过支撑部(2)而单臂支撑在探针基板(1)上，在横梁部(3)与探针基板(1)之间具有规定的间隔。在横梁部(3)上设有向远离探针基板(1)的方向延伸的触头(4)。另外，在横梁部(3)上设有向探针基板(1)延伸的突起5。当向探针基板(1)施加负载时，突起(5)与探针基板(1)抵接，由此可以分散施加在横梁部(3)上的应力。
探针

[发明专利]探针卡及微小结构体的检查装置-CN200610093722.1无效
发明人：八壁正巳;池内直树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2006-03-31 - 公布日： 2006-11-22 - 主分类号： G01P15/097 文献下载
摘要：本发明提供了一种以简易方式高精度地检查具有微小可动部的微小结构体的探针卡及检查装置。探针卡(6)包含：扬声器(2)、固定探针(4)的电路基板(100)，在电路基板(100)上装载扬声器(2)。而且，在电路基板(100)中设置开口区域，在其上装载扬声器(2)，由此对微小结构体的可动部输出测试声波。然后，利用探针(4)根据测试声波来检测因可动部移动而改变的电气特性变化，以检查微小结构体的特性。
探针微小结构检查装置

[发明专利]阻抗检测电路、其方法以及电容检测电路-CN02817392.9无效
发明人：八壁正巳;池内直树 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2002-09-06 - 公布日： 2006-10-04 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：一种电容检测电路(10)，其中，包括直流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位上的运算放大器(14)、阻抗变换器(16)、连接在直流电压发生器(11)与运算放大器(14)的同相输入端子之间的电阻(R1)(12)、连接在运算放大器(14)的反相输入端子与阻抗变换器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、以及连接在运算放大器(14)的输出端子与阻抗变换器(16)的输入端子之间的电容器(15)，其中，被测电容器(17)连接在阻抗变换器(16)的输入端子与给定电位之间。
阻抗检测电路方法以及电容

[发明专利]微型结构体的检验装置、检验方法及检验程序-CN200510076693.3无效
发明人：奥村腾弥;八壁正巳;池内直树;松本俊行 -专利权人：奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社
申请日： 2005-06-13 - 公布日： 2006-03-15 - 主分类号： G01P21/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器(2)输出测试声波。随着从扬声器(2)输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片(TP)的微型结构体、即三轴加速度传感器的可动部分动作。根据经由探针(4)施加的输出电压来测量随着该动作而变化的阻值变化。控制部(20)根据测出的特性值、即测量数据来判断三轴加速度传感器的特性。
微型结构检验装置方法程序

[发明专利]加速度传感器以及倾斜检测方法-CN200480003916.7无效
发明人：原田宗生;池内直树;桥本浩幸 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-02-10 - 公布日： 2006-03-15 - 主分类号： G01P15/12 文献下载
摘要：一种加速度传感器(10)，用于检测预定物件的从基本姿态开始的倾斜位移，所述加速度传感器配有传感器芯片，其中所述传感器芯片具有检测面，该检测面包括检测倾斜位移的一根检测轴或者交差的两根检测轴。配置与所述传感器芯片的所述检测面垂直的轴，使得与所述基本姿态时的所述物件的基准面平行。所述传感器芯片获取与所述基准面的倾斜位移相对应的输出信号。
加速度传感器以及倾斜检测方法

[发明专利]电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置-CN02817386.4无效
发明人：八壁正巳;池内直树 -专利权人：住友金属工业株式会社
申请日： 2002-09-06 - 公布日： 2004-12-01 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：一种电容检测电路(10)包括交流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位上(在本例子中，接地)的第一运算放大器(14)、构成电压跟随器的第二运算放大器(16)、连接在交流电压发生器(11)与第一运算放大器(14)的反相输入端子之间的电阻(R1)(12)、连接在第一运算放大器(14)反相输入端子和第二运算放大器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、连接在第一运算放大器(14)的输出端子与第二运算放大器(16)的同相输入端子之间的阻抗元件(电容器)(15)，被测电容器(17)连接在第二运算放大器(16)的同相输入端子与给定电位之间，电容检测电路(10)与被测电容器(17)被设置在相邻位置上。
电容检测电路装置麦克风

[发明专利]阻抗检测电路及电容检测电路-CN02817393.7无效
发明人：八壁正巳;池内直树;松本俊行;中野浩一 -专利权人：住友金属工业株式会社;北斗电子工业株式会社
申请日： 2002-09-06 - 公布日： 2004-12-01 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种阻抗检测电路及电容检测电路，其中，所述电容检测电路包括交流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位(在本实施例中，接地)上的运算放大器(14)、阻抗变换器(16)、连接在交流电压发生器(11)与运算放大器(14)之间的电阻(R1)(12)、连接在运算放大器(14)的反相输入端子与阻抗变换器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、以及连接在运算放大器(14)的输出端子与阻抗变换器(16)的输入端子之间的阻抗元件(电容器)(15)，被测阻抗(17)连接在阻抗变换器(16)的输入端子和给定电位之间。
阻抗检测电路电容

[发明专利]电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置-CN02817401.1无效
发明人：八壁正巳;池内直树 -专利权人：住友金属工业株式会社
申请日： 2002-09-06 - 公布日： 2004-12-01 - 主分类号： G01R27/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种电容检测电路、电容检测装置及麦克风装置，其中，所述电容检测电路包括交流电压发生器(11)、同相输入端子连接在给定电位(在本实施例中，接地)上的运算放大器(14)、阻抗变换器(16)、连接在交流电压发生器(11)与运算放大器(14)之间的电阻(R1)(12)、连接在运算放大器(14)的反相输入端子与阻抗变换器(16)的输出端子之间的电阻(R2)(13)、以及连接在运算放大器(14)的输出端子与阻抗变换器(16)的输入端子之间的阻抗元件(电容器)(15)，被测电容器(17)连接在阻抗变换器(16)的输入端子和给定电位之间，电容检测电路(10)与被测电容器(17)设置在相邻的位置上。
电容检测电路装置麦克风

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