[发明专利]探针无效
| 申请号： | 200580011928.9 | 申请日： | 2005-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN1942769A | 公开（公告）日： | 2007-04-04 |
| 发明（设计）人： | 八壁正巳;星野智久;池内直树 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 横梁部(3)通过支撑部(2)而单臂支撑在探针基板(1)上，在横梁部(3)与探针基板(1)之间具有规定的间隔。在横梁部(3)上设有向远离探针基板(1)的方向延伸的触头(4)。另外，在横梁部(3)上设有向探针基板(1)延伸的突起5。当向探针基板(1)施加负载时，突起(5)与探针基板(1)抵接，由此可以分散施加在横梁部(3)上的应力。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【主权项】：
1.一种探针，包括：探针基板；横梁部，由所述探针基板支撑，并具有与所述探针基板具有间隔而面对的区域；以及触头，从所述横梁部向远离所述探针基板的方向突出延伸；所述探针的特征在于，所述探针基板和所述横梁部中的至少一个在二者面对的区域上具有向另一个突出的突起。
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