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[发明专利]带有防反射膜的透明基体和图像显示装置-CN202180049936.1在审
发明人：竹本和矢;森本保;井上爱知 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2021-07-16 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：本实施方式涉及一种带有防反射膜的透明基体，其为具备具有二个主面的透明基体以及在该透明基体的一个主面依次具有的扩散层和防反射膜的带有防反射膜的透明基体，使光透射率、D65光源下的透射色b＊值、防反射膜的最表面层的光反射率(SCI Y)和防反射膜的薄层电阻在特定范围，防反射膜为至少层叠有2层彼此折射率不同的电介质层的层叠结构，使Diffusion的值和扩散光的亮度(SCE L＊)在特定范围。
带有反射透明基体图像显示装置

[发明专利]基板处理方法-CN201680076251.5有效
发明人：长仓幸一;森本保;宇田秀一郎;齐藤刚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-11-21 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明提供一种如下的技术：能够抑制对基板进行等离子体处理时暴露在等离子体中的硅或者金属的氧化膜的特性的劣化，且能够提高在等离子体处理中能够设定的处理条件的自由度。进行如下工序：等离子体处理工序，使用将由卤化物构成的处理气体等离子体化而得到的等离子体，对形成有硅或者金属的氧化膜的基板进行等离子体处理；以及加热处理工序，接着，在暴露在所述等离子体中的所述氧化膜露出的状态下，在非活性气体气氛或者真空气氛中将所述基板加热至450℃以上。由此，使因等离子体处理而劣化的所述氧化膜的特性恢复。
处理方法

[发明专利]带防反射膜的透明基体-CN202180046554.3在审
发明人：铃木克巳;竹本和矢;森本保 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： C03C17/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种带防反射膜的透明基体，在具有二个主面的透明基体的至少一个主面上具备多层膜，该多层膜是层叠至少2层以上的折射率相互不同的层而成的，上述多层膜的层中的至少1层的氧化硅层的透湿度为300g/m2/day以下。
反射透明基体

[发明专利]对多层膜进行蚀刻的方法-CN201680038175.9有效
发明人：久保卓也;康松润;森本保 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-07-15 - 公布日： 2020-12-25 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：在包含由金属磁性材料形成的层的多层膜的蚀刻中抑制多层膜的剥离和/或开裂。在一个实施方式中，在将等离子体处理装置的处理容器的内部的压力设定为比较高的压力即第1压力的状态下，对包含由金属磁性材料形成的层的多层膜进行蚀刻。接着，在将处理容器内部的压力设定为比第1压力低的第2压力的状态下，对多层膜进一步进行蚀刻。
多层进行蚀刻方法

[发明专利]显示装置用的前面板-CN201880045479.7在审
发明人：御手洗和彦;森本保;西川泰永 -专利权人： AGC株式会社
申请日： 2018-05-24 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： G09F9/00 文献下载
摘要：一种前面板，是显示装置用的前面板，具有：透明的支承体(110)，具有第一表面及第二表面(112、114)；低反射层(120)，设置在所述支承体的所述第一表面侧；及防眩光层(130)，设置在所述支承体的所述第二表面侧，所述防眩光层通过在树脂基体(132)中分散有平均直径为1μm～10μm的颗粒(134)而构成。
显示装置面板

[发明专利]含氟有机硅化合物薄膜的制造方法及制造装置-CN201280022430.2无效
发明人：加藤亮祐;宫村贤郎;森本保 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2012-05-09 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G02B1/10 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供可制造高耐久性的含氟有机硅化合物薄膜并能够连续进行成膜工序的制造方法及制造装置。本发明提供含氟有机硅化合物薄膜的制造方法及可很好地用于所述制造方法的制造装置，其特征在于，依次包括以下的(a)～(c)的工序：(a)将加热容器内的含氟有机硅化合物升温至蒸镀开始温度的升温工序；(b)达到蒸镀开始温度后，对来自所述含氟有机硅化合物的蒸气进行排气的预处理工序；(c)向真空室内的基板上供给实施了所述预处理工序的含氟有机硅化合物的蒸气而形成含氟有机硅化合物薄膜的成膜工序。
有机硅化合物薄膜制造方法装置

[发明专利]防反射层叠体-CN201280019907.1有效
发明人：藤井健辅;佐藤浩二;堀兴太;森本保 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2012-04-26 - 公布日： 2014-01-01 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：本发明提供反射色具有适度的色彩的同时其多色化得到抑制的防反射层叠体。防反射层叠体(1)具有基体(2)和层叠于该基体(2)的防反射层(3)。该防反射层(3)具有4层结构，自基体侧依次具有第一折射率层(31)、第二折射率层(32)、第三折射率层(33)和第四折射率层(34)。此外，第一折射率层(31)的折射率为1.6～1.9，第二折射率层(32)的折射率为2.2～2.5，第三折射率层(33)的折射率为2.0～2.3，第四折射率层的折射率(34)为1.2～1.5，且第二折射率层(32)的折射率比第三折射率层(33)的折射率大。
反射层叠

[发明专利]电磁波屏蔽层叠体及利用该电磁波屏蔽层叠体的显示装置-CN201010182858.6无效
发明人：柳泽亨;森本保 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2004-08-20 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：一种在透明的基材(2)上设置电磁波屏蔽膜(100)的电磁波屏蔽层叠体(1)，所述电磁波屏蔽膜(2)从所述基材(2)侧依次具有：由折射率为大于等于2.0的物质形成的第1高折射率层(31)，以氧化锌为主要成份的第1氧化物层(32)，以银为主要成份的导电层(33)以及由折射率为大于等于2.0的物质形成的第2高折射率层。
电磁波屏蔽层叠利用显示装置

[发明专利]导电性层叠体-CN200880107651.3无效
发明人：森野正行;竹本和矢;宫泽英明;富田伦央;森本保;日野有一 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2008-09-18 - 公布日： 2010-08-11 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明提供透射·反射带宽、导电性(电磁波屏蔽性)、可见光透射性、防可见光反射性、近红外线屏蔽性及耐湿性良好的导电性层叠体，使用了该导电性层叠体的等离子显示器用电磁波屏蔽体等。该导电性层叠体是包括基体(21)和形成于基体(21)上的导电膜(22)的导电性层叠体(20)，其特征在于，导电膜(22)是从基体(21)侧开始依次交替层叠合计2n+1层[n为1～12的整数]的高折射率层(23a～23e)和金属层(24a～24d)、且在离基体(21)最远的位置还具备碳氢化合物层(25)的多层构造体，高折射率层(23a～23e)的折射率为1.5～2.7，碳氢化合物层(25)含有碳原子和氢原子且氢原子含量为9～50原子％。
导电性层叠

[发明专利]等离子体显示屏用电磁波屏蔽膜及保护板-CN200680024273.3无效
发明人： 森本保;小西正哲;川崎正人;尾山卓司 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2006-07-05 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明提供即使不设置保护膜视觉反射率也较低的PDP用电磁波屏蔽膜及使用了该PDP用电磁波屏蔽膜的视觉反射率较低的PDP用保护板。所用的电磁波屏蔽膜10具备基体11和导电膜12，该导电膜12为从基体11侧开始交替层叠折射率1.55～2.5的无机物层12a和金属层12b而设置了n层金属层12b和(n+1)层无机物层12a的多层结构体，无机物层12a是含有选自金属氧化物、金属氮化物及金属氧氮化物的1种以上的层，金属层12b是由纯银或银合金形成的层，从基体侧数起为第2～n层的各金属层的膜厚大于从基体侧数起为第1层的金属层的膜厚，n为3～5的整数。
等离子体显示屏用电屏蔽保护

[发明专利]高反射镜及其制造方法-CN200680010130.7无效
发明人： 森本保;进奈绪子;川崎正人;宫泽英明 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2006-02-02 - 公布日： 2008-03-26 - 主分类号： G02B5/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种在可见光域内具有高反射率、耐湿性，特别是置于高温高湿条件之后仍能维持高反射率以及对硫化氢的耐性高的高反射镜。该高反射镜是基板上设有银膜的高反射镜，其特征在于，该高反射镜的最表面形成保护膜，该保护膜的衰减系数是0.1以下，所述保护膜是碳膜。所述银膜的基板侧形成基底膜，所述基底膜为氧化钛膜，且氧化钛膜由缺氧的靶形成。
反射及其制造方法

[发明专利]电磁波屏蔽层积体及使用了该层积体的显示装置-CN200680005496.5无效
发明人： 森本保;川崎正人;賦舩昌宏;柳澤享 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2006-02-23 - 公布日： 2008-02-13 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：提供具有高可见光透射率的同时具有低电阻值及高耐湿性的低成本的电磁波屏蔽层积体及使用了该层积体的显示装置。该层积体是在透明基材2上设置有电磁波屏蔽膜100的电磁波屏蔽层积体1，电磁波屏蔽膜100从前述基材2侧开始依次具备由折射率在2.0以上的金属氧化物形成的第1高折射率层31、含有氧化锌和氧化钛作为主成分的第1氧化物层32、以银为主成分的导电层33及由折射率在2.0以上的金属氧化物形成的第2高折射率层35。
电磁波屏蔽层积使用显示装置

[发明专利]导电性层叠体、等离子体显示器用电磁波屏蔽膜以及等离子体显示器用保护板-CN200680004730.2无效
发明人： 森本保;川崎正人;平本誠;神田幸一;中釜晋 -专利权人：旭硝子株式会社;旭硝子陶瓷株式会社
申请日： 2006-02-16 - 公布日： 2008-02-06 - 主分类号： B32B9/00 文献下载
摘要：提供了导电性和可见光透射性优良的导电性层叠体，等离子体显示器用电磁波屏蔽膜，以及电磁波屏蔽性优良、透射·反射带宽、且可见光透射率高的等离子体显示器用保护板。其中，使用了导电性层叠体10，该导电性层叠体10具有从该基体11侧开始依次层叠有第1氧化物层12a、金属层12b和第2氧化物层12c的3层结构的导电膜或者重复该3层结构的3×n层结构的导电膜，其中，n为2以上的整数，第1氧化物层12a含有氧化锌和氧化钛或氧化铌，金属层12b是含有银的层，第2氧化物层12c含有氧化锌与氧化铝的混合物等。
导电性层叠等离子体显示器用电磁波屏蔽以及保护

[发明专利]电磁波屏蔽层叠体及利用该电磁波屏蔽层叠体的显示装置-CN200480024208.1无效
发明人：柳泽亨;森本保 -专利权人：旭硝子株式会社
申请日： 2004-08-20 - 公布日： 2006-09-27 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：一种在透明的基材(2)上设置电磁波屏蔽膜(100)的电磁波屏蔽层叠体(1)，所述电磁波屏蔽膜(2)从所述基材(2)侧依次具有：由折射率为大于等于2.0的物质形成的第1高折射率层(31)，以氧化锌为主要成份的第1氧化物层(32)，以银为主要成份的导电层(33)以及由折射率为大于等于2.0的物质形成的第2高折射率层。
电磁波屏蔽层叠利用显示装置

[发明专利]等离子体处理方法及等离子体处理装置-CN200410008444.6有效
发明人： 森本保;村上贵宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2004-03-10 - 公布日： 2004-09-22 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：本发明提供一种等离子体处理方法，其特征在于，包括施加第一高频电力的上部电极(12)、施加第二高频电力的下部电极(13)和调节该两电极(12、13)的间隔的升降机构(14)，在使用在上部电极(12)上施加第一高频电力进行等离子体点火的等离子体处理装置对下部电极(13)上的晶片(W)实施等离子体处理之际，至少在等离子体熄灭时，使上下两电极(12、13)的间隔设定得比等离子体处理时宽。
等离子体处理方法装置

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