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[发明专利]紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法-CN202210244114.5在审
发明人： 梁相熙;刘正必;崔锺权;白种化 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： B05D3/06 文献下载
摘要：本公开涉及一种紫外固化装置、衬底处理设备及衬底处理方法。衬底处理方法包括：制备涂布有光固化材料的衬底；将衬底安置在衬底支撑件上；在衬底上方使用衬底的局部区域形成用于衬底的处理空间；在处理空间中形成惰性气体气氛；以及在其中形成有惰性气体气氛的处理空间中辐照紫外光。由于用于衬底的处理空间局部地形成在衬底上方，因此可改善衬底处理效率。
紫外固化装置衬底处理设备方法

[发明专利]用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法-CN202110667277.X在审
发明人：赵在俊;刘正必;安成洙;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2021-06-16 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B32B37/12 文献下载
摘要：本公开涉及层压多个超薄玻璃的一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法。用于处理超薄玻璃的设备包含：载物台，用于支撑超薄玻璃；粘合剂提供部件，用于将粘合剂提供到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及非接触式按压部件，包含多孔板，多孔板具有多个孔隙且通过将气体注入到多个孔隙的至少一部分将按压力提供到利用其间的粘合剂层压的多个超薄玻璃上。
用于处理超薄玻璃设备方法

[发明专利]用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法-CN202110348958.X在审
发明人：赵在俊;刘正必;尹靑龙;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法，所述设备层压多个超薄玻璃。用于处理超薄玻璃的设备包含：载物台，配置成支撑超薄玻璃；转移部件，配置成将超薄玻璃转移到载物台上；粘合剂提供部件，配置成将粘合剂提供到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及按压部件，配置成将按压力提供到用其间的粘合剂层压的多个超薄玻璃上，且按压部件包含弹性地变形以按压超薄玻璃的弹性隔膜。
用于处理超薄玻璃设备方法

[发明专利]用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法-CN202110228036.5在审
发明人：赵在俊;刘正必;尹青龙;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2021-03-02 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法。用于处理超薄玻璃的设备可包含：载物台，支撑超薄玻璃；转移部件，用于将超薄玻璃转移到载物台上；粘合剂提供部件，用于将粘合剂提供到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及按压部件，用于将按压力提供到用其间的粘合剂层压的多个超薄玻璃上。这里，按压部件包含：按压构件，具有弯曲按压表面，弯曲按压表面的面积等于或大于超薄玻璃的面积；以及驱动部件，用于驱动按压构件以改变与超薄玻璃接触的按压表面的位置。根据示范性实施例的用于处理超薄玻璃的设备可通过经由粘合剂提供部件在多个超薄玻璃(UTG)之间布置粘合片且将多个超薄玻璃彼此接合来形成超薄玻璃层压体。
用于处理超薄玻璃设备方法

[发明专利]用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法-CN202110233524.5在审
发明人：赵在俊;刘正必;尹青龙;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2021-03-03 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： B32B37/10 文献下载
摘要：本公开涉及一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法。用于处理超薄玻璃的设备可包含：载物台，用于支撑超薄玻璃；转移部件，用于将超薄玻璃转移到载物台上；粘合片设置部件，用于将粘合片设置到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及按压部件，用于在设置在超薄玻璃上的粘合片上提供按压力。这里，超薄玻璃和粘合片可交替地层压以形成超薄玻璃层压体。根据示范性实施例的设备可通过经由粘合片设置部件在多个超薄玻璃(UTG)之间布置粘合片且将多个超薄玻璃彼此接合来形成超薄玻璃层压体。因此，可容易地进行用于超薄玻璃的例如切割工艺或边缘工艺的工艺，且可将超薄玻璃处理成适合于各种产品的使用的优选大小和形状，而没有破裂缺陷。
用于处理超薄玻璃设备方法

[发明专利]通过激光结晶设施实施的Mura量化系统以及Mura量化方法-CN201610371257.7有效
发明人：朴宪旭;赵相熙;苏二彬;金贤中;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2016-05-30 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及Mura量化系统与方法，即，通过包括激光结晶装置的激光结晶设施实施的Mura量化系统，其中Mura量化装置设置在激光结晶设施中，使得基板通过激光结晶装置结晶，并且当结晶基板移动时利用紫外线源实时进行Mura量化，以及通过激光结晶设施的Mura量化方法。
通过激光结晶设施实施 mura 量化系统以及方法

[发明专利]用于修正掩模的倾角的设备以及基质处理设备-CN201410412432.3有效
发明人： 梁相熙;白圣焕;金戊一;金镐岩 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-08-20 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： G03F1/72 文献下载
摘要：本发明提供一种用于修正掩模的倾角的设备。所述设备包含：掩模支撑主体，其经配置以支撑其上形成有图案的掩模；掩模支撑主体移动单元，其经配置以改变掩模支撑主体的XY平面的倾角；照相机单元，其为穿过设置在基质支撑件上的基质的激光束拍照，以产生激光束穿透图像；以及控制单元，其经配置以控制掩模支撑主体移动单元，由此改变掩模的XY平面的倾角，以使得当激光束穿透图像偏离参考焦点图像时，激光束穿透图像与参考焦点图像匹配。
用于修正倾角设备以及基质处理

[发明专利]电力转换装置-CN201510037512.X有效
发明人：朴宪旭;郑和;金成桓;李享度;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2015-01-26 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： H02M5/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种电力转换装置，且更确切地说，涉及一种用于将在电力转换操作期间发生火灾的风险降至最低的电力转换装置。本发明的示例性实施例提供一种电力转换装置，电力转换装置接收引入到初级侧中的电力并且通过线圈的电磁感应转换电力的强度以将经转换电力供应到次级侧中，电力转换装置包含：第一温度传感器，第一温度传感器经配置以测量线圈的温度以产生第一测量温度；电力阻断开关，电力阻断开关经配置以将引入到初级侧中的外部电力传递到线圈，或阻止外部电力传递到线圈；以及电力线控制单元，电力线控制单元经配置以控制电力阻断开关以当第一测量温度高于或等于预设第一参考温度时阻止引入到初级侧中的电力传递到线圈。
电力转换装置

[发明专利]激光热处理设备-CN201410563445.0有效
发明人： 梁相熙;沈亨基;金锺明 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种激光热处理设备，其包含：经配置以支撑掩模的掩模支撑模块；及光束切割器，其安装于所述掩模支撑模块与所述图像形成系统之间以对应于其中从所述图像形成系统反射的激光束被散射到所述掩模支撑模块的区，从而防止从所述图像形成系统反射及散射的所述激光束入射到所述掩模支撑模块。因此，由光束切割器防止从所述图像形成系统反射及散射的激光束入射到所述掩模支撑模块。另外，热屏蔽部件安装于所述掩模支撑模块与所述光束切割器之间以防止所述光束切割器直接连接到所述掩模支撑模块，从而防止热从所述光束切割器转移到所述掩模支撑模块。
激光热处理设备

[发明专利]气体注射单元以及包含所述气体注射单元的热处理设备-CN201410563556.1有效
发明人： 梁相熙;李基雄;严泰骏 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2019-04-09 - 主分类号： H01L21/324 文献下载
摘要：提供一种气体注射单元以及一种包含气体注射单元的热处理设备。经配置以将惰性气体注射到衬底上的气体注射单元包含：气体注射块，气体注射块具有气体注射空间，惰性气体穿过气体注射空间，并且气体注射块具有注射狭缝，注射狭缝界定在下侧中、具有在衬底的一个方向上延伸的线形状，并且允许惰性气体穿过注射狭缝，以便朝向衬底引导惰性气体；以及气体供应部件，气体供应部件包含第一储箱，第一储箱在注射狭缝的延伸方向上延伸，并且在第一储箱的中心方向上具有从第一储箱的两个端逐渐地减小的内径，惰性气体是通过两个端被引入，气体供应部件布置在气体注射块内并且连接到气体注射空间，以将惰性气体供应到气体注射空间中。
气体注射惰性气体注射储箱狭缝气体供应部件衬底热处理设备延伸惰性气体供应穿过中心方向线形状减小界定引入配置

[发明专利]加热模块和包含所述加热模块的衬底处理设备-CN201410563348.1有效
发明人： 梁相熙;沈亨基;李基雄 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-10-21 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种加热模块与衬底处理设备。用于对衬底进行预热的加热模块安装在用于执行主处理的主处理模块的前端处。当将用激光照射衬底以使衬底结晶的激光结晶模块用作主处理模块时，加热模块对衬底进行预热，并且接着，激光结晶模块用激光照射衬底。即，在激光结晶处理之前使用加热模块对衬底进行预热。因此，主处理模块中在激光照射前后的温差小，并且加热和冷却速度低。因而，与现有技术中的多晶膜相比，根据所述实施例的多晶膜具有较大晶体粒径和较小晶格缺陷数目。
加热模块衬底激光结晶激光照射衬底处理设备主处理模块多晶膜预热加热和冷却处理模块晶格缺陷大晶体前端处预热的主处理粒径温差

[发明专利]用于校正激光束的设备以及校正激光束的方法-CN201410809674.6在审
发明人：咸常根;徐永德;韩承范;梁相熙 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-12-23 - 公布日： 2015-06-24 - 主分类号： B23K26/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于校正激光束的设备和一种校正激光束的方法，且所述设备包含：激光光源，发射激光；输出端反射镜；以及至少一个校正透镜，布置在所述输出端反射镜之前。此外，所述设备包含：校正系统，收集关于穿过所述输出端反射镜的剩余激光束的线束轮廓数据；以及控制器，连接到所述校正系统且取决于从所述校正系统收集的所述线束轮廓数据的变形而控制所述校正透镜的移动。因为所述方法不需要为了校正激光线束而调谐所述校正系统，所以可缩短用于校正激光线束轮廓的时间。此外，因为可防止在激光线束到达目标的辐射位置中产生误差，所以可减少目标的缺陷且增大处理效率。
用于校正激光束设备以及方法

[发明专利]用于固持衬底的设备-CN201410412139.7在审
发明人： 梁相熙;白圣焕;金戊一;金钟元 -专利权人： AP系统股份有限公司
申请日： 2014-08-20 - 公布日： 2015-03-18 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种用于固持衬底的设备。所述设备包含：多个抽吸通道，垂直地穿过固持台的至少一个部分，并且所述多个抽吸通道布置在所述固持台的宽度方向上以通过使用真空吸力来支撑所述衬底；多个通风通道，垂直地穿过所述固持台的至少一个部分，所述多个通风通道布置在所述固持台的所述宽度方向上，使得所述多个通风通道位于所述多个抽吸通道之间，以通过所述多个通风通道释放衬底与固持台之间的气体。根据本发明的实施例，所述衬底固持设备可以防止当在固持台上固持大型衬底时大型衬底由于其自身的重量而发生滑动。
用于衬底设备

[发明专利]透光设备及具有所述透光设备的退火设备-CN201310560178.7有效
发明人： 梁相熙;李基雄;权五成;金圣进 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：本发明提供一种透光设备及具有所述透光设备的退火设备，所述透光设备包括：光可穿透的透射窗；提供于所述透射窗的边缘上的框架；以及多个夹钳，其用于将压力施加到所述框架以紧密地固定所述透射窗；其中所述夹钳包括本体、插入于所述本体中的弹性部件及经由所述弹性部件穿过所述本体且从所述本体的下端突出的紧固件部件，且所述弹性部件将由所述紧固件部件所施加的压力控制在所要范围内。
透光设备有所退火

[发明专利]激光热处理设备-CN201310572113.4有效
发明人： 梁相熙;沈亨基;罗玉钧;安珍荣 -专利权人： AP系统股份有限公司;三星显示有限公司
申请日： 2013-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C04B32/02 文献下载
摘要：本发明提供一种激光热处理设备。所述设备包含：反应腔室，允许晶片支撑件位于其内部空间中且包括设置在其顶面上的窗口；部分除氧模块(OPDM)，位于窗口与晶片支撑件之间且包括注射狭缝，惰性气体经由注射狭缝而注入；惰性气体注射管，插入到圆筒中且允许惰性气体经由注射狭缝流入；惰性气体供应管，分别向惰性气体注射管的一端和另一端供应惰性气体；以及注射控制单元，根据惰性气体的测量注射量来个别地控制惰性气体供应管的一端和另一端的注射量。本发明提供的激光热处理设备在使用激光束进行用于结晶的热处理的同时防止晶片暴露于氧之下。
激光热处理设备

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