专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]碳化硅功率器件终端结构及其制造方法-CN201610599784.3有效
  • 邓小川;柏思宇;宋凌云;陈茜茜;张波 - 电子科技大学
  • 2016-07-27 - 2019-06-04 - H01L29/872
  • 本发明提供一种碳化硅功率器件终端结构及其制造方法,器件包括器件元胞和器件终端;器件终端包括P型结终端拓展区,P型结终端拓展区之中有N+注入环和刻蚀沟槽,刻蚀沟槽和N+注入环相连,刻蚀沟槽位于N+注入环的外侧,刻蚀沟槽内部填充氧化层,相邻的N+注入环被刻蚀沟槽和P型结终端拓展区分隔,相邻的刻蚀沟槽被P型结终端拓展区和N+注入环分隔,P型结终端拓展区和N+注入环的上表面覆盖氧化层,本发明使电场分布趋于平缓,使终端区的耗尽层充分拓展,提高终端耐压能力,降低器件击穿电压对JTE区浓度的敏感程度。本发明结构能有效降低器件表面的局部电场,同时降低器件表面的碰撞电离率,降低了表面漏电,提高了器件表面的可靠性。
  • 碳化硅功率器件终端结构及其制造方法
  • [发明专利]集成温度传感器的碳化硅VDMOS器件及其制作方法-CN201610599805.1有效
  • 邓小川;宋凌云;陈茜茜;柏思宇;张波 - 电子科技大学
  • 2016-07-27 - 2019-04-12 - H01L29/78
  • 本发明提供一种集成温度传感器的碳化硅VDMOS器件及其制作方法,器件包含金属漏电极、漏极欧姆接触区、碳化硅N+衬底、碳化硅N飘移区、第一Pbase区、第二Pbase区、第三Pbase区、N+源区、P+欧姆接触区、场氧化层、第二多晶硅栅、温度传感器P+离子注入区、金属源金极、第一栅介质、第一多晶硅栅、温度传感器阳极金属、温度传感器阴极金属,本发明利用肖特基二极管作为温度传感器,把温度传感器集成到碳化硅VDMOS的Pbase区中,并单独为传感器增加两个电极,通过利用碳化硅材料作为温度传器,实现了耐高温的温度传感器,工作温度0‑300℃,电流和温度有良好的线性,在实现了器件工作温度检测的同时,消除了传感器对于碳化硅VDMOS反向耐压的影响,最小化了版图开销。
  • 集成温度传感器碳化硅vdmos器件及其制作方法

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