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[发明专利]版库装置、版库系统及姿态调整方法-CN202210127135.9有效
发明人：赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请涉及版库存储技术领域，尤其是涉及一种版库装置、版库系统及姿态调整方法，版库装置包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件、X向调节组件及版盒，Y向调整构件、RxRy调整构件及Rz调整构件从下向上顺次设置；Y向调整构件与Rz调整构件通过RxRy调节组件相连，用于调节及锁定Y向调整构件及Rz调整构件的Rx和Ry；Rz调整构件与RxRy调整构件及Y向调整构件均通过Rz调节组件相连，用于调节及锁定Rz调整构件的Rz；Rz调整构件与版盒通过X向调节组件相连，用于调节及锁紧版盒的X向位置。可见，本装置可调节的自由度多、适应性好，调整过程简单、省力、精度高。
装置系统姿态调整方法

[发明专利]一种转轴机构的偏摆测量方法及装置-CN202210104707.1有效
发明人：刘颖;关宏武;王浩楠;赵东雷;林继柱 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01B5/24 文献下载
摘要：本申请提供了一种转轴机构的偏摆测量方法及装置，偏摆测量系统包括测量机构和千分表，测量机构上沿预定方向设置有多个测量位置处，在每次测量过程中，千分表的测量探头被布置为与对应的一测量位置处接触，针对每次测量过程执行如下处理：控制转轴机构转动预设圈数；确定千分表在转轴机构的转动过程中检测到的最大测量值；根据最大测量值以及千分表的测量探头所接触的当前测量位置处，获得当前测量过程对应的转轴机构的偏摆测试值；根据在所有测量过程中所获得的偏摆测试值，确定转轴机构的目标偏摆值区间。本申请通过偏摆测量系统，将转轴机构的偏摆测量转化为对测量机构的偏摆测量，实现微小数值的放大测试，提高偏摆测量精度。
一种转轴机构测量方法装置

[发明专利]交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法-CN202211548870.3在审
发明人：刘颖;关宏武;王浩楠;郎平;孙杨;赵东雷;林继柱 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： B25J15/06 文献下载
摘要：本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，交换版机械手的调整方法包括：逐一调整所述吸取部的水平度；调整多个所述吸取部之间的相对位置；将所述旋转组件调整至初始位置。根据本申请提供的交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，通过调整每个吸取部的水平度、调整多个吸取部之间的相对位置并调整旋转组件至初始位置，有效地提高了交换版机械手在使用前的吸取部的初始位置的参数的精度，进而避免了在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手损伤掩模版的现象发生。
交换机械手调整方法使用方法

[发明专利]扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元-CN202211182681.9在审
发明人：赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01L25/00 文献下载
摘要：本申请涉及半导体领域，涉及一种扭矩的标定方法及半导体设备物料存储单元。扭矩的标定方法包括：计算翻转组件的最大扭矩：TN＝P·L，其中，P为翻转组件的重力，L为P作用在翻转组件的重心处距从动轮的回转中心的最大力臂长度，并记为标定位置；确定工作扭矩：T，其中，T≥n·TN，n为大于1的安全系数；标定翻转组件的扭矩：逐步锁紧从动轮，当翻转组件处于标定位置且从动轮不脱离时，记录施加的压力值：F＝Fi，翻转组件的扭矩Ti＝(Fb+P)·L，其中，i为标定次数，Fb为作用在翻转组件的重心处，在重力方向的力。解决现有的垂向开合装置没有防夹功能或基于传感器的防夹功能，容易损伤精密机械和物料且存在误检的问题。
扭矩标定方法半导体设备物料存储单元

[发明专利]掩模传输装置及掩模传输系统-CN202210935377.0在审
发明人： 林继柱;孙敏;赵东雷;符瑶 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B65G43/08 文献下载
摘要：本申请涉及半导体生产设备技术领域，具体而言，涉及一种掩模传输装置及掩模传输系统，所示电机安装于所述机械手臂，所述电机包括主体部和安装于所述主体部的传动杆，所述掩模版叉与所述电机的传动杆连接，所述主体部通过所述第一弹性件与所述机械手臂连接，所述第一触发件安装于所述主体部，所述第一传感器安装于所述机械手臂，以使所述主体部能够克服所述第一弹性件的弹力作用在第一方向上相对所述机械手臂枢转，并同时使所述第一触发件触发所述第一传感器，所述第一传感器和所述电机均与所述控制单元通信连接；所述第一方向为所述传动杆的周向。本申请的目的在于针对背景技术中所述的至少一个技术问题，提供一种掩模传输装置及掩模传输系统。
传输装置系统

[发明专利]一种运动轴的性能测试方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210865019.7在审
发明人：赵东雷;林继柱;王浩楠;刘颖;郎平 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-07-21 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01M13/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种运动轴的性能测试方法、装置、电子设备及存储介质，运动轴上载有能够沿运动轴进行移动的滑动平台，滑动平台上固定有靶球，方法包括：建立第一空间直角坐标系；使用激光追踪仪，测量靶球的中心点在第一空间直角坐标系下的坐标；根据靶球的中心点在第一空间直角坐标系下的坐标，确定运动轴的性能参数。本申请能够更加方便、准确地获取运动轴的各项性能参数。
一种运动性能测试方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种人机交互组件-CN202111626598.1在审
发明人：赵东雷;关宏武;王浩楠;刘颖;林继柱 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： G06F3/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种人机交互组件，包括：框架和面板，面板通过调整组件和固定组件与框架连接，且面板通过调整组件可相对于框架进行六自由度姿态调整；面板上集成设置有显示组件和操作组件。本发明设置了六自由度调整组件，既增加了人机交互组件的安装柔性，又保证了空间姿态的正确性，从而实现了外防护的整体美观性。本发明采用磁性贴条固定法固定鼠标和键盘，既保证工作状态时位置的自由放置，满足不同操作者的操作习惯，又能实现待机时的快速固定，避免固定不可靠产生误操作的危害。翻转装置采用“按压反弹式”无需设置专用拉手，保证了人机交互组件的美观性；同时又能确保在双手占用的特定情形安全、可靠的打开操作组件。
一种人机交互组件

[发明专利]一种掩膜版交接工位的标定方法及装置-CN202111624705.7在审
发明人： 林继柱;关宏武;王浩楠;赵东雷;刘颖 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩膜版交接工位的标定方法及装置，包括如下步骤：将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉，且版叉至少部分伸入交接入口位；在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标；以及在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标；基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置。本公开的方法可以有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。
一种掩膜版交接标定方法装置

[发明专利]一种掩模版传输组件及光刻系统-CN202111627327.8在审
发明人：王浩楠;关宏武;郎平;林继柱;佀海燕;温鹏 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩模版传输组件及光刻系统，包括第一版库，用于承载版盒，第一版库连接有第一升降结构，以通过第一升降结构将目标掩模版传输至第一交接工位；第一机械手，被配置为在第一交接工位获取目标掩模版，并放入第二版库；第二版库，用于承载目标掩模版，第二版库连接有第二升降结构，以通过第二升降结构实现在第一交接工位与第二交接工位之间的移动，第二交接工位具有第二高层，且第二高层高于第一高层；第二机械手，被配置为在第二交接工位，从第二版库中取出目标掩模版，并传输至光刻机的掩模台。本公开的掩模版传输组件及光刻系统，通过可升降的第一版库和第二版库的配合，实现友好上料的同时提高掩模版的转运效率。
一种模版传输组件光刻系统

[发明专利]一种转臂用安全锁紧定位装置-CN202111682059.X在审
发明人： 林继柱;关宏武;王浩楠;郎平;温鹏;佀海燕;周甜 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种转臂用安全锁紧定位装置，转臂包括可活动连接的固定主体部和转臂单元，所述转臂用安全锁紧定位装置包括：支撑板，安装于固定主体部；锁紧定位块，安装于支撑板，锁紧定位块相对于支撑板的位置可调；锁紧杆，安装于转臂单元；锁紧销，安装于锁紧杆，锁紧销适于装配至锁紧定位块，以锁紧固定主体部和转臂单元。采用本发明技术方案，通过锁紧定位块、锁紧杆、锁紧销配合，可以实现将转臂锁紧于固定主体部，完成对转臂的锁紧定位。且锁紧定位块位置可调，可以避免因转臂移动或装配时产生误差造成转臂无法锁紧的情况，方便对转臂固定后进行后续动作，也进一步提高了安全性。
一种转臂用安全定位装置

[实用新型]气体过滤装置-CN201920860440.2有效
发明人： 林继柱 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型是关于一种气体过滤装置，包括：第一过滤件，所述第一过滤件内设有用于气体流通的第一通孔，所述第一通孔与待充气装置充气口连通；所述第一过滤件上设有与所述第一通孔连通的第二通孔；所述第一过滤件外壁套设有第二过滤件，所述第二过滤件上设有与所述第二通孔连通的第三通孔，所述第三通孔与外部气源连通；所述第三通孔、所述第二通孔和所述第一通孔相互连通后形成气体流通通道。本实用新型提供的气体过滤装置，不仅结构简单，安装维护方便，且因采用双层通孔，气体通孔效果更好。
气体过滤装置

[外观设计]物理气相沉积装置-CN201930253821.X有效
发明人： 林继柱 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：物理气相沉积装置。;2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于实现及载板与硅片在磁控溅射工艺前的真空环境。;3.本外观设计产品的设计要点：在于整体形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
物理气相沉积装置

[外观设计]气体过滤装置-CN201930293385.9有效
发明人： 林继柱 -专利权人：君泰创新(北京)科技有限公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-01-31 - 主分类号： 23-01 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：气体过滤装置。;2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于气体的过滤。;3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。;4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。;5.后视图与主视图相同，省略后视图。
气体过滤装置

[实用新型]真空腔充气组件-CN201821488833.7有效
发明人： 林继柱 -专利权人：君泰创新（北京）科技有限公司
申请日： 2018-09-12 - 公布日： 2019-06-07 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空腔充气组件，用于向真空腔体定义的真空腔内充气，包括充气组件和与所述充气组件密闭连通的充气缓冲管。所述充气组件设置于所述真空腔体，用于向所述真空腔内部注入气体。所述充气缓冲管设置于所述真空腔内，所述充气缓冲管包括管状腔体，所述管状腔体外表面开设有多个匀气通孔组合，所述匀气通孔组合与所述管状腔体连通。上述真空腔充气组件，通过设置所述充气缓冲管，并在所述充气缓冲管的管状腔体开设所述多个匀气通孔组合，可有效地控制气体经过所述充气组件后流入所述真空腔的位置和方向，同时保证充气均匀性。进而提高PVD磁控溅射设备的运行节拍、稳定性和工作效率，同时有利于提高工艺的完整性。
充气组件真空腔充气缓冲管状腔体通孔匀气真空腔体充气磁控溅射设备位置和方向有效地控制真空腔内部工作效率密闭连通注入气体均匀性节拍连通申请保证

[发明专利]平行度调节装置及CVD生长膜装置-CN201510202608.7有效
发明人：梅艳慧;林继柱;温振兴 -专利权人：北京精诚铂阳光电设备有限公司
申请日： 2015-04-24 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提供了一种平行度调节装置及CVD生长膜装置。该平行度调节装置用于调节层叠设置的第一板体和第二板体之间的平行度，平行度调节装置包括安装部；多个调节部，多个调节部安装在安装部上，各调节部均包括驱动组件和执行组件，执行组件包括执行件，执行件的第一端连接在第一板体的远离或靠近第二板体的侧面上，驱动组件驱动执行组件沿远离或靠近第二板体的方向运动。本发明的平行度调节装置及CVD生长膜装置的结构简单，便于提高大面积的CVD设备的生产效率。
平行调节装置 cvd 生长

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