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- [实用新型]一种多工位传送装置-CN201921807045.4有效
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林佳继;刘群;庞爱锁;朱太荣;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2019-10-25
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2020-08-11
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H01L21/677
- 一种多工位传送装置，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态，所述可调整工位包括至少两个工位和/或状态。在一些优选的方式中，可调整工位本身可以提供至少两个工位，在一些优选的方式中，不同状态下的可调整工位能够提供不同的工位；本实用新型提供了一种传送装置，能够提供至少两个工位，例如一个工位用于传送，另一个工位用于和流程中下个环节衔接，这样就能够充分利用工艺流转过程中的空隙时间，使得同一时间段内传送的物料增加，提高传送效率，配合CVD设备的其他环节，有效提升CVD设备的产能。
- 一种多工位传送装置
- [实用新型]一种支撑桨-CN201921807571.0有效
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林佳继;李东林;刘群;朱太荣;林依婷
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深圳市拉普拉斯能源技术有限公司
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2019-10-25
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2020-08-11
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H01L21/687
- 一种支撑桨，包括固定段和支撑段，固定段用于支撑桨整体的固定，支撑段用于支撑物体，固定段与支撑段之间通过过度段进行连接，过度段能够平滑连接固定段和支撑段；本实用新型的有益效果是：本实用新型的支撑桨固定段的截面为多边形，方便固定，不易打转，使其支撑的石英舟托保持稳定；支撑段的截面为扁形，扁形能够增大支撑桨与石英舟托的接触面积，支撑更稳定；支撑桨上的凹陷区域、槽、内部空间的设置有助于减轻桨的重量，同时使石英舟托内的半导体或是光伏材料在工艺炉内加工时，炉内气流更加均匀，使半导体或是光伏材料的工艺效果更好；支撑桨材料选用碳化硅，更适合高温环境下工作，同时材料稳定，不会被腐蚀，延长了使用寿命。
- 一种支撑
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