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[发明专利]用于可变间距进出的真空机器人装置-CN202280017908.6在审
发明人：拉尹库曼·塔努;杰弗里·C·赫金斯;卡鲁帕萨米·穆图马克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：提供一种具有可变端效器间距的机器人装置，其适合于适应(例如)两个相邻处理腔室之间或两个相邻装载锁定腔室之间的变化间距。机器人装置可在双基板搬运模式、单基板搬运模式或其组合下操作。机器人装置也可以是离轴机器人。描述了根据各种实施方式的多种机器人装置、包括这些机器人装置的电子器件处理系统，及其使用方法。
用于可变间距进出真空机器人装置

[发明专利]在半导体设备和洁净室中测量化学气体污染物的可携式盘-CN202180041123.8有效
发明人：德文德拉·钱纳帕·霍利安纳瓦尔;迪安·C·赫鲁泽克;阿伦库马尔·拉马查德拉亚;杰弗里·C·赫金斯;希瓦拉吉·曼朱纳特·纳拉;保罗·B·路透 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种检测器盘包括盘主体，盘主体具有底盘和顶盖，顶盖包括第一孔。传感器设置在盘主体内部并定位成经由顶盖中的第一孔而暴露于外部环境。固态传感器适于检测化学气体污染物的水平并基于化学气体污染物的检测的水平输出检测信号。微控制器设置在PCB上并适于由检测信号中包含的化学气体污染物的检测的水平产生测量数据。无线通信电路设置在PCB上，无线通信电路适于将测量数据无线传输到无线接入点装置。
半导体设备洁净室测量化学气体污染物可携式盘

[发明专利]用于在电子装置制造中运输基板的机器人设备和系统、及方法-CN202180047038.2在审
发明人： 杰弗里·C·赫金斯;卡鲁帕萨米·穆图马克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：描述了电子装置制造系统、机器人设备和相关方法。机器人设备包括具有内侧端和外侧端的臂，内侧端被配置为绕肩轴线旋转；第一前臂，被配置为在臂的外侧端绕肘轴线相对于臂独立旋转；第一腕部部件，被配置为在与肘轴线相对的第一前臂的远端处绕第一腕轴线相对于第一前臂独立旋转，其中第一腕部部件包括第一和第二终端受动器。机器人设备进一步包括第二前臂，被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；第二腕部部件，被配置为绕第二腕轴线相对于第二前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第三和第四终端受动器。机器人设备进一步包括第三前臂，被配置为绕肘轴线相对于臂独立旋转；和第三腕部部件，被配置为绕第三腕轴线相对于第三前臂独立旋转，其中第二腕部部件包括第五和第六终端受动器。
用于电子装置制造运输机器人设备系统方法

[发明专利]机器人设备和系统及在电子装置制造中传送基板的方法-CN202180046681.3在审
发明人： 杰弗里·C·赫金斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2023-03-10 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：描述了电子装置制造系统、机器人设备及相关联的方法。所述系统、设备及方法被构造成用以从N个基板支撑件(其中N＞2)有效地取回及放置基板。所述机器人设备包括至少N个端效器加上一个端效器(N+1)或加上两个端效器(N+2)，使得机器人能够在单个循环期间按顺序地取回及放置一个或多个处理腔室内的基板(例如，无需返回到装载锁定机构或其他位置以放置前进的基板及取回未处理的基板)。
机器人设备系统电子装置制造传送方法

[发明专利]没有有机污染的表面加工-CN202180030694.1在审
发明人：郭渊泓;郭晟;马雷克·W·拉德科;史蒂芬·维克托·桑索尼;纳根德拉·马迪瓦;马特维·法伯;勾平平;徐松文;杰弗里·C·赫金斯;村山祐二;阿努拉·邦萨尔;陈少锋;迈克尔·库查尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B24B27/033 文献下载
摘要：一种方法包括接收包括原始表面的金属部件，此原始表面包括金属基底、设置在此金属基底上的第一本征氧化物和设置在此金属基底上的烃。此方法进一步包括对此金属部件的此原始表面进行加工，以自此金属基底移除此第一本征氧化物和移除此烃的第一部分。此加工产生此金属部件的加工表面，此加工表面包括不具有此第一本征氧化物且不具有此烃的此第一部分的金属基底。此方法进一步包括执行对此金属部件的此加工表面的表面加工，以移除此烃的第二部分。此方法进一步包括对此金属部件进行表面处理，以移除此烃的第三部分。此方法进一步包括执行对此金属部件的清洁和干燥此金属部件。
没有有机污染表面加工

[发明专利]多叶片机器人设备、电子装置制造设备和适于在电子装置制造中运输多个基板的方法-CN202210494212.4在审
发明人： 杰弗里·C·赫金斯;迈克尔·R·赖斯;卡鲁帕萨米·穆图马克;尼尔·玛利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2022-08-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述了电子装置制造设备和机器人设备。设备经配置以有效地拾取和放置基板，其中机器人设备包括上臂和独立可旋转的三个叶片B1、B2、B3。三个叶片经配置以服务第一双装载锁定和第二双装载锁定，其中每个双装载锁定包括不同的跨距。在一些实施方式中，第一跨距P1小于第二跨距P2。叶片B2和叶片B3(或可选地叶片B1和叶片B2)可以以跨距P1服务第一双装载锁定，并且可以服务包括第二跨距P2的第二双装载锁定。提供操作电子装置制造设备和机器人设备的方法，以及许多其他方面。
叶片机器人设备电子装置制造适于运输多个基板方法

[发明专利]多叶片机器人设备、电子装置制造设备和适于在电子装置制造中运输多个基板的方法-CN201980033020.X有效
发明人： 杰弗里·C·赫金斯;迈克尔·R·赖斯;卡鲁帕萨米·穆图马克;尼尔·玛利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：描述了电子装置制造设备和机器人设备。设备经配置以有效地拾取和放置基板，其中机器人设备包括上臂和独立可旋转的三个叶片B1、B2、B3。三个叶片经配置以服务第一双装载锁定和第二双装载锁定，其中每个双装载锁定包括不同的跨距。在一些实施方式中，第一跨距P1小于第二跨距P2。叶片B2和叶片B3(或可选地叶片B1和叶片B2)可以以跨距P1服务第一双装载锁定，并且可以服务包括第二跨距P2的第二双装载锁定。提供操作电子装置制造设备和机器人设备的方法，以及许多其他方面。
叶片机器人设备电子装置制造适于运输多个基板方法

[发明专利]用于基板处理的混合平台式设备、系统以及方法-CN201810342003.1有效
发明人：迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·赫金斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统可包括主框架，不同尺寸的一或多个处理腔室可与其耦接。不同数量的处理腔室可与主框架的各个小面(即侧壁)耦接。与一个小面耦接的处理腔室相较于与其他小面耦接的处理腔室可为不同尺寸。例如，第一尺寸的一个处理腔室可与第一小面耦接，不同于第一尺寸的第二尺寸的两个处理腔室的各个可与第二小面耦接，不同于第一尺寸及第二尺寸的第三尺寸的三个处理腔室的各个可与第三小面耦接。可能有其他配置。主框架可具有正方形或矩形形状。还提供组合电子装置制造系统的方法，如其他态样。
用于处理混合平台设备系统以及方法

[发明专利]可更换的终端受动器接触垫、终端受动器和维护方法-CN202080017241.0在审
发明人：怀特尼·克勒兹;达蒙·基思·考克斯;利昂·沃尔福夫斯基;杰弗里·C·赫金斯;巴拉穆拉利·穆鲁加拉吉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：提供了终端受动器的可更换的接触垫。接触垫在电子装置制造中支承基板。接触垫包括：接触垫头，具有构造成接触基板的接触表面；轴，耦接至接触垫头，轴包括形成在接触垫头的下侧和轴端之间的轴凹口；和圆形固定构件，容纳在轴周围并座落在轴凹口中，并构造成将接触垫固定至终端受动器主体。描述了包括可更换的接触垫的终端受动器和维护方法的以及其他方面。
更换终端受动器接触维护方法

[发明专利]运输系统-CN201980067458.X在审
发明人：雅各布·纽曼;U·奥尔登多夫;马丁·艾尼斯;安德鲁·J·康斯坦特;谢伊·阿萨夫;杰弗里·C·赫金斯;亚历克斯·伯杰;威廉·T·韦弗 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-01 - 公布日： 2021-05-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文的实施方式涉及运输系统和基板处理及传送(SPT)系统。SPT系统包含连接两个处理工具的运输系统。运输系统包含真空隧道，真空隧道被配置为在处理工具之间运输基板。真空隧道包含基板运输载具，以移动基板通过真空隧道。SPT系统具有多种配置以允许用户根据期望的基板处理程序所需的处理腔室来增加或移除处理腔室。
运输系统

[发明专利]基板沉积系统、机械手移送设备及用于电子装置制造的方法-CN202010154972.1在审
发明人：威廉·T·韦弗;小马尔科姆·N·丹尼尔;罗伯特·B·沃帕特;杰森·M·沙勒;雅各布·纽曼;迪内士·卡纳瓦德;安德鲁·J·康斯坦特;斯特芬·C·希克森;杰弗里·C·赫金斯;马文·L·弗雷曼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明描述电子装置处理系统。所述系统包括：主机外壳，所述主机外壳具有移送腔室、第一面、与所述第一面相对的第二面、第三面及与所述第三面相对的第四面；第一转盘组件，所述第一转盘组件耦接至第一面；第二转盘组件，所述第二转盘组件耦接至所述第三面；第一装载锁，所述第一装载锁耦接至所述第二面；第二装载锁，所述第二装载锁耦接至所述第四面；及机械手，所述机械手适于在所述移送腔室中操作以从所述第一转盘及所述第二转盘交换基板。本发明描述用于输送基板的方法及多轴机械手，以及许多其他方面。
沉积系统机械手移送设备用于电子装置制造方法

[发明专利]基板沉积系统、机械手移送设备及用于电子装置制造的方法-CN201480025132.8有效
发明人：威廉·T·韦弗;小马尔科姆·N·丹尼尔;罗伯特·B·沃帕特;杰森·M·沙勒;雅各布·纽曼;迪内士·卡纳瓦德;安德鲁·J·康斯坦特;斯特芬·C·希克森;杰弗里·C·赫金斯;马文·L·弗雷曼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-03-14 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明描述电子装置处理系统。所述系统包括：主机外壳，所述主机外壳具有移送腔室、第一面、与所述第一面相对的第二面、第三面及与所述第三面相对的第四面；第一转盘组件，所述第一转盘组件耦接至第一面；第二转盘组件，所述第二转盘组件耦接至所述第三面；第一装载锁，所述第一装载锁耦接至所述第二面；第二装载锁，所述第二装载锁耦接至所述第四面；及机械手，所述机械手适于在所述移送腔室中操作以从所述第一转盘及所述第二转盘交换基板。本发明描述用于输送基板的方法及多轴机械手，以及许多其他方面。
沉积系统机械手移送设备用于电子装置制造方法

[发明专利]用于电子器件制造的万用部件升降装置、组件及方法-CN201480058383.6有效
发明人： 杰弗里·C·赫金斯;阿尔佩·伊尔马兹 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-10-22 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：兹描述一种用于移动电子器件制造系统的部件的万用部件升降装置。所述万用部件升降装置包含：轨道；台车，所述台车可沿着所述轨道移动；以及升降装置，所述升降装置适于耦接于所述台车，所述升降装置包含轮件基座、升降部、以及悬臂，所述悬臂适于耦接于所述部件。正如许多其它方面一样，兹描述移动电子器件制造系统的部件的电子器件处理系统与方法。
用于电子器件制造万用部件升降装置组件方法

[发明专利]包括间隔上臂与交错腕部的双机器人以及包括该双机器人的系统和方法-CN201780040894.9在审
发明人：卡鲁帕萨米·穆图马克;达蒙·K·考克斯;杰弗里·C·赫金斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2019-03-01 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本发明描述包括间隔开的上臂的机器人。机器人包括可环绕肩部轴线旋转的第一上臂与第二上臂，其中第二上臂与第一上臂间隔开。其他机器人部件(第一前臂与第二前臂、第一腕部构件与第二腕部构件、及第一终端受动器与第二终端受动器)交错位于第一上臂与第二上臂之间的空间中。第一上臂与第二上臂以及第一前臂与第二前臂中的每一个可以单独且独立地控制。提供操作机器人的方法与包括机器人的电子装置处理系统，以及诸多其他方面。
上臂前臂机器人腕部终端受动器交错操作机器人机器人部件处理系统电子装置轴线旋转肩部环绕

[发明专利]用于基板处理的混合平台式设备、系统以及方法-CN201480052802.5有效
发明人：迈克尔·R·赖斯;杰弗里·C·赫金斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2018-05-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统可包括主框架，不同尺寸的一或多个处理腔室可与其耦接。不同数量的处理腔室可与主框架的各个小面(即侧壁)耦接。与一个小面耦接的处理腔室相较于与其他小面耦接的处理腔室可为不同尺寸。例如，第一尺寸的一个处理腔室可与第一小面耦接，不同于第一尺寸的第二尺寸的两个处理腔室的各个可与第二小面耦接，不同于第一尺寸及第二尺寸的第三尺寸的三个处理腔室的各个可与第三小面耦接。可能有其他配置。主框架可具有正方形或矩形形状。还提供组合电子装置制造系统的方法，如其他态样。
用于处理混合平台设备系统以及方法

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