专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有深槽结构的MEMS器件的表面图形制备方法-CN202310947083.4在审
  • 王飞飞;李健飞;徐宝盈 - 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-27 - B81C1/00
  • 本发明公开了一种具有深槽结构的MEMS器件的表面图形制备方法,属于半导体加工技术领域。该制备方法包括:提供一表面具有深槽的半导体基底;在半导体基底表面形成第一光刻胶层,以使得深槽内填充第一光刻胶层;去除位于深槽外的第一光刻胶层;在半导体基底表面及深槽内的第一光刻胶层上形成第二光刻胶层;对第二光刻胶层进行图形化处理,以在第二光刻胶层上形成所需图形;以第二光刻胶层为掩膜,对半导体基底进行刻蚀,以在半导体基底的表面形成所需图形;去除第一光刻胶层和第二光刻胶层。该制备方法解决了在具有深槽结构的MEMS器件的表面形成图形的过程中,光刻胶涂覆困难的问题。
  • 具有结构mems器件表面图形制备方法
  • [发明专利]MEMS器件的制备方法-CN202310952226.0在审
  • 王飞飞;李健飞;徐宝盈 - 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
  • 2023-07-31 - 2023-10-24 - B81C1/00
  • 本发明公开了一种MEMS器件的制备方法,属于半导体加工技术领域。该制备方法包括:提供一半导体晶片,所述半导体晶片包括衬底、以及依次层叠在所述衬底上的牺牲层和结构薄膜层,所述结构薄膜层上具有梳齿结构;采用等离子体刻蚀的方式去除所述梳齿结构下方的牺牲层,以在所述梳齿结构和所述衬底之间形成空腔。采用该制备方法可以降低工艺难度,无需对器件进行干燥,保证制备出的MEMS器件的性能要求,且无需额外的昂贵设备,可以用于批量化晶圆生产制程中。
  • mems器件制备方法
  • [发明专利]台阶微结构的制备方法-CN202310843844.1在审
  • 王飞飞;李健飞 - 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
  • 2023-07-11 - 2023-09-29 - H01L21/027
  • 本发明公开了一种台阶微结构的制备方法,属于半导体加工技术领域。该制备方法包括:提供一半导体基底;在半导体基底上形成第一负光刻胶层,第一负光刻胶层上具有第一台阶图形;在第一负光刻胶层上形成第二正光刻胶层,第二正光刻胶层上具有第二台阶图形,第二台阶图形和第一台阶图形构成台阶;以第一负光刻胶层和第二正光刻胶层为掩膜对半导体基底进行一次刻蚀,以在半导体晶片上形成由第三台阶图形和第四台阶图形构成的台阶微结构;去除第一负光刻胶层和第二正光刻胶层。采用该方法可以减少形成台阶微结构时的刻蚀次数,简化台阶微结构的制备工艺流程,降低刻蚀工艺的工艺难度,并保证刻蚀精度。
  • 台阶微结构制备方法
  • [实用新型]一种汽车极限工况试验装置-CN202320988425.2有效
  • 李健飞;李学民;李强;汪从常 - 安徽捷通汽车检测技术有限公司
  • 2023-04-27 - 2023-09-08 - G01M17/007
  • 本实用新型公开了一种汽车极限工况试验装置,包括安装底板,所述安装底板的顶部开设有凹槽,所述凹槽的数量设置有多个,多个所述凹槽的内表面均滑动连接有支撑板,多个所述支撑板的相远离的一侧之间均固定有连接板,两个所述连接板的相对侧均与安装底板的两侧滑动连接,所述安装底板的内部且位于多个凹槽的下方均设置有方管,多个所述方管的顶端均滑动连接有方杆,本实用新型涉及汽车试验技术领域。该汽车极限工况试验装置,通过快速调高组件的设置,不仅达到改变坑洼深度的目的,而且只需要一个工作人员转动转动把手即可实现对支撑板的升降,不需要两个工作人员站在安装底板同时进行操作,操作简单方便,提升了工作效率。
  • 一种汽车极限工况试验装置
  • [发明专利]一种硫酸稀土溶液中磷的去除方法-CN202310562785.0在审
  • 李健飞;马瑞峰;张宇嘉;柳召刚;张晓伟;吴锦绣;胡艳宏;冯福山;辛文彬 - 内蒙古科技大学
  • 2023-05-18 - 2023-08-22 - C22B3/44
  • 本发明属于稀土湿法冶金领域,涉及一种清洁高效的硫酸稀土溶液中磷的去除方法。首先向硫酸稀土溶液中加入亚铁盐,调节铁磷比,得到含亚铁溶液;之后再向含亚铁溶液中加入氧化剂,得到含铁溶液;最后向含铁溶液中加入pH调节剂调节溶液pH值,待反应一段时间后,经冷却、过滤即得低磷硫酸稀土溶液和除磷渣;其中,低磷硫酸稀土溶液可作为萃取原料,而除磷渣可作为回收Fe、P的二次原料。本发明主要是利用在一定pH值范围下,硫酸稀土溶液中的铁离子会与磷酸根结合生成磷酸铁沉淀的特性,从而实现磷酸根的去除。在不引入Mg2+、Ca2+等杂质的同时对磷进行回收,不仅回收率较高,而且废渣少,工艺简单、成本低,适于推广与应用。
  • 一种硫酸稀土溶液去除方法
  • [发明专利]一种试验场用汽车移动测试平台-CN202310478144.7在审
  • 李健飞;李学民;李强 - 安徽捷通汽车检测技术有限公司
  • 2023-04-28 - 2023-08-04 - G01M17/007
  • 本发明公开了一种试验场用汽车移动测试平台,涉及汽车测试技术领域,解决了在进行加速度以及制动参数进行测试时,只进行统一的分析处理,并未进行区间拆分,其整体测试效果并不精准的技术问题,在进行减速以及制动确认时,将对应的速度进行划分,修整为若干组测试区间,根据若干组测试区间,获取不同测试区间所给出的参数,根据参数确认对应的制动区间以及加速区间,采用区间分析辨认的方式,相比于原始的单一对比方式,其整体测试效果更加精准,后续再对制动过程中所产生的制动视频进行分析,通过分析制动过程中轮胎的具体状态,对车辆制动过程中的危险速度进行确认,此种方式,便可提升此移动测试平台的测试实用度。
  • 一种试验场汽车移动测试平台
  • [发明专利]一种光电探测器结构及其形成方法-CN202310375555.3在审
  • 苏悦阳;李健飞;吴旭升;郑凯 - 北方集成电路技术创新中心(北京)有限公司
  • 2023-04-10 - 2023-07-25 - H01L31/18
  • 本申请提供一种光电探测器结构及其形成方法,所述结构包括:绝缘体上硅衬底,所述绝缘体上硅衬底包括顶层硅,所述顶层硅包括生长区和位于所述生长区两侧的掺杂区,所述顶层硅表面形成有介质层;所述生长区的介质层中形成有外延层,所述生长区中的外延层的宽度与所述生长区的宽度相等,所述外延层延伸至所述顶层硅中,所述外延层表面高于所述介质层表面;所述介质层中的外延层侧壁形成有保护层。本申请提供一种光电探测器结构及其形成方法,利用所述保护层保护所述介质层不被横向刻蚀,提高外延层以及介质层的准直性,进而减少外延层的应力集中和穿透位错密度,提高光电探测器结构的可靠性。
  • 一种光电探测器结构及其形成方法

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