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[发明专利]一种离子源挡片、离子刻蚀机及其使用方法-CN202010440876.3有效
发明人：张瑶瑶;胡冬冬;刘海洋;张军;李娜;程实然;朱治友;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明提出了一种离子源挡片、离子刻蚀机及其使用方法，该离子源挡片包括挡片本体；挡片本体为一中空结构；挡片本体的内壁上固定对称设置的挡片；挡片朝挡片本体的中心方向延伸；沿挡片本体的内壁朝挡片本体中心的方向，挡片形成的遮挡区域由大变小；离子刻蚀机包括放电室、反应室和离子源挡片，离子源挡片卡设在放电室的内壁上；等离子体依次经过离子源挡片和离子源Grid组件。本发明的离子刻蚀机通过增设一离子源挡片，等离子体经离子源挡片进行遮挡后，自放电室的边缘区域至放电室的中心区域，等离子体的数量逐渐增多，从而补偿了屏栅上外小孔大于内小孔的结构设计，保证了等离子体穿过屏栅形成的等离子束的均匀性。
一种离子源离子刻蚀及其使用方法

[发明专利]太阳能电池裁切设备-CN201811151936.9有效
发明人： 朱治友;彭侃 -专利权人：鸿翌科技有限公司
申请日： 2018-09-29 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明涉及一种太阳能电池裁切设备，包括裁切台及行走架，所述裁切台用于放置待裁切的太阳能电池，所述行走架安装在所述裁切台上，所述行走架可相对所述裁切台沿待裁切的太阳能电池的纵向方向移动，所述行走架上安装有可随所述行走架移动的纵向切刀和横向切刀，所述横向切刀可相对所述裁切台沿待裁切的太阳能电池的横向方向移动。相较于手工进行太阳能电池的裁切，利用该太阳能电池裁切设备能够大大地提高生产效率低和裁切精度。
太阳能电池设备

[发明专利]一种应用于等离子体处理装置中的高均匀性气路系统-CN202010553300.8在审
发明人： 朱治友;侯永刚;张军;胡冬冬;李娜;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2020-06-17 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种应用于等离子体处理装置中的高均匀性气路系统，包括内空底座，内空底座侧壁上设有台阶，内空底座的开口覆盖设有第二匀流底板，第二匀流底板上分布有第二匀流喷嘴，第二匀流底板上部覆盖设有第一匀流底板，第一匀流底板上分布有第一匀流喷嘴，第一匀流底板上设有顶盖，顶盖上设有第一进气口和第二进气口；内空底座的内部设有陶瓷内衬，陶瓷内衬与内空底座侧壁上的台阶之间形成腔室，内空底座的底部还设有连通腔室的抽气通道。本发明中结构简单，通过各个匀流腔可均匀混合各种工艺气体，方便使用，满足高精度控制及大面积刻蚀均匀性的要求。
一种应用于等离子体处理装置中的均匀性气系统

[发明专利]一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统-CN202010489533.6在审
发明人：李娜;张瑶瑶;张军;刘海洋;朱治友;王铖熠;程实然;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2020-06-02 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于真空腔室的顶针升降装置及等离子刻蚀系统，包括多个顶针和一个顶针安装座；顶针安装座包括底板和多个限位块；底板上开设有多个与顶针通过孔一一对应的盲孔；每个盲孔内嵌入安装有若干叠加放置的弹性圈；弹性圈的内径小于顶针的直径，且若干弹性圈的下端面与盲孔底部相接，若干弹性圈叠加后的高度不低于盲孔高度；多个限位块可拆卸固定在底板上，且每个限位块的下表面一一对应压接一个盲孔内的若干弹性圈的上端面；每个限位块上设置有一个导向通孔；每个顶针穿过一个盲孔内的弹性圈及对应限位块的导向通孔。本发明将顶针固定并精确导向对中，降低了顶针与顶针通过孔摩擦断裂的可能性，防止压差引起的飞针。
一种用于空腔顶针升降装置等离子刻蚀系统

[发明专利]静电卡盘和半导体加工设备-CN201810374379.0有效
发明人： 朱治友;柳朋亮 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2018-04-24 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本发明提供一种静电卡盘，包括导电基座和绝缘层，所述导电基座包括第一承载面，所述绝缘层包括用于承载工件的第二承载面和与所述第二承载面相对的热传导面，所述热传导面朝向所述第一承载面，其中，所述静电卡盘还包括绝缘导热件，所述绝缘导热件设置在所述热传导面上，所述第一承载面上形成有容纳槽，所述绝缘导热件容纳在所述容纳槽中，以使得所述热传导面与所述第一承载面贴合，所述绝缘导热件与所述容纳槽的侧壁间隔且不接触，所述导电基座上还形成有沿所述导电基座的厚度方向贯穿所述导电基座的测温孔，所述测温孔与所述容纳槽相通。本发明还提供一种半导体加工设备。测得的静电卡盘的温度可以真实反映正在加工的工件的温度。
静电卡盘半导体加工设备

[发明专利]一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置-CN202010015200.X在审
发明人：张瑶瑶;胡冬冬;侯永刚;朱治友;程实然;郭颂;李娜;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2020-01-07 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： G01N21/21 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于椭偏仪的晶圆参数测量装置，包括晶圆定位单元和椭偏仪反射角调节单元；晶圆定位单元包括水平的滚珠丝杠、驱动滚珠丝杠旋转的第一电机、螺纹连接在滚珠丝杠上的螺母座；螺母座上设置有第二电机、基座和载物台；第二电机固定在螺母座上，第二电机的转轴竖直布置；第二电机的转轴连接基座，用于驱动基座转动；载物台通过两个弹性支撑片支撑于基座上方；两个弹性支撑片呈拱形对称布置在载物台两侧；每个弹性支撑片上设置有一个调节螺栓；调节螺栓竖直布置，上端螺帽压接在弹性支撑片上表面，下端螺纹连接在基座上。在使用本发明进行椭偏仪测量时，可高效精确控制晶圆位置。
一种基于椭偏仪参数测量装置

[发明专利]一种能够实现光学系统自动闭环控制的孔径仪及测量方法-CN201911106416.0有效
发明人： 朱治友;张瑶瑶;李娜;胡冬冬;程实然;侯永刚;吴志浩;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2019-11-13 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： G01B11/12 文献下载
摘要：本发明涉及一种能够实现光学系统自动闭环控制的孔径仪及测量方法，其中装置包括plc和腔室，还包括两驱动机构、测试机构、CCD相机，其中：腔室左右侧壁上开设有端口，端口处开设有装有wafer的机械手，腔顶开设有腔盖；两驱动机构分别固定在腔室左右侧壁上，驱动机构包括伺服电机、编码器、丝杆转轴、滑块、滑轨；测试机构包括两旋转平台、两转轴、两光线发射器、两光线接收器；本发明还公开了一种能够实现光学系统自动闭环控制的孔径仪的测量方法；本发明解决了需破真空手动将wafer从机台腔室中多次取出放入以配合孔径仪检测分析，取出的wafer还需进行冷却，操作繁琐的问题；本发明通过机械手、光线发射器、光线接收器自动调节以配合孔径仪检测分析。
一种能够实现光学系统自动闭环控制孔径测量方法

[实用新型]一种用于晶圆冷却的冷却腔结构-CN202020891255.2有效
发明人：张军;朱治友;郭颂;陈兆超;李娜;王铖熠;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于晶圆冷却的冷却腔结构，包括：冷却腔室本体；晶圆放置架，设置在冷却腔室本体内，且正对所述传片窗口，晶圆放置架包括：多层支撑板，多层支撑板之间上、下均匀间隔布置，每层支撑板上放置一片所述晶圆；冷却块组件，包括多个，每层支撑板上位于所述晶圆的周围对称设有多个所述冷却块组件。本实用新型冷却腔结构能够实现多个晶圆的快速均匀冷却，保证冷却效果。
一种用于冷却结构

[实用新型]一种晶圆冷却腔体测温装置-CN202020892394.7有效
发明人：张军;朱治友;郭颂;陈兆超;李娜;王铖熠;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-25 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： G01K7/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆冷却腔体测温装置，包括：冷却腔室本体，所述冷却腔室本体的腔体一侧设有供机械手伸入/伸出的传片窗口；晶圆放置架，设置在冷却腔室本体内，且正对所述传片窗口，还包括：测温机构，用于晶圆温度进行实时检测，包括：连接法兰、引线、热电偶和弹簧，其中，所述冷却腔室本体的腔体侧壁上设有法兰连接孔，所述法兰连接孔上安装所述连接法兰，所述连接法兰上位于冷却腔室外侧连接温度读取元件，法兰上位于冷却腔室内侧通过引线与热电偶连接；所述热电偶设置在冷却腔体内部位于所述晶圆放置架的侧部，热电偶的底部通过一弹簧与所述晶圆放置架支撑连接。本装置，实现了对晶圆温度的实时读取，保证了晶圆温度控制的一致性。
一种冷却测温装置

[实用新型]一种快速拆装的气路结构-CN202020873872.X有效
发明人：王铖熠;张军;朱治友;程实然;郭颂;李娜;胡冬冬;许开东 -专利权人：北京鲁汶半导体科技有限公司
申请日： 2020-05-22 - 公布日： 2021-01-05 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种快速拆装的气路结构，包括：底板，与气柜本体连接，位于整条气路的最底部；连接块，设置在所述底板之上，与所述底板之间可拆卸的连接；多个元器件，设置在所述连接块上，每两个元器件的底部之间通过一个基座与所述连接块连接，形成一条密闭的气路，基座的内腔设有用于连通上方相邻元器件气路的气体通道；进气接头，与气路上首个元器件的基座连接，用于接入工艺气体。
一种快速拆装结构

[发明专利]太阳能电池产品的耐压检测系统-CN201910411118.6在审
发明人：彭侃;朱治友 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： H02S50/10 文献下载
摘要：本申请提供一种太阳能电池产品的耐压检测系统，其中该耐压检测系统包括：第一检测台、第二检测台、耐压测试仪，所述第一检测台和所述第二检测台对称设置，其中所述第一检测台包括第一弹性导电层，所述第二检测台包括第二弹性导电层，所述第一弹性导电层和所述第二弹性导电层分别与所述耐压测试仪电连接，所述耐压测试仪与待测电池产品电连接。本申请利用弹性导电层具有在一定的外界压力下能够提供良好的导电性的特征，使其与太阳能电池产品能够紧密贴合，使得被测的太阳能电池产品处于全面接触且压力均匀的测试环境，同时还可以避免因压力不均匀影响测试结果，从而替代水或其他介质的测试环境。
太阳能电池产品耐压检测系统

[发明专利]太阳能电池产品的耐压检测系统及检测方法-CN201910272217.0在审
发明人：彭侃;朱治友 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2019-04-04 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H02S50/10 文献下载
摘要：本发明提供一种太阳能电池产品的耐压检测系统及检测方法，其中该耐压检测系统包括：第一检测台、第二检测台、耐压测试仪，所述第一检测台和所述第二检测台对称设置，其中所述第一检测台包括第一弹性导电层，所述第二检测台包括第二弹性导电层，所述第一弹性导电层和所述第二弹性导电层分别与所述耐压测试仪电连接，所述耐压测试仪与待测电池产品电连接。本发明利用弹性导电层具有在一定的外界压力下能够提供良好的导电性的特征，使其与太阳能电池产品能够紧密贴合，使得被测的太阳能电池产品处于全面接触且压力均匀的测试环境，同时还可以避免因压力不均匀影响测试结果，从而替代水或其他介质的测试环境。
太阳能电池产品耐压检测系统方法

[实用新型]一种便于调节的顶针固定结构-CN202020100336.6有效
发明人：侯永刚;张军;胡冬冬;李娜;程实然;朱治友;张瑶瑶;许开东 -专利权人：江苏鲁汶仪器有限公司
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2020-08-04 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种便于调节的顶针固定结构，包括热台、顶针、顶板、波纹管、连接座、气缸、气缸固定架，气缸固定架安装于机台腔体底部侧壁，波纹管通过连接座与气缸动力端连接，顶板位于波纹管上，气缸的动力端具有与连接座连接的活塞板面，四个角均设有螺孔，连接座包括固定筒以及固定板，固定板中心开孔，固定筒贯通固定板的圆孔，固定板的四个角设有与活塞板面螺孔一一对应的长圆孔，固定板四个角的位置分别设有调节孔，内置顶丝，固定筒的外圆一周设有若干紧固孔。本实用新型可调节波纹管和顶板的垂直度以及气缸的垂直度，提高顶针升降的顺畅度，调节过程更加方便和精确，杜绝顶针在使用过程中产生的摩擦，避免顶针被卡断造成故障。
一种便于调节顶针固定结构

[实用新型]一种负压吸附台面-CN201822078119.7有效
发明人： 朱治友;彭侃 -专利权人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
申请日： 2018-12-11 - 公布日： 2019-09-03 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及薄膜太阳能电池生产技术领域，公开了一种负压吸附台面，包括：基板，所述基板具有用于支承薄膜太阳能电池的支承面；开口位于所述基板支承面上的凹槽结构；与所述凹槽结构连通、且贯穿所述基板的通孔。本实用新型提供的负压吸附台面，利用基板支承所要吸附的薄膜，当通孔接向负压时，凹槽结构与通孔形成负压通道，由于凹槽结构位于布局于整个基板，整片薄膜吸附时，吸附的面积较大，能够防止薄膜的轻微变形，保持其平整，有利于保证定位精度；同时也大大减少了薄膜边缘翘起的情况，保证了真空吸附的强度。
凹槽结构基板负压吸附台面通孔吸附本实用新型基板支承薄膜薄膜太阳能电池太阳能电池薄膜边缘负压通道生产技术真空吸附整片薄膜支承薄膜支承面负压翘起连通变形开口平整保证贯穿

[实用新型]用于集装箱的组合式装车架-CN201821738231.2有效
发明人： 朱治友 -专利权人： 朱治友
申请日： 2018-10-25 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于集装箱的组合式装车架，包括上架盘和下架盘，上架盘和下架盘均形成为框架式结构，上架盘和下架盘之间通过前后设置的一组第一支架和一组第二支架调节支撑，上架盘内的左右两侧均设置有用于放置汽车的过桥，过桥中间部分可拆卸地连接于过桥两端，下架盘内安装有下架地盘。第一支架和第二支架的高度可以调节，收纳时使装车架的占有空间大量缩小，在同等空间内放置的装车架数量更多，便于收纳运输时，过桥中间部分可拆卸，使上架盘下侧的空间更大，适应不同车型的车高，设置有叉车盘，叉车盘与下架盘可拆卸连接，且与叉车叉架配合，便于移动装车架，使叉车将装车架抬起放入集装箱这一过程更安全可靠。
装车架下架上架过桥叉车支架集装箱收纳可拆卸组合式支架调节支撑本实用新型可拆卸连接框架式结构便于移动叉车叉架前后设置左右两侧地连接放入抬起地盘车型运输配合汽车

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