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[发明专利]承载器抓手及晶圆转运装置-CN202210556138.4有效
发明人：赵祥;赵玉民;张文斌;焦宇辉;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本申请涉及半导体专用设备制造技术领域，尤其是涉及一种承载器抓手及晶圆转运装置。该承载器抓手包括夹持机构和提升机构；夹持机构包括夹持驱动组件和夹持组件，夹持组件形成有夹持空间，夹持驱动组件与夹持组件相连接，夹持驱动组件能够驱动夹持组件将固定承载组件在夹持空间内松开或夹紧；提升机构包括提升驱动组件和提升组件，提升驱动组件能够驱动提升组件相对于夹持组件升降，以将活动承载组件相对于固定承载组件提拉或者释放。该晶圆转运装置包括该承载器抓手。该承载器抓手和该晶圆转运装置，能够完成承载器的自动抓取和释放，且能够对活动承载组件进行自动提升和释放，避免半导体发生剐蹭，且能够节约人力，提高半导体的搬运效率。
承载抓手转运装置

[发明专利]一种气浮主轴测量系统-CN202310416133.6在审
发明人：常亮;李战伟;李罡;张彩山;王锦;王英杰 -专利权人：北京中电科电子装备有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01M13/025 文献下载
摘要：本发明提供了一种气浮主轴测量系统，其包括：基座；给进机构，给进机构安装在基座上，用于承载待测量的主轴，以及向主轴施加给进力；给进位移测量机构，给进位移测量机构安装在给进机构上并连接主轴，给进位移测量机构用于测量给进机构施加至给主轴的给进力的力度值，以及测量主轴在给进力下的位移量；和扭矩测量机构，扭矩测量机构安装在基座上并从下方支撑主轴，扭矩测量机构用于施加给主轴制动力，以及测量主轴在制动力下的扭矩。本发明提供的气浮主轴测量系统，其能够实施对气浮主轴的承载力、气膜位移量、刚度及扭矩等多项指标的同步测量，从而提升对气浮主轴的测量效率，降低测量成本。
一种主轴测量系统

[发明专利]一种碲锌镉晶片表面抛光设备-CN202310416130.2在审
发明人：赵祥;赵玉民;张文斌;张彩山 -专利权人：北京中电科电子装备有限公司
申请日： 2023-04-19 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种碲锌镉晶片表面抛光设备，包括晶片上下料装置、搬运夹持装置、晶片测量装置、传输装置、晶片翻转装置、抛光夹持装置及晶片抛光装置，其中：晶片上下料装置将晶片送至晶片测量装置，以测量晶片的初始厚度；搬运夹持装置将晶片搬至传输装置，传输装置的传输路径上设有翻转工位和吸附工位；晶片翻转装置设置于翻转工位，用于翻转晶片；抛光夹持装置拾取位于吸附工位的晶片并将晶片搬运至抛光工位；晶片抛光装置设置于抛光工位下方；抛光夹持装置将完成抛光的晶片放回至传输装置；传输装置将晶片传输至翻转工位处，晶片翻转装置用于翻转完成抛光的晶片。本发明实现了碲锌镉晶片表面抛光的全自动化，降低了设备成本，提升了抛光效率。
一种碲锌镉晶片表面抛光设备

[发明专利]一种压力控制装置及压力控制方法-CN202110719959.0有效
发明人：孙莉莉;张文斌;徐品烈;赵祥;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-06-28 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B24B51/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种压力控制装置及压力控制方法，该装置包括：所述控制器将驱动信号发送到所述驱动机构；所述驱动机构基于所述驱动信号为所述传动机构提供在垂直方向上的驱动力，使得所述传动机构在垂直方向上移动；所述传动机构连接到所述浮动机构，将所述驱动机构提供的驱动力传递到所述浮动机构，使得所述浮动机构在垂直方向上向待加工件施加压力；所述压力传感器测量向所述待加工件施加的实际压力值，并将测量得到的实际压力值发送到所述控制器；所述控制器确定所述传动机构的移动位移，并基于所述移动位移和所述实际压力值控制所述驱动机构动作。通过上述压力控制装置及压力控制方法，能够有效保证加工过程中施加在晶片上的压力的精确性。
一种压力控制装置方法

[发明专利]一种取放料机械手及取放料设备-CN202210656157.4在审
发明人：焦宇辉;张文斌;孙莉莉;种宝春;徐品烈;赵祥;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-06-10 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，具体而言，涉及一种取放料机械手及取放料设备，包括安装架、旋转机构、伸缩机构、置料托板和负压机构；安装架上安装有旋转机构，旋转机构上设置有伸缩机构，伸缩机构的伸缩端与置料托板连接，伸缩机构的伸缩端或者置料托板上设置有负压机构，置料托板用于托取半导体晶片，且置料托板上设有真空吸槽孔结构或真空吸气管，负压机构与真空吸槽孔结构或真空吸气管连通，能够对置料托板上托取的半导体晶片进行辅助吸紧。旋转机构带动伸缩机构旋转，伸缩机构带动置料托板伸出对半导体晶片托取，再通过负压机构的真空吸作用，将托取的半导体晶片进行辅助吸紧固定，实现自动化取放料，代替人工，降低了成本，提高了工作效率。
一种取放料机械手设备

[发明专利]异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质-CN202210596332.5在审
发明人：孙莉莉;张文斌;焦宇辉;徐品烈;种宝春;赵祥;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-30 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请提供了一种异形晶片传输的控制方法、装置、电子设备及存储介质，所述控制方法包括：获取取片指令中的当前取片层，确定当前取片层对应的扫描结果是否指示于具有异形晶片；若是，则确定当前取片层的取片位置；若不是，则将当前取片层加一更新为当前取片层继续确定对应的扫描结果；根据取片位置控制机械手将异形晶片从料盒中取出，传输至工作台进行处理。采用本申请提供的技术方案能够通过将异形晶片附着于玻璃基板上，与玻璃基板一起放置在料盒中，通过扫描料盒的每一层，确定异形晶片的取片位置，控制机械手从料盒的取片位置处取出异形晶片，放置在工作台上，实现无人工干预，自动控制异形晶片的传输，提高异形晶片的加工效率。
异形晶片传输控制方法装置电子设备存储介质

[发明专利]一种自动清洁装置-CN202210618639.0在审
发明人：焦宇辉;张文斌;赵祥;孙莉莉;徐品烈;种宝春;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及半导体晶片技术领域，具体而言，涉及一种自动清洁装置，用于对半导体晶片的抛光夹具进行清洁，包括支撑架、夹紧机构和清洁机构；所述支撑架的顶部设置有清洁腔体，所述清洁腔体上设置有夹紧机构，所述夹紧机构用于夹紧所述抛光夹具并使所述抛光夹具位于所述清洁腔体内，所述清洁机构与所述支撑架连接，且所述清洁机构与所述抛光夹具对应设置。本申请能够代替人力，对抛光夹具进行自动清洁，提高清洁效率，减少人力、物力和时间，并提高了抛光夹具清洁后的干净程度。
一种自动清洁装置

[实用新型]一种用于区域独立布设的自动灭火系统-CN202220659874.8有效
发明人： 张彩山 -专利权人： 张彩山
申请日： 2022-03-17 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： A62C3/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于区域独立布设的自动灭火系统，包括介质容器，用于储存灭火用介质；消防管路，用于传导灭火介质，其包括连接在介质容器上的连接管和布置在车棚墙壁上的主消防管路；其中，主消防管路由若干个标准管节首尾相连拼接而成，主消防管路的一端与连接管连接，主消防管路的另一端可拆卸的安装有端盖，连接管上还安装有控制阀，每个标准管节下方均安装有消防喷头，本实用新型适用于电动车棚消防，通过在电动车充电棚中设置该消防系统，能够实现电动车棚内的多点同时灭火的效果，且该装置可以根据实际的车棚长度和现场的消防需求，通过改变标准管节的数量调节主消防管路的整体有效长度，从而使得该装置的适用性更高。
一种用于区域独立布设自动灭火系统

[实用新型]一种具有后备电源及监控预警功能的充电站-CN202220168318.0有效
发明人： 张彩山 -专利权人： 张彩山
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： B60L53/30 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种具有后备电源及监控预警功能的充电站，涉及充电站技术领域，包括充电站本体，所述充电站本体的内部安装有主控板、网络模块和后备电源；监控摄像头，所述监控摄像头与充电站本体内部安装的网络模块连接；后备电源，所述后备电源与网络模块和监控摄像头电连接。本实用新型所述的一种具有后备电源及监控预警功能的充电站，一是，通过设置监控摄像头，且监控摄像头与充电站本体连接，能够实时获取充电站周围环境的环境，并将监控数据上传到后台，由后台进行处理和判断，方便及时的进行维修与调整；二是，通过在充电站中设置后备电源，能够在充电站主线路断电时，为充电站主体提供电能，方便其向后台发送预警以及数据备份。
一种具有后备电源监控预警功能充电站

[发明专利]适用于压焊机的超声波换能装置-CN202110791127.X有效
发明人： 张彩山;李岗;常亮;徐品烈 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2022-05-03 - 主分类号： B23K20/10 文献下载
摘要：本申请涉及压焊技术领域，尤其是涉及一种适用于压焊机的超声波换能装置，包括能量转换构件、变幅杆件、焊接劈刀、支撑构件、驱动构件及压力检测构件，能量转换构件、变幅杆件以及焊接劈刀顺次相连接；支撑构件用于支撑能量转换构件，且能量转换构件能够以支撑构件为支点旋转形成杠杆结构；压力检测构件设置于变幅杆件的能量转换构件侧，焊盘设置于变幅杆件的焊接劈刀侧，能量转换构件响应于焊接劈刀接触焊盘而压设于压力检测构件；驱动构件与变幅杆件相连接，用于驱动变幅杆件相对焊盘升降。可见，这样才能保证实际的焊接压力等于预设的焊接压力，进而才能有效地保证焊接质量，提升焊接效果。
适用于压焊机超声波装置

[发明专利]键合头系统及键合机-CN202110841739.5在审
发明人：常亮;李岗;孙彬;徐品烈;种宝春;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请提供了一种键合头系统及键合机，涉及键合设备领域，键合头系统包括劈刀，劈刀被设置为沿着竖直方向延伸；下连杆；上连杆，与下连杆间隔设置，并被设置为与超声波发生构件同步运动；第一侧连杆和第二侧连杆，第一侧连杆和第二侧连杆二者中任一者的两端分别与上连杆和下连杆铰接；驱动构件，用于驱动超声波发生构件下降。在劈刀竖直设置的基础上，利用铰接设置的上连杆、下连杆、第一侧连杆和第二侧连杆，将劈刀靠近键合面的过程以及劈刀抵接于键合面的过程中可能出现的劈刀滑移转移到下连杆，从而有效地避免滑移对键合过程的诸多不良影响，同时还避免了滑移使劈刀与垂直方向产生的偏角，因此有效地提高了键合质量。
键合头系统键合机

[发明专利]键合机-CN202110696577.0在审
发明人：种宝春;常亮;张文斌;徐品烈;孙莉莉;张彩山 -专利权人：北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2021-06-23 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供的一种键合机，涉及芯片设备技术领域，以在一定程度上解决现有的键合机无法为不同尺寸规格的芯片进行键合连接的问题。本发明提供的键合机,包括机体、键合机构以及承载机构；键合机构以及承载机构均设置于机体上；承载机构包括承载组件、第一位移组件以及第二位移组件，第一位移组件与机体滑动连接，且第一位移组件能够相对机体沿竖直方向往复运动；第二位移组件与第一位移组件滑动连接，且第二位移组件能够相对第一位移组件在第一方向上往复运动；承载组件设置于第二位移组件上，且承载组件能够相对第二位移组件在第二方向上往复运动，并能够相对第二位移组件旋转；键合机构设置于机体上，且键合机构的键合端朝向承载组件设置。
键合机

[实用新型]新型工具叉-CN201720895335.3有效
发明人： 张彩山;庞建春 -专利权人：唐山宏利工具制造有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： A01D9/00 文献下载
摘要：一种新型工具叉，包括与工具手柄连接在一起的工具裤、一体结构的踏肩和叉体；所述的工具裤与踏肩中央部位焊接固定在一起；踏肩和叉体是用模具压制而成的一体结构；叉体为中空的半圆形槽体结构，槽体的开口设置在叉体的背面。这种工具叉，其踏肩和叉体是用模具压制而成的一体成型式结构，工序简单，操作方便，省时省工，叉体为一体结构，其强度大，使用时间长，生产效率高。 1
叉体一体结构模具压制新型工具半圆形槽体一体成型式工具手柄焊接固定开口设置生产效率省时省工中空的槽体背面

[外观设计]工具叉-CN201730326786.0有效
发明人： 张彩山;庞建春 -专利权人：唐山宏利工具制造有限公司
申请日： 2017-07-24 - 公布日： 2018-02-13 - 主分类号： 08-05 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称工具叉。2．本外观设计产品的用途本外观设计产品用于农业、园林作业。3．本外观设计产品的设计要点整体外观。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片立体参考图。
工具

[实用新型]新型锄头-CN201620103248.5有效
发明人： 张彩山;庞建春 -专利权人：唐山宏利工具制造有限公司
申请日： 2016-02-02 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： A01B1/06 文献下载
摘要：一种新型锄头，主要由锄板和柄裤组成，所述的锄板与柄裤为一体，锄板的背面中上部设有凹槽，与凹槽对应，在锄板的正面形成凸起，所述凹槽、凸起的上端与柄裤衔接，所述柄裤为圆环结构，柄裤的外缘向外翻扩，形成翻边。本实用新型采用锰钢合金热带钢拉深成型，生产原材料价格低，工艺简单，制造成本低。锄板与柄裤为一体，锄头整体机械强度高，坚固耐用。锄板的正、反面“V”字椎形结构凹槽和凸起的设置，起到了加强筋的作用，使锄板受力均匀。而且柄裤上设有与其为一体的外翻边缘，操作遇到坚固物质时，可用外翻边缘击打，增加了锄头的应用功能。
新型锄头

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