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- [发明专利]图案光刻胶的微缩制造过程-CN03120287.X有效
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张尚文;陈家桢;刘家助;林思闽;陈正中
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联华电子股份有限公司
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2003-03-10
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2004-09-22
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H01L21/027
- 一种图案光刻胶的微缩制造过程，包括：提供一半导体衬底，其上具有一光刻胶层；藉由一光学光刻工序形成多个具有第一线宽的图案光刻胶于半导体衬底上；进行一酸化工序以形成一具有酸性物质的扩散层于多个图案光刻胶上；进行一再烘烤工序以使扩散层内的酸性物质扩散至多个图案光刻胶中，同时使得酸性物质与位于其扩散深度内的多个图案光刻胶进行一链锁反应以形成多个化学反应层于多个图案光刻胶的表层中，其中，多个图案光刻胶中的酸性物质的扩散深度是取决于酸化工序的酸性物质的扩散速率；以及进行一再显影工序以去除多个化学反应层并形成多个具有第二线宽的图案光刻胶于半导体衬底上。其中上述的所有工序是藉由原位反应的方式进行的。
- 图案光刻微缩制造过程
- [发明专利]全自动钩式电表-CN02119728.8无效
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张尚文
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瑞星科技股份有限公司
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2002-05-15
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2003-11-26
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G01R15/12
- 一种全自动钩式电表，具有全自动侦测并选择作电流量测电压量测或电阻量测，使用者只要将电表的电源开启，不再作其它操件就可从显示幕得到精确的电量读值，有别于一般手动选择欲量测的电流电压或电阻值等的不同功能档位的钳型电表，如此即可避免电表使用者因操作欲量测的电量，而造成使用者自身安全的危险及表体本身的损害，大大提高了工业界大电流量测应用的工业安全，而且亦节省操作电表的动作与时间，从而提高其便利与效率。
- 全自动电表
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