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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]支撑模块以及晶圆移动设备-CN201820949948.5有效
发明人： 廖惇材;林宏毅;彭柏翰 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2018-06-20 - 公布日： 2018-12-28 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种支撑模块以及晶圆移动设备，适于连接至一晶圆平台以将一晶圆环固定在晶圆平台上。支撑模块包括一支撑环以及多个固定元件。支撑环适于环绕晶圆平台，并具有一支撑面，以支撑晶圆环。多个固定元件连接至支撑环，以在垂直于支撑面的一方向上限制晶圆环在支撑面上的位置。由此，晶圆环通过本实用新型的支撑模块上的多个固定元件而被固定于晶圆平台上。当移动模块经由晶圆平台移动晶圆环时，可以降低晶圆环在晶圆平台上的震动，进而提升晶粒的点测质量。
晶圆晶圆平台支撑模块固定元件支撑环本实用新型移动设备支撑移动模块晶粒支撑面环绕垂直震动移动

[发明专利]全自动进出料设备及其控制方法-CN201510165377.7有效
发明人：范维如;林宏毅;廖惇材;刘景男 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2015-04-09 - 公布日： 2018-05-25 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种全自动进出料设备及其控制方法。一种全自动进出料设备包括物料进出平台、滑轨、机械手臂以及设置于滑轨的旁侧的测试机台；物料进出平台适于送出或回收工作物件，其中工作物件包括载体以及位于载体上的多个待测物，且载体具有辨识码；在物料进出平台的辨识单元辨识完载体的辨识码后，物料进出平台的控制单元驱动机械手臂自物料进出平台取出工作物件，并在机械手臂沿滑轨移动至对应的测试机台时将工作物件置放于其内。本发明提供一种全自动进出料设备及其控制方法，有助于提高测试与分选发光二极管晶粒的效率与可靠度。
全自动进出工作物件测试机台机械手臂辨识码滑轨发光二极管晶粒辨识单元滑轨移动驱动机械待测物可靠度辨识分选送出置放手臂取出测试回收

[发明专利]晶粒标示方法及晶粒标示设备-CN201510236307.6有效
发明人：蔡振扬;廖惇材;周明澔;杨上毅;陈维懋 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2015-05-11 - 公布日： 2017-12-26 - 主分类号： B07C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种晶粒标示方法及晶粒标示设备，适于标示在分选载体上的多个晶粒的位置。晶粒标示方法包括下列步骤。通过重叠于分选载体下方的显示装置的像素阵列显示出晶粒地图。晶粒地图包括背景及多个标示区域，这些标示区域对应于这些晶粒的预设位置分布在背景上，且各标示区域经由显示装置的像素阵列的多个像素显示并环绕对应的晶粒。对应被判定受损的晶粒的标示区域的垂直宽度大于或等于显示装置的像素阵列的像素的垂直宽度的三倍，且对应晶粒的标示区域的水平宽度大于或等于显示装置的像素阵列的像素的水平宽度的三倍。从而可通过标示区域来标示出分选载体上的被判定受损的晶粒。
晶粒标示方法设备

[发明专利]晶粒选择方法及坏晶地图产生方法-CN201410486306.2有效
发明人：蔡振扬;廖惇材;周明澔;杨上毅;吴佳兴 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2014-09-22 - 公布日： 2017-07-21 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种晶粒选择方法及坏晶地图产生方法。此晶粒选择方法包括下列步骤点测多个晶粒，以测量这些晶粒的光电特性；将具有相近光电特性的这些晶粒转移至分选载体；通过自动化光学检测设备来观测在分选载体上的这些晶粒，以产生观测结果，其中观测结果包括这些晶粒在分选载体上的位置及这些晶粒是否有损伤；依照观测结果描绘坏晶地图，其中坏晶地图具有至少一坏晶标记，以标示出这些晶粒中有损伤者的位置；依照坏晶地图的坏晶标记来挑除这些晶粒中有损伤者。
晶粒选择方法地图产生

[发明专利]视觉检测系统及视觉检测方法-CN201410222291.9在审
发明人：蔡振扬;周明澔;廖惇材;黄柏纶 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2014-05-23 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： G01B11/26 文献下载
摘要：本发明提供了一种视觉检测系统及视觉检测方法，该检测系统包含承载平台、摄影模组及电脑模组。承载平台承载包含多个晶粒的晶圆。摄影模组包含第一摄影单元及第二摄影单元。第一摄影单元用以拍摄晶圆而获得实际晶圆影像。第二摄影单元用以拍摄晶粒中的一个而获得实际晶粒影像。电脑模组用以将实际晶圆影像与标准晶圆影像进行比对而获得第一角度差值，进而根据第一角度差值驱动承载平台转动，并将实际晶粒影像与标准晶粒影像进行比对而获得第二角度差值，进而根据第二角度差值驱动承载平台转动。本发明能够快速调整晶粒方位，减少检测处理时间。
视觉检测系统方法

[实用新型]晶圆承载件搬运机构-CN201420373226.1有效
发明人： 廖惇材;蔡振扬;周明澔 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2014-07-04 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆承载件搬运机构，适于搬运一晶圆承载件。晶圆承载件具有一框体及配置在框体上的一薄膜，薄膜的一上表面上适于配置一晶圆，且晶圆与框体之间具有一间隔。晶圆承载件搬运机构包括一支撑单元及一拾取单元。拾取单元连接至支撑单元，用以拾取晶圆承载件。
承载搬运机构

[实用新型]夹持装置以及应用其的测试系统-CN201420429398.6有效
发明人：陈建羽;彭柏翰;廖惇材;林宏毅 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2014-07-31 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种夹持装置以及应用其的测试系统，其中夹持装置包含载台、承载部、动力源、夹持部以及凸出部。承载部设置于载台，并具有观测窗，其中载台表面与承载部表面间有段差。动力源提供输出动力，其中输出动力方向平行于载台表面。夹持部与动力源连接，使得夹持部往复移动于载台表面，其中夹持部包含定位部。当凸出部位于定位部内时，夹持部与载台表面夹第一角度。而当凸出部与夹持部接触时，夹持部与载台表面夹第二角度，其中第一角度小于第二角度。因此，夹持部在仅有单一个水平方向的推力下，产生水平以及铅直的移动。
夹持装置以及应用测试系统

[实用新型]晶粒选取设备-CN201320259462.6有效
发明人： 廖惇材;林宏毅 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2013-05-14 - 公布日： 2013-11-13 - 主分类号： B07C5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶粒选取设备，包含有一位移装置、一受位移装置带动的软性薄膜、一与软性薄膜相对固定的黏性薄膜、一顶推装置、一影像撷取装置及一支撑装置，该顶推装置用于顶推黏设于软性薄膜的晶粒，进而使晶粒黏附于黏性薄膜，该支撑装置具有一摆臂及一能被摆臂带动至一作用位置的支撑件，该支撑件位于作用位置时可供受顶推的晶粒抵靠，以使晶粒更确实地转黏至黏性薄膜，且该支撑件可离开作用位置而让影像撷取装置可实时检测晶粒是否转黏成功，而且，该晶粒选取设备不需设置卷动黏性薄膜的机构，也不需费时更换黏性薄膜，并具有良好的效率。
晶粒选取设备

[实用新型]清洁块与点测装置-CN201320020604.3有效
发明人： 廖惇材;陈建羽;廖永元 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2013-01-15 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本实用新型揭露一种清洁块与点测装置。点测装置包含检测移动平台、至少一探针座、清洁平台与清洁块。检测移动平台用以承载一待测物。探针座设置在一承载平台上，且探针座包含至少一探针。清洁块置于清洁平台上。清洁块的厚度为约3mm～6mm，使得探针能够插入清洁块，并进而让清洁块能够以沾粘的方式清除探针所附着的多个附着物。
清洁装置

[发明专利]探针清洁装置以及使用其的在线探针清洁方法-CN201110282224.2无效
发明人： 廖惇材;洪嘉宏;张书祥;陈建羽 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2011-09-21 - 公布日： 2013-04-03 - 主分类号： B08B1/00 文献下载
摘要：本发明是关于一种探针清洁装置，其是设置在一发光二极管(LED，light emitting diode)点测设备上以执行在线(on-line)探针清洁作业，该点测设备可包含设有探针的一探针单元、以及能够在水平方向与垂直方向上移动的一移动机构，该探针清洁装置包含：一连接部，与该移动机构连接，并随着该移动机构移动；一清洁海棉，由三聚氰胺所制造，并用以清洁该探针单元的探针；以及一容器，设置在该连接部上，并用以容纳该清洁海棉，其中当该清洁海棉容纳在该容器内时，该清洁海棉是凸出该容器的上表面一距离。
探针清洁装置以及使用在线方法

[实用新型]可转动的寻边器-CN201220376554.8有效
发明人： 廖惇材;彭柏翰 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2012-08-01 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种可转动的寻边器，包含有一基座、一设置于所述基座的悬臂，以及一设置于所述悬臂的探针；其特征在于：所述基座包含有一固定单元，以及一能转动地设置于所述固定单元的转动单元，所述悬臂设置于所述转动单元。由此，本实用新型的悬臂及探针可随基座的转动单元转动而离开点触作业进行时的位置，以便邻近的其他寻边器进行探针更换作业。
转动寻边器

[实用新型]利用磁力消除转轴偏摆间隙的寻边器-CN201220377189.2有效
发明人： 廖惇材;彭柏翰 -专利权人：旺矽科技股份有限公司
申请日： 2012-08-01 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： G01R1/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种利用磁力消除转轴偏摆间隙的寻边器，其包含有：一基座，装设有至少一轴承；一转轴，穿设于所述轴承中；一旋转座，与所述转轴固接而能相对所述基座转动；一悬臂，与所述旋转座固接，用于装设一探针；一第一磁性件，设置于所述基座；一第二磁性件，设置于所述旋转座与所述悬臂二者其中之一，所述第一磁性件与所述第二磁性件为磁性相吸或相斥，以提供一作用于所述转轴的力量。在探针点触一待测物的过程中，二磁性件的磁力可消除转轴偏摆的间隙，以避免悬臂产生非预期的摆动而造成探针在待测物上留下过当的针痕，且本实用新型的寻边器具有体积小且不易损坏的优点。
利用磁力消除转轴间隙寻边器

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