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- [发明专利]一种LED外延片及其制造方法-CN201410738294.8有效
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刘治;袁述
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广东量晶光电科技有限公司
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2014-12-05
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2018-11-02
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H01L33/14
- 本发明公开了一种LED外延片及其制造方法,该方法包括以下步骤:在纯氮气或第一混合气氛下生长第一电子溢出阻挡层,在纯氢气或第二混合气氛下生长第二电子溢出阻挡层,所述第一混合气氛和第二混合气氛均包含氮气和氢气,所述第一混合气氛中的氮气的比例高于氢气的比例,所述第二混合气氛中的氢气的比例高于氮气的比例。本发明中的LED外延片包括两个在不同气氛下生长得到的电子溢出阻挡层,能够在保证Mg掺杂浓度的基础上,有效地提高电子溢出阻挡层的空穴浓度,填补V型缺陷,避免电子溢流,并降低了Mg掺杂的GaN层的厚度,从而大幅提升了LED外延片的发光效率。
- 一种led外延及其制造方法
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