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[发明专利]环形映射缺陷的改善方法-CN202310450483.4在审
发明人： 宋洋航;吴长明;冯大贵;余鹏;孙建;李先宏;尚柯 -专利权人：华虹半导体（无锡）有限公司
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： H01L21/3213 文献下载
摘要：本发明提供一种环形映射缺陷的改善方法，提供刻蚀机台，刻蚀机台中的刻蚀腔中设有阳极板、阴极板，阳极板远离阴极板的一侧设置有射频线圈，射频线圈与第一射频发生器连接，阴极板与第二射频发生器连接，第一、二射频发生器分别用于调节等离子的密度和方向；在刻蚀机台的第一复机菜单中增加第二复机菜单，第一复机菜单为根据所需半导体器件预设的菜单，第二复机菜单包括：在刻蚀腔中通入第一刻蚀气体，调节刻蚀腔的压力、第一、二射频发生器的功率，利用第一刻蚀气体电离使得阳极板的表面致密化；执行第一、二复机菜单中的步骤。本发明使得阳极板表面的晶格变得更为细致，聚合物淀积更为牢固，刻蚀过程中聚合物不易脱落，改善了环形映射缺陷。
环形映射缺陷改善方法

[发明专利]一种四氧化三锰/二氧化锡核壳结构催化材料的制备方法-CN201910576003.2有效
发明人：刘辉;宋洋航;庞凌燕;王少兰;李军奇 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B01J23/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种四氧化三锰/二氧化锡核壳结构催化材料的制备方法，具体为，将高锰酸钾、N,N‑二甲基甲酰胺与去离子水混合，搅拌，形成混合溶液A，进行水热反应，离心洗涤，真空干燥，研磨过筛，即得到Mn3O4纳米棒粉体；再将结晶四氯化锡溶于去离子水中，在连续搅拌条件下，向溶液中逐滴滴入氢氧化钠溶液，形成混合溶液B；将Mn3O4纳米棒粉体溶于混合溶液B中，搅拌、超声，水热反应，离心洗涤，真空干燥，研磨过筛，即得到层级Mn3O4@SnO2核壳纳米结构电催化材料。核壳结构材料的构建，提高了材料的电催化性能。本发明方法制备工艺简单、周期短、生产成本低，所得产品尺寸均一、分散良好、产率高。
一种氧化锡核壳结构催化材料制备方法

[发明专利]四氧化三锰-二氧化锡/四氧化三钴复合材料的制备方法-CN201910576230.5有效
发明人：刘辉;宋洋航;庞凌燕;王少兰;李军奇 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01M4/36 文献下载
摘要：本发明公开了四氧化三锰‑二氧化锡/四氧化三钴复合材料的制备方法，具体为：首先，将高锰酸钾、N,N‑二甲基甲酰胺与去离子水混合进行水热反应，洗涤，干燥研磨，得到Mn3O4纳米棒粉体；再将四氯化锡溶于去离子水中，在连续搅拌条件下，逐滴滴入氢氧化钠溶液，并将Mn3O4纳米棒粉体溶于其中，搅拌和超声处理，进行水热反应，洗涤，干燥研磨，将Mn3O4@SnO2核壳结构材料分散到混合溶液中进行水浴反应，洗涤，干燥研磨，煅烧，即可得到锂离子电池用Mn3O4@SnO2/Co3O4核壳结构复合材料。本发明方法制备工艺简单，成本低，环境友好，所得到锂离子电池复合材料尺寸均一，分散良好，具有优异的充放电性能。
氧化复合材料制备方法

[发明专利]一种二硫化锡纳米片组装中空微立方体材料的制备方法-CN201910582398.7在审
发明人：刘辉;宋洋航;庞凌燕;李梦妍;李军奇 -专利权人：陕西科技大学
申请日： 2019-06-28 - 公布日： 2019-09-20 - 主分类号： C01G19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种二硫化锡纳米片组装中空微立方体材料的制备方法，具体为：将四氯化锡溶于无水乙醇中，配成溶液A；将氯化锌和柠檬酸溶于去离子水中，配成混合溶液B；将溶液A加入到混合溶液B中，加入氢氧化钠溶液，搅拌，陈化，得到悬浮液C；之后将氢氧化钠溶液逐滴滴加到悬浮液C中，搅拌，陈化，洗涤，干燥研磨，将得到的中空ZnSn(OH)₆粉体、硫代乙酰胺和乙二胺四乙酸溶于去离子水中，搅拌、超声，进行水热反应，洗涤，干燥研磨，即可得到SnS₂纳米片组装中空微立方体材料。本发明方法制备出由SnS₂纳米片组装中空微立方体材料，其尺寸均一、分散良好、产率高、具有较大的比表面积，使得材料对反应物的吸附量增加。
中空立方体材料纳米片组装制备氢氧化钠溶液混合溶液研磨硫化锡悬浮液陈化水中洗涤离子乙二胺四乙酸柠檬酸硫代乙酰胺尺寸均一水热反应四氯化锡无水乙醇反应物氯化锌吸附量产率超声粉体