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[实用新型]一种高效蚀刻槽-CN202221730801.X有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效蚀刻槽，包括槽体，所述槽体底部设置有安装框，所述安装框之间设置有半导体制冷片以及导热板，所述半导体制冷片设置于导热板顶部，所述安装框左右两侧顶部对称设置有第一固定板，所述第一固定板底部对称设置有第一固定栓，且所述第一固定栓尾端贯穿第一固定板与槽体螺纹连接，所述导热板底部等距设置有散热片，所述安装框底部设置有方形框，所述方形框外壁顶部对称设置有第二固定板，所述第二固定板底部对称设置有第二固定栓，且所述第二固定栓尾端贯穿第二固定板与安装框螺纹连接，所述方形框内壁左右对称设置有套管，通过半导体制冷片对蚀刻槽内的蚀刻液进行冷却，防止蚀刻液温度升高而影响蚀刻。
一种高效蚀刻

[外观设计]半导体晶圆清洗设备-CN202230316473.8有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： 15-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体晶圆清洗设备。2.本外观设计产品的用途：用于作为清洗设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.省略视图：仰视图为不常见面，省略仰视图。
半导体清洗设备

[外观设计]半导体晶圆去胶清洗设备-CN202230320957.X有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体晶圆去胶清洗设备。2.本外观设计产品的用途：用于作为清洗设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.省略视图：仰视图为不常见面，省略仰视图。
半导体晶圆去胶清洗设备

[外观设计]半导体晶圆电镀清洗设备-CN202230316879.6有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2022-05-26 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： 15-99 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体晶圆电镀清洗设备。2.本外观设计产品的用途：用于作为半导体晶圆的清洗设备。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.省略视图：仰视图为使用时不易看见的部位，省略仰视图。
半导体电镀清洗设备

[实用新型]一种带篮90°翻转机构-CN202123240421.6有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种带篮90°翻转机构，包括底座，底座上设有翻转腔，翻转腔一端设有与底座连接的轴承，其另一端设有穿过底座与其连接的驱动机构，翻转腔内设有花篮。本实用新型的有益效果：实现花篮垂直插片和水平搬运的目的,通过自动化结构减少了人工的成本，功能覆盖面广，结构精细，安装简单方便。
一种 90 翻转机构

[实用新型]一种气动直通阀-CN202123317974.7有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： F16K31/122 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气动直通阀，包括阀体，阀体两端依次设有推杆、第一螺母、第一阀盖、推杆头与第二阀盖，第一阀盖与所述第二阀盖之间通过螺钉与第二螺母连接。本实用新型的有益效果：制造安装方便，可直接串联在管路中，可以根据管路口径调整，占据空间变小，成本降低。
一种气动直通

[实用新型]一种电镀槽体-CN202123240417.X有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： C25D17/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电镀槽体，包括电镀槽基座，电镀槽基座上设有电镀内外循环槽，电镀内外循环槽一侧设有均化板驱动装置盒，电镀内外循环槽上端一侧设有贯穿其上端设置的阳极，阳极一侧设有均化板，均化板远离阳极的另一侧设有晶圆片夹具，电镀内外循环槽槽内设有设置于晶圆片夹具一侧的内置加热器，均化板上端设有与电镀内外循环槽上端连接的连接杆，连接杆一端与均化板驱动装置盒上端设置的均化板驱动装置连接。本实用新型的有益效果：加热器由外置更改为内置，运行更稳定，加热速度快，装配简单，成本低，阳极由固定式加装为可调节式，可根据电镀工艺随意调整合适位置，均化板驱动装置加装止转卡扣，运行稳定，在运作时无倾斜情况。
一种电镀

[发明专利]一种8寸快拆式电镀夹具-CN202110521483.X在审
发明人：刘金升;夏前刚;谢延峰 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C25D17/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种8寸快拆式电镀夹具，包括主体，主体上设有依次叠加设置的导电圈、硅晶片、卡环、中间盖板与盖板主体，盖板主体远离中间盖板的另一端设有拉手，拉手一端设有与之连接的拉手底座。本发明的有益效果：通过快拆把手带动载具密封盖旋转压着放入的晶圆片使其密封，然后利用选卡机构使其紧密的贴合在一起，导电片的多电极设计和多点式接触晶圆片，使其电流流场密度更加的均匀。
一种寸快拆式电镀夹具

[发明专利]一种机械夹手的装置-CN202110521153.0在审
发明人：刘金升;夏前刚;谢延峰 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2021-07-13 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种机械夹手的装置，包括驱动机构和夹取机构，所述驱动机构包括底座、气缸固定块、旋转轴尾固定板、旋转推动支架和旋转臂，所述底座上端设置有气缸，所述气缸尾端与气缸固定块固定连接，所述气缸固定块固定安装在底座上，所述气缸固定块上镶嵌有两个导向杆轴套，所述旋转臂前端部与夹取机构连接，所述夹取机构上设置有花篮挂钩。本发明通过采用气缸前后推动，带动导向轴尾部的圆台形状伸缩，挤压凸轮轴承带动旋转臂转动，旋转臂带动通过带有挂钩和感应杆组成的夹爪夹紧和张开动作，完成对物品进行抓取动作，该发明结构简单、稳定可靠且操作方便，制造成本低廉，适合大规模生产应用。
一种机械装置

[实用新型]一种4寸气动快速排放阀-CN201920707038.0有效
发明人：刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： F16K11/044 文献下载
摘要：本实用新型提供一种4寸气动快速排放阀，其特征在于，包含阀帽、阀中间体和底盘；阀帽的中部外侧沿周向均匀设有多个排放口，阀帽的下端套设于阀中间体的顶部；阀中间体的下端套设于底盘上，底盘与阀中间体共同限定出第一腔室，第一腔室内设有阀芯和弹簧，弹簧的下端连接底盘，弹簧的上端连接阀芯；阀芯的上端连接伞形阀，伞形阀位于阀帽的内部；伞形阀的顶部的直径大于阀帽的顶部开口的直径；阀芯的外部分别与阀中间体和底盘的内壁接触，阀芯与底盘共同限定出密闭的第二腔室，阀中间体的侧壁上设有通气孔，通气孔穿过底盘后与第二腔室连通。本实用新型体积小，成本低，安装和方便，排放速度快，可承受更大液体压力，回收方式更加灵活。
一种气动快速排放

[实用新型]一种防摆动精准定位机械手-CN201920711530.5有效
发明人：刘金升;沙永健;夏前刚 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： B25J11/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种防摆动精准定位机械手，包含安装架，安装架与设备连接；安装架的内部中间设有丝杆，丝杆上套设有丝杆螺母；安装架的上端设有伺服电机，丝杆的上端连接伺服电机，丝杆的下端连接安装架的底板；安装架的后侧连接升降台，升降台与丝杆螺母连接，升降台上设有旋转气缸；旋转气缸的顶部连接阻尼器，旋转气缸的底部连接主轴，主轴的下端连接产品夹具；安装架的右侧设有定位传感器，定位传感器与伺服电机连接。本实用新型采用伺服电机驱动丝杆使产品夹具上下移动，以及定位传感器进行精准定位，保证产品夹具升降平稳且定位精确；旋转气缸连接阻尼器共同控制产品夹具旋转，大大减弱了旋转过程中产生的晃动，保护产品不被损坏。
安装架丝杆产品夹具旋转气缸定位传感器伺服电机升降台本实用新型精准定位丝杆螺母阻尼器上端下端升降伺服电机驱动底板底部连接定位精确连接安装上下移动设备连接旋转过程机械手侧连接防摆动上套晃动保证

[实用新型]一种两片式电镀夹具-CN201920711524.X有效
发明人：刘金升;夏前刚;张辉 -专利权人：苏州施密科微电子设备有限公司
申请日： 2019-05-17 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： C25D7/12 文献下载
摘要：本实用新型提供一种两片式电镀夹具，包含夹具底座和夹具盖板；夹具盖板设于夹具底座上，夹具盖板能够与夹具底座连接；夹具底座上设有安装沉台，安装沉台内设有两个放置槽；夹具底座的一侧设有两个快插接头，夹具底座的内部设有两个穿线槽，穿线槽没设有线缆，每条线缆的一端连接一个快插接头；放置槽内设有多个导电圈，导电圈与线缆的另一端连接；夹具底座的底部设有锥形的进液口和出液口，进液口和出液口分别连接安装沉台。本实用新型的一种两片式电镀夹具，实现了两面产品同时对指定面进行电镀，采用分体式设计，结构简单，拆卸方便，操作难度小，电镀均匀效果好，成本低；且能够有效避免电镀液浪费，节省成本。
夹具底座夹具盖板线缆本实用新型安装沉台电镀夹具快插接头一端连接出液口穿线槽导电圈放置槽进液口两片式电镀分体式设计拆卸方便均匀效果连接安装电镀液沉台

[发明专利]一种高精度半导体恒温机-CN201010207712.2无效
发明人：徐竹林;刘金升;夏前刚 -专利权人：苏州华林科纳半导体设备技术有限公司
申请日： 2010-06-24 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度半导体恒温机，包括：设有精确温控仪表的控制箱以及内部设有恒温控制塔的主机箱。所述恒温控制塔外壁由水冷式散热板组成，塔内设有耐腐蚀药液腔，所述耐腐蚀药液腔内设有用于测得耐腐蚀药液腔内药液温度的PT100温度探头；所述PT100温度探头与所述精确温控仪表电连接，所述耐腐蚀药液腔的外壁由高耐腐蚀材料层组成；所述耐腐蚀药液腔外壁与恒温控制塔内壁之间设有半导体制冷片。本发明的有益效果为：可对强碱、强酸液直接恒温控制，其温度精度可控制在±0.1℃内，广泛用于医药、化工、军工等高危操作；整体设备体积非常小、固体冷源，无噪声、无磨损、无污染、使用方便，制冷迅速。
一种高精度半导体恒温

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