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- [实用新型]一种自动槽盖-CN202320026526.1有效
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刘金升
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苏州施密科微电子设备有限公司
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2023-01-06
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2023-05-26
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B65D43/26
- 本实用新型公开了一种自动槽盖，包括支脚块、支撑轴、旋转支撑臂、支撑轴衬套、衬套压盖、连杆轴、活动关节臂、气缸、自动槽盖、输出臂和气缸连接件，支撑轴的两端与支脚块连接，支撑轴上连接有支撑轴衬套和旋转支撑臂，旋转支撑臂通过支撑轴衬套与衬套压盖连接，连杆轴的两端与旋转支撑臂连接，连杆轴上连接有活动关节臂，旋转支撑臂连接有自动槽盖，活动关节臂连接有关节轴和输出臂，输出臂连接有气缸连接件，气缸连接件连接有气缸，气缸的上下移动带动自动槽盖的打开和关闭，本实用新型不占用两侧的空间，机械臂移动顺畅。
- 一种自动
- [实用新型]一种QDR槽喷淋板-CN202223345462.6有效
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刘金升
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苏州施密科微电子设备有限公司
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2022-12-14
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2023-05-12
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种QDR槽喷淋板，包括QDR槽主体、夹具、晶圆片、喷淋管、进液管、QDR喷淋板主体、锥形喷嘴、QDR喷淋接头板、第一密封圈和第二密封圈，QDR喷淋接头板安装在QDR喷淋板主体上，QDR喷淋板主体上均匀设置有若干个锥形喷嘴，QDR喷淋板主体焊接在QDR槽主体的左侧板上，晶圆片位于锥形喷嘴正对面位置处且晶圆片与锥形喷嘴距离为50‑60mm，本实用新型将喷淋板直接焊接在晶圆片正对面，配合多个锥形喷嘴，完整覆盖了整个晶圆片，大大提高了喷淋清洗的效果，同时流量也大为提高，提高了清洗效率。
- 一种qdr喷淋
- [实用新型]一种高效蚀刻槽-CN202221730801.X有效
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刘金升;夏前刚
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苏州施密科微电子设备有限公司
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2022-07-05
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2023-01-20
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H01L21/67
- 本实用新型公开了一种高效蚀刻槽，包括槽体，所述槽体底部设置有安装框，所述安装框之间设置有半导体制冷片以及导热板，所述半导体制冷片设置于导热板顶部，所述安装框左右两侧顶部对称设置有第一固定板，所述第一固定板底部对称设置有第一固定栓，且所述第一固定栓尾端贯穿第一固定板与槽体螺纹连接，所述导热板底部等距设置有散热片，所述安装框底部设置有方形框，所述方形框外壁顶部对称设置有第二固定板，所述第二固定板底部对称设置有第二固定栓，且所述第二固定栓尾端贯穿第二固定板与安装框螺纹连接，所述方形框内壁左右对称设置有套管，通过半导体制冷片对蚀刻槽内的蚀刻液进行冷却，防止蚀刻液温度升高而影响蚀刻。
- 一种高效蚀刻
- [实用新型]一种电镀槽体-CN202123240417.X有效
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刘金升;夏前刚
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苏州施密科微电子设备有限公司
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2021-12-22
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2022-05-13
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C25D17/02
- 本实用新型公开了一种电镀槽体，包括电镀槽基座，电镀槽基座上设有电镀内外循环槽，电镀内外循环槽一侧设有均化板驱动装置盒，电镀内外循环槽上端一侧设有贯穿其上端设置的阳极，阳极一侧设有均化板，均化板远离阳极的另一侧设有晶圆片夹具，电镀内外循环槽槽内设有设置于晶圆片夹具一侧的内置加热器，均化板上端设有与电镀内外循环槽上端连接的连接杆，连接杆一端与均化板驱动装置盒上端设置的均化板驱动装置连接。本实用新型的有益效果：加热器由外置更改为内置，运行更稳定，加热速度快，装配简单，成本低，阳极由固定式加装为可调节式，可根据电镀工艺随意调整合适位置，均化板驱动装置加装止转卡扣，运行稳定，在运作时无倾斜情况。
- 一种电镀
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