专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]镀覆装置-CN202180011191.X有效
  • 富田正辉;增田泰之 - 株式会社荏原制作所
  • 2021-10-28 - 2023-06-02 - C25D17/00
  • 本发明提供一种能够抑制由整体上滞留于膜的下表面的气泡引起的基板的镀覆品质恶化的技术。镀覆装置(1000)具备镀覆槽(10)、基板保持架(20)以及膜模块(40),膜模块具备第一膜(41)和第二膜(42),第二膜具有用于供比第二膜靠下方的第一区域(R1)的镀覆液流入至比第二膜靠上方且比第一膜靠下方的第二区域(R2)的流入口(42c)、和相对于水平方向倾斜并且以随着从阳极室的中央侧朝向阳极室的外缘侧而位于上方的方式倾斜的倾斜部位(42b)。
  • 镀覆装置
  • [发明专利]镀敷装置、镀敷装置的控制方法-CN202080064222.3有效
  • 增田泰之 - 株式会社荏原制作所
  • 2020-12-25 - 2023-05-26 - C25D21/12
  • 本发明的目的在于减少镀敷时的桨叶产生的电场遮蔽的影响。一种镀敷装置,用于对基板进行镀敷,该镀敷装置具备:镀敷槽;阳极,其配置于上述镀敷槽内;旋转机构,其使上述基板向第1方向以及与上述第1方向相反的第2方向旋转;以及控制装置,其对上述旋转机构进行控制,以便使上述基板向上述第1方向旋转的时间与向上述第2方向旋转的时间相等,或者将上述第1方向上的旋转速度以时间进行了积分而得的值与将上述第2方向上的旋转速度以时间进行了积分而得的值相等。
  • 装置控制方法
  • [发明专利]镀覆处理方法-CN202180014903.3有效
  • 增田泰之;富田正辉 - 株式会社荏原制作所
  • 2021-10-18 - 2023-04-14 - C25D17/00
  • 本发明提供一种能够抑制因通常滞留于膜的下表面的气泡导致基板的镀覆品质恶化的技术。镀覆处理方法包括如下步骤:将阳极液向位于膜(40)的下方且比第一区域(R1)靠上方的位置的第二区域(R2)引导,由此使第二区域的阳极液所含的气泡的浓度比第一区域的阳极液所含的气泡的浓度低;从第一区域排出阳极液;从第二区域排出阳极液;向配置有基板(Wf)的阴极室(12)供给阴极液;以及使电流在基板(Wf)与阳极(13)之间流通而对基板电镀金属。
  • 镀覆处理方法
  • [发明专利]镀覆装置及镀覆方法-CN201811277023.1有效
  • 张绍华;增田泰之;藤方淳平;下山正;中田勉 - 株式会社荏原制作所
  • 2018-10-30 - 2021-04-27 - C25D21/10
  • 本发明提供一种对基板进行镀覆的镀覆装置及镀覆方法。该镀覆装置具有:构成为收纳镀覆液的镀覆槽;配置于所示镀覆槽的内部,并且构成为沿着基板的表面在往复方向上移动而对镀覆液进行搅拌的搅动件;支承搅动件的第一端部的支承部件;设置于搅动件的第一磁石;以及设置于镀覆槽的第二磁石。第一磁石和第二磁石构成为,在搅动件移动的期间互相施加磁力,以抑制搅动件的与第一端部相反的一侧的第二端部向靠近基板的方向和远离基板的方向振动。
  • 镀覆装置方法

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