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[发明专利]压力传感器和电子设备-CN202310764062.9在审
发明人：王栋杰;陈磊;张强;胡洪;王雨晨;周汪洋;周志健 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2023-06-26 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种压力传感器和电子设备，压力传感器包括支撑层，支撑层包括支撑本体、第一空腔和第二空腔；敏感层，敏感层设置于支撑层的第一表面并且覆盖第二空腔，第二空腔的真空度大于第一空腔；压力器件，压力器件设置于敏感层中，第一类压力器件与第一空腔的边缘相对，第二类压力器件与第二空腔的边缘相对；温度器件，温度器件设置于第一类压力器件和第二类压力器件之间。通过温度器件可以同时测量第一类压力器件和第二类压力器件位置的温度，以对第一类压力器件和第二类压力器的压力输出进行温度补偿，提升了压力传感器的压力测试精度和灵敏度。
压力传感器电子设备

[发明专利]微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备-CN202110875314.6有效
发明人：邹泉波;丁凯文;周良;张贺存;李刚;赵海轮;周汪洋;冷群文 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2021-07-30 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：这里公开了一种微机电系统麦克风、麦克风单体及电子设备。该微机电系统麦克风包括：设置在磁体支撑件上的可移动部件，其中，在可移动部件上设置有磁体；以及第一磁阻支撑件，其中，第一磁阻被设置在第一磁阻支撑件上，在第一磁阻和磁体构成的工作平面上，以从磁体的S极到N极的方向为该工作平面的法线方向，沿第一磁阻的电流方向，磁体位于第一磁阻的左侧，沿所述工作平面，第一磁阻的宽度是CD1，所述磁体和第一磁阻之间的最小间距是CD2，以及CD1和CD2的关系如下：CD2≤3×CD1。
微机系统麦克风单体电子设备

[发明专利]传感器和电子设备-CN202110227060.7有效
发明人：安琪;冷群文;邹泉波;周汪洋;丁凯文;赵海轮;周良 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01D5/12 文献下载
摘要：本发明公开一种传感器和电子设备，其中，传感器包括：固定部；振动部，所述振动部连接所述固定部，并可相对所述固定部往复振动；永磁体，所述永磁体设于所述振动部，并跟随所述振动部振动；功能传感器，所述功能传感器设于所述固定部，所述功能传感器被配置为在所述振动部振动过程中感应所述永磁体的磁场变化，而输出变化的电信号；以及校准传感器，所述校准传感器设于所述振动部，并跟随所述振动部振动，所述校准传感器被配置为感应所述永磁体的磁场，而对所述功能传感器输出的电信号进行修正。本发明技术方案能够提高传感器的精度和准确度。
传感器电子设备

[发明专利]芯片钝化层的制备方法、芯片钝化层及芯片-CN202011226912.2有效
发明人：丁凯文;冷群文;邹泉波;赵海轮;安琪;周汪洋;周良 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： C23C16/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片钝化层的制备方法、芯片钝化层及芯片，在硬掩模衬底沉积氮化硅或氧化硅，获得第一结构；在所述第一结构的表面生长非晶硅，获得第二结构；在所述第二结构的上表面进行氧化硅沉积，获得第三结构；对所述第三结构中的氧化硅层进行图形化，获得第四结构；对所述第四结构进行硅蚀刻，获得第五结构；释放所述第五结构中的氮化硅和/或氧化硅，获得芯片钝化层。由此通过沉积、生长、再沉积、图形化、蚀刻、释放操作，获得了工艺集成度高，且具有良好可靠性和兼容性高芯片钝化层。
芯片钝化制备方法

[发明专利]压力传感器的制作方法及压力传感器-CN202211695220.1在审
发明人：陈磊;周志健;张强;朱恩成;王栋杰;王雨晨;周汪洋 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/822 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器的制作方法及压力传感器，压力传感器的制作方法包括以下步骤：提供一顶硅片，在顶硅片上形成第一掩蔽层；提供一底硅片，在底硅片上形成一空腔；将顶硅片和底硅片键合；将顶硅片减薄抛光，形成一压力传感器的感压薄膜；在感压薄膜制作第二掩蔽层，并进行光刻图形化形成图形层；通过离子注入或者扩散方式，在对应图形层的位置形成多个P型轻掺杂区；在部分P型轻掺杂区位置形成P型重掺杂区；通过离子注入或者扩散方式，形成N型重掺杂区；制作电极与N型重掺杂区和P型重掺杂区连接。该压力传感器的制作方法具有高集成度、高灵敏度、小型化，高通用性、可检测传感器温度，实时温度校准的优点。
压力传感器制作方法

[发明专利]一种微机电系统传感器及电子设备-CN202211035638.X在审
发明人：王栋杰;陈磊;朱恩成;张强;丁凯文;周汪洋 -专利权人：青岛歌尔智能传感器有限公司
申请日： 2022-08-26 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G01L1/10 文献下载
摘要：本公开实施例公开了一种微机电系统传感器及电子设备，所述微机电系统传感器包括基底、电路板、放大组件和谐振组件。所述基底设置于所述电路板上；所述放大组件与所述基底连接，所述放大组件与所述电路板之间形成悬空间隙。本公开实施例的一个技术效果在于，通过集成敏感元件、检测电路和基底，能够实现感知力、测定力和输出力三位一体，提高了微机电系统传感器的集成度，降低了微机电系统传感器的体积，也便于微机电系统传感器的直接使用。
一种微机系统传感器电子设备

[发明专利]像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器-CN202211295948.5在审
发明人：张强;陈磊;朱恩成;王栋杰;周汪洋 -专利权人：青岛歌尔智能传感器有限公司
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种像元结构、红外焦平面阵列及红外传感器，像元结构包括衬底、框架、悬臂梁、传感元件、支撑锚和敏感元件，框架连接于衬底并与衬底形成有隔离槽，传感元件包括包覆层和设置于包覆层内的二极管，悬臂梁连接包覆层和框架以悬空支撑包覆层，悬臂梁内设置有引线，框架内设置有导线，引线电连接二极管和导线，敏感元件通过支撑锚连接于传感元件背离衬底的一侧，敏感元件高出隔离槽设置。相比于现有技术而言，该像元结构通过双悬空结构的设置，提高了填充比，提升了红外吸收面积，进而提高了测量的灵敏度。
结构红外平面阵列红外传感器

[发明专利]传感器和电子设备-CN202110227552.6有效
发明人：安琪;冷群文;邹泉波;周汪洋;丁凯文;赵海轮;周良 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： G01R33/09 文献下载
摘要：本发明公开一种传感器和电子设备，其中，传感器包括：衬底；第一传感单元，第一传感单元对第一传感轴方向的磁场进行检测，第一传感单元包括设置于衬底上的两个第一磁阻模块和两个第二磁阻模块，第一磁阻模块和第二磁阻模块连接形成全桥电路；定义第一磁阻模块的钉扎层的磁化方向与第一传感轴的正方向的夹角为α，定义第二磁阻模块的钉扎层的磁化方向与第一传感轴的正方向的夹角为β，α和β互为补角；以及多个磁通聚集器，多个磁通聚集器设于衬底上，相邻两磁通聚集器间形成磁间隙，每个第一磁阻模块和每个第二磁阻模块分别位于一所述磁间隙。本发明技术方案能提高传感器的检测灵敏度。
传感器电子设备

[发明专利]传感器和电子设备-CN202110227553.0有效
发明人：安琪;冷群文;邹泉波;周汪洋;丁凯文;赵海轮;周良 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H04R9/02 文献下载
摘要：本发明公开一种传感器和电子设备，其中，传感器固定部；振动部，所述振动部连接于所述固定部，并可相对所述固定部振动；以及至少两个传感单元，每个所述传感单元均包括至少一个永磁体和至少四个功能传感元件，所述永磁体设于所述振动部，所述功能传感元件设于所述固定部，每个所述传感单元内的四个所述功能传感元件连接形成一级全桥结构；四个所述一级全桥结构连接形成二级全桥结构。本发明技术方案能够提高传感器输出信号的精度。
传感器电子设备

[发明专利]集成器件、电子设备及集成器件的制作方法-CN202211013139.0在审
发明人：丁凯文;朱恩成;周汪洋;胡洪;陈磊;张强;王栋杰 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： H01L27/10 文献下载
摘要：本发明提供一种集成器件、电子设备及集成器件的制作方法，集成器件包括衬底，衬底包括相互连接的第一衬底和第二衬底，第一衬底上设置有压力传感器，压力传感器包括第一电极、第一P型重掺杂层和第一P型轻掺杂层，第一P型重掺杂层与第一电极连接，第二衬底上设置有温度传感器，温度传感器包括P型二极管。该集成器件采用P型二极管可以使得温度传感器的制作工艺与压力传感器的制作工艺相兼容，能够在压力传感器的制作工艺台制备温度传感器，制作P型二极管时实现工艺兼容，具有制作工艺简单、制造成本低的优点；并且相较于普通的半导体电阻，具有更高的灵敏度。
集成器件电子设备制作方法

[发明专利]MEMS传感器及电子设备-CN202110227554.5有效
发明人： 周汪洋;邹泉波;冷群文;安琪;赵海轮;丁凯文;周良 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明公开一种MEMS传感器及电子设备，其中，MEMS传感器包括：振膜层，振膜层包括固定部以及可相对固定部振动的敏感部；检测件，检测件包括依次连接的第一磁阻单元和第二磁阻单元，第一磁阻单元的长轴方向和第二磁阻单元的长轴方向呈夹角设置，且夹角小于180°；导线，导线的延伸方向与第一磁阻单元和第二磁阻单元的排列方向平行；检测件和导线分别固定在固定部和敏感部上，第一磁阻单元的参考层的磁化方向垂直于第一磁阻单元的长轴方向且朝向导线，第二磁阻单元的参考层的磁化方向垂直于第二磁阻单元的长轴方向且背向导线。本发明技术方案能够降低生产成本和电路设计复杂性，易于实施制作，并可提高检测灵敏度。
mems 传感器电子设备

[发明专利]压力传感器的制作方法、压力传感器及电子设备-CN202211013110.2在审
发明人：丁凯文;朱恩成;周汪洋;张强;陈磊 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明提供一种压力传感器的制作方法、压力传感器及电子设备，压力传感器的制作方法包括以下步骤：在第一图形层的第一区域和第二图形层的第一区域通过离子注入在衬底上形成P型重掺杂层；在第一图形层的第二区域和第二图形层的第二区域通过离子注入在衬底上形成P型轻掺杂层；在第二图形层的对应的缓冲层注入N型重掺杂离子；退火以使得N型重掺杂离子自缓冲层扩散形成第一N型重掺杂层和第二N型重掺杂层，第一N型重掺杂层由N型重掺杂离子扩散至P型轻掺杂层形成，且第一N型重掺杂层不穿透P型轻掺杂层；在缓冲层上设置电极。该压力传感器的制作方法具有制作工艺简单、制造成本低的优点。
压力传感器制作方法电子设备

[发明专利]微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备-CN202010587755.1有效
发明人：邹泉波;冷群文;丁凯文;赵海伦;安琪;周汪洋 -专利权人：歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： G01H11/04 文献下载
摘要：本说明书实施例提供微机电系统绝对压力传感器、传感器单体及电子设备。微机电系统绝对压力传感器包括：衬底；振膜；位于振膜和衬底之间的支撑体；磁阻元件；以及磁场形成元件，用于对磁阻元件施加磁场，其中，所述衬底、振膜和支撑体形成真空腔，其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的一个元件位于所述振膜上并能够随所述振膜振动，其中，所述磁阻元件和磁场形成元件中的另一个元件位于所述支撑体侧并且相对于所述振膜的振动保持相对静止，以及其中，微机电系统绝对压力传感器的输出是基于所述磁阻元件的变化产生的。
微机系统绝对压力传感器传感器单体电子设备

[发明专利]传感器、电子设备和检测装置-CN202111681383.X在审
发明人：赵海轮;冷群文;丁凯文;邹泉波;周汪洋 -专利权人：歌尔微电子股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01R19/00 文献下载
摘要：本发明公开一种传感器、电子设备和检测装置，其中，所述传感器包括传感单元和调节单元，所述传感单元包括多个磁阻模块，其中至少两个所述磁阻模块连接形成半桥电路，各所述磁阻模块的磁化方向平行于各所述磁阻模块所在的平面，所述调节单元产生调节磁场，至少两个所述磁阻模块的其中之一处于所述调节磁场，本发明提供的技术方案中，通过将需要调节的磁阻模块处设置与该磁阻模块的钉扎层的磁化方向反向的调节磁场，以使得处于所述调节磁场的所述磁阻模块的工作点处于零点。
传感器电子设备检测装置

[发明专利]磁传感器的制备方法-CN202011222661.0有效
发明人：赵海轮;冷群文;邹泉波;安琪;周汪洋;丁凯文;周良 -专利权人：歌尔微电子有限公司
申请日： 2020-11-05 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： H01L43/12 文献下载
摘要：本发明公开一种磁传感器的制备方法，包括以下步骤：提供半导体衬底，在所述半导体衬底表面形成第一绝缘层，在所述第一绝缘层上形成磁阻复合层，采用光刻技术在所述磁阻复合层表面形成沉积槽，并在所述沉积槽内形成薄膜电极；在所述磁阻复合层以及所述薄膜电极的表面形成第二绝缘层，采用光刻技术去除所述工艺磁阻复合层对应的所述第二绝缘层，以使得所述工艺磁阻复合层表面显露；以所述有效磁阻复合层对应的第二绝缘层为硬质掩膜，刻蚀所述工艺磁阻复合层；采用光刻技术去除部分所述硬质掩膜，以使得所述薄膜电极的表面至少部分显露，提高了所述有效磁阻复合层成型精度，进而提高了产品质量，具有较好的效果。
传感器制备方法

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