专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种固晶设备、上料设备及倾斜导向式框架存料装置-CN202222152012.9有效
  • 吴兴防;马骋 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-08-16 - 2023-03-21 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种固晶设备、上料设备及倾斜导向式框架存料装置,倾斜导向式框架存料装置包括框架升降装置、倾斜限位装置及框架支撑装置;倾斜限位装置配置有框架容置槽,框架容置槽的槽长方向倾斜设置;框架支撑装置沿槽长方向与框架容置槽滑动连接,且框架支撑装置与框架升降装置的升降端连接;上述设置使得框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上,到最下方的框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大,即叠设的多个框架单元整体呈倾斜状,且多个框架单元的重心沿槽长方向分布,避免了多个重心沿竖直方向分布时,重心作用于间隙导致出现倾倒的情况,进而使得叠设的框架单元不容易发生倾倒,解决了多个框架单元叠设时容易倾倒的问题。
  • 一种设备倾斜导向框架装置
  • [发明专利]基于吸塑料盘的料仓平台系统-CN201710470614.X有效
  • 吴兴防;范振东;潘健;刘云海;李帅;张效治;王伟 - 歌尔股份有限公司
  • 2017-06-20 - 2023-01-10 - B65G47/74
  • 本发明公开了一种基于吸塑料盘的料仓平台系统,它包括开设有贯通孔的底板,在底板的一侧设置有仓储单元,另一侧设置有操作单元,并且在仓储单元与操作单元之间设置有料盘输送单元;仓储单元包括上料仓模组与下料仓模组,上料仓模组位于底板的上方,下料仓模组位于底板的下方,并且上料仓模组与下料仓模组通过底板上的底板贯通孔上下连通,实现了吸塑料盘在系统的同一侧完成上料、下料操作,方便操作人员对吸塑料盘的取放。上料料盘分离装置能够将上料仓模组中的吸塑料盘依次自动分离,并通过输送单元输送至操作单元进行操作,操作完成之后,再将吸塑料盘送至下料仓模组进行收纳,这种结构降低了操作人员的劳动强度,提高了操作人员的工作效率。
  • 基于塑料平台系统
  • [实用新型]一种用于固晶机的升降装置-CN202222363592.6有效
  • 马骋;吴兴防 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-09-06 - 2022-12-09 - H01L21/687
  • 本实用新型公开了一种用于固晶机的升降装置,用于解决现有技术中采用多套电机操控升降使设备利用率低、结构复杂、操作繁琐的技术问题。本实用新型包括驱动轴,驱动轴的两端分别固定连接有一第一凸轮;第一凸轮在其顶部一侧抵接有第一凸轮随动器,第一凸轮随动器连接有第一升降组件;两第一升降组件之间安装有升降轴,升降轴上间隔设置有若干拨料组件;驱动轴上还套设有第二凸轮;第二凸轮在其顶部一侧抵接有第二凸轮随动器,第二凸轮随动器连接有压紧组件。上述设计使用驱动轴同步驱动拨料组件和压紧组件做升降运动,提高了固晶机设备的利用率和半导体芯片的生产效率。
  • 一种用于固晶机升降装置
  • [实用新型]一种蓝膜定位装置-CN202222364540.0有效
  • 马骋;吴兴防 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-09-06 - 2022-12-09 - H01L21/677
  • 本实用新型公开了一种蓝膜定位装置,用于解决现有技术中对蓝膜进行定位调节操作繁琐,定位装置结构较为复杂的技术问题。本实用新型包括Y向定位模块,Y向定位模块设有Y向丝杠,Y向丝杠上设有第一连接座,第一连接座能沿Y向丝杠在设定的Y向上运动,第一连接座上连接有X向定位模块;X向定位模块包括X向丝杠,X向丝杠上设有第二连接座,第二连接座能沿X向丝杠在设定的X向上运动,第二连接座上连接有旋转定位模块;旋转定位模块设有旋转环,旋转环的顶部设有若干能受驱在设定的Z向上运动的升降芯轴,升降芯轴的顶端连接有压紧模块。本实用新型通过简单的结构实现对蓝膜的多方位调节,操作简单、使用方便。
  • 一种定位装置
  • [实用新型]一种双框架上料装置及固晶设备-CN202222163633.7有效
  • 马骋;吴兴防 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-08-16 - 2022-12-09 - B65G35/00
  • 本申请公开了一种双框架上料装置及固晶设备,双框架上料装置包括框架输送装置和上料设备;上料设备用于将两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上。其既可以通过上料设备同时一次性地将两个框架单元送入固晶设备中的下一装置,以提高UPH,又可以通过上料设备校正两个框架单元的相对位置,使得两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上,使得两个PAD部的距离减少,便于后续设备对两个框架单元进行加热时,热量不易逸散,可控性强,从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性,在不需要额外调节框架单元位置的前提下,即不影响生产效率的前提下,使得生产稳定性得到提高。综上,本申请具备生产效率高且生产稳定性高的优点。
  • 一种框架装置设备
  • [发明专利]一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法-CN202210983023.3在审
  • 吴兴防;马骋 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-08-16 - 2022-11-29 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种固晶设备、倾斜导向式框架存料装置及上料方法,倾斜导向式框架存料装置包括框架升降装置、倾斜限位装置及框架支撑装置;倾斜限位装置配置有框架容置槽,框架容置槽的槽长方向倾斜设置;框架支撑装置沿槽长方向与框架容置槽的滑动连接,且框架支撑装置与框架升降装置的升降端连接;上述设置使得框架容置槽内的各框架单元的重心从下往上,到最下方的框架单元的悬空部的水平距离逐渐增大,即叠设的多个框架单元整体呈倾斜状,且多个框架单元的重心沿槽长方向分布,避免了多个重心沿竖直方向分布时,重心作用于间隙导致出现倾倒的情况,进而使得叠设的框架单元不容易发生倾倒,解决了多个框架单元叠设时容易倾倒的问题。
  • 一种设备倾斜导向框架装置方法
  • [发明专利]一种蓝膜定位装置-CN202211084196.8在审
  • 吴兴防;马骋 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-09-06 - 2022-11-04 - H01L21/677
  • 本发明公开了一种蓝膜定位装置,用于解决现有技术中对蓝膜进行定位调节操作繁琐,定位装置结构较为复杂的技术问题。本发明包括Y向定位模块,Y向定位模块设有Y向丝杠,Y向丝杠上设有第一连接座,第一连接座能沿Y向丝杠在设定的Y向上运动,第一连接座上连接有X向定位模块;X向定位模块包括X向丝杠,X向丝杠上设有第二连接座,第二连接座能沿X向丝杠在设定的X向上运动,第二连接座上连接有旋转定位模块;旋转定位模块设有旋转环,旋转环的顶部设有若干能受驱在设定的Z向上运动的升降芯轴,升降芯轴的顶端连接有压紧模块。本发明通过简单的结构实现对蓝膜的多方位调节,操作简单、使用方便。
  • 一种定位装置
  • [发明专利]一种用于固晶机的升降装置-CN202211084898.6在审
  • 吴兴防;马骋 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-09-06 - 2022-11-04 - H01L21/687
  • 本发明公开了一种用于固晶机的升降装置,用于解决现有技术中采用多套电机操控升降使设备利用率低、结构复杂、操作繁琐的技术问题。本发明包括驱动轴,驱动轴的两端分别固定连接有一第一凸轮;第一凸轮在其顶部一侧抵接有第一凸轮随动器,第一凸轮随动器连接有第一升降组件;两第一升降组件之间安装有升降轴,升降轴上间隔设置有若干拨料组件;驱动轴上还套设有第二凸轮;第二凸轮在其顶部一侧抵接有第二凸轮随动器,第二凸轮随动器连接有压紧组件。上述设计使用驱动轴同步驱动拨料组件和压紧组件做升降运动,提高了固晶机设备的利用率和半导体芯片的生产效率。
  • 一种用于固晶机升降装置
  • [发明专利]一种双框架上料装置及固晶设备-CN202210983062.3在审
  • 马骋;吴兴防 - 山东誉正自动化科技有限公司
  • 2022-08-16 - 2022-11-01 - B65G35/00
  • 本发明公开了一种双框架上料装置及固晶设备,双框架上料装置包括框架输送装置和上料设备;上料设备用于将两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上。其既可以通过上料设备同时一次性地将两个框架单元送入固晶设备中的下一装置,以提高UPH,又可以通过上料设备校正两个框架单元的相对位置,使得两个框架单元以PAD部相互靠近的姿态转移至框架输送装置上,使得两个PAD部的距离减少,便于后续设备对两个框架单元进行加热时,热量不易逸散,可控性强,从而提高晶圆邦定时的稳定稳定性,在不需要额外调节框架单元位置的前提下,即不影响生产效率的前提下,使得生产稳定性得到提高。综上,本申请具备生产效率高且生产稳定性高的优点。
  • 一种框架装置设备

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