专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果12个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]具有校正机制的电容式传感器及电容感测方法-CN201010216887.X无效
  • 叶力垦;陈晓翔 - 汉积科技股份有限公司
  • 2010-06-29 - 2012-01-11 - G01D5/24
  • 本发明揭露一种具有校正机制的电容式传感器及电容感测方法,电容式传感器包含:一组感应电容、减除电路及积分电路。感应电容产生电容变化。减除电路包含:根据感应电容的初始电容误差产生误差调整电荷的第一电容阵列以及根据感应电容的感测灵敏度产生减除电荷的第二电容阵列。积分电路包含二输入端,其中之一连接于感应电容及减除电路。当位于感测周期,积分电路根据电容变化持续进行一积分,且根据误差调整电荷进行误差消除,以产生积分输出信号。当位于计算周期,积分电路根据减除电荷持续减除积分输出信号,以计算减除次数。
  • 具有校正机制电容传感器方法
  • [发明专利]微结构制造方法-CN200910174511.4有效
  • 陈晓翔;叶力垦;刘政谚 - 微智半导体股份有限公司
  • 2009-09-28 - 2011-04-27 - B81C1/00
  • 本发明涉及一种应用于半导体制程的微结构制造方法。此微结构制造方法包括以下步骤。先形成内含有微结构、多个金属电路与金属连接层的绝缘层于硅基底上。其中微结构与金属电路平行并排于绝缘层内,金属连接层则与金属电路电性连接,且金属连接层外露于绝缘层表面。之后,沉积保护层于金属连接层与绝缘层表面,并进行蚀刻以令微结构悬浮。借此避免微结构与金属连接层遭到蚀刻液侵蚀破坏。
  • 微结构制造方法
  • [发明专利]微机电的结构及制造方法-CN200910166465.3有效
  • 邱奕翔;叶力垦;刘政谚;陈晓翔 - 微智半导体股份有限公司
  • 2009-08-19 - 2011-03-30 - B81C1/00
  • 本发明提供一种微机电结构,在基板上具有微结构与蚀刻道。微结构为金属层及导电层相连形成,且以氧化硅包覆在微结构周围,并在氧化硅顶端具有阻挡层。蚀刻道为金属层与氧化层交互堆叠而成,且氧化层两边具有通道。其中,微结构的阻挡层与蚀刻道最上层的金属层非同一平面;借此在利用蚀刻移除蚀刻道的金属层时,不会同时将微结构的金属层移除。本发明还提供一种微机电制造方法,以湿式蚀刻法移除前述蚀刻道中的金属层,再以震荡或蚀刻将蚀刻道中残余的氧化层移除,并利用深反应离子蚀刻及背蚀刻悬浮微结构,以形成蚀刻道壁面平整、无残留的悬浮微机电结构。
  • 微机结构制造方法
  • [发明专利]悬浮微机电结构制造方法-CN200710186418.6有效
  • 李升鸿;陈晓翔;刘政谚;叶力垦 - 微智半导体股份有限公司
  • 2007-11-16 - 2009-05-20 - B81C1/00
  • 本发明公开了一种悬浮微机电结构制造方法,包括以下步骤:首先,在硅基底上表面形成至少一层内部具有金属微机电结构的绝缘层,该微机电结构包含彼此独立的至少一个微结构与至少一个金属牺牲结构,且该金属牺牲结构内具有金属层及连接各金属层的金属插销层;其次,在绝缘层的上表面制作至少一层阻绝层;再次,在硅基底下表面制作至少一层蚀刻阻绝层;第四步,从硅基底下表面进行蚀刻,形成相应微机电结构内悬浮微结构的空间;最后,对金属牺牲结构进行蚀刻,形成微机电结构的悬浮。本发明能有效避免悬浮微机电结构及其周围绝缘层的不当侵蚀,降低悬浮微机电结构曝露率,能与一般集成电路封装整合减少最后封装成本。
  • 悬浮微机结构制造方法
  • [发明专利]微机电系统及其制造方法-CN200710169823.7有效
  • 邱奕翔;叶力垦 - 微智半导体股份有限公司
  • 2007-11-07 - 2009-05-13 - B81B3/00
  • 本发明公开了一种微机电系统及其制造方法,该微机电系统包括一微结构,一电路,以及一沟渠位于该微结构及该电路之间以隔离该微结构及该电路,防止该微结构被释放时产生过度蚀刻造成该电路的特性劣化。该微机电系统的另一技术方案包括一结构区块至少具有一微结构,一电路区块至少具有第一及第二电路,以及一沟渠位于该第一及第二电路之间以隔离该第一及第二电路,避免该第一及第二电路之间的干扰。本发明藉由在基板上形成沟渠,以避免电路之间的干扰以及防止释放微结构时基板的过度蚀刻。
  • 微机系统及其制造方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top