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[发明专利]测试用电磁屏蔽装置及半导体测试设备-CN202310445670.3在审
发明人：裴兵全;党景涛;郭凯程;陈威;赵永进 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G01R1/18 文献下载
摘要：本申请涉及测试设备领域，尤其是涉及一种测试用电磁屏蔽装置及半导体测试设备。测试用电磁屏蔽装置包括电磁屏蔽腔体；所述电磁屏蔽腔体的顶板包括主体板和隔热板，所述主体板的外侧用于安装测试探针；所述隔热板位于所述主体板的内侧，且所述隔热板与所述主体板之间设置有间隙，以在所述间隙处形成层流气体。本申请提供的测试用电磁屏蔽装置，通过在电磁屏蔽腔体内设置隔热板并使其与主体板形成间隙，能够对卡盘处形成的高温空气或低温空气阻隔，降低对流传热，避免电磁屏蔽腔体的顶板受热变形，而影响探针针座调节的准确性和探针动作的重复性。
测试用电屏蔽装置半导体设备

[发明专利]一种半导体设备的温度控制方法及装置-CN202210144042.7有效
发明人：张帅;董晴晴;韩帅;李树彦;崔岳;李玉敏 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-17 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： F24F11/64 文献下载
摘要：本申请提供了一种半导体设备的温度控制方法及装置，其中，该方法包括：获取风机的出风口温度和目标调节温度；获取风机的出风口温度和目标调节温度的中间值，根据中间值调节一级热交换器的初始循环水温度，根据目标调节温度调节二级热交换器的初始循环水温度；获取一级热交换器的出风口温度和二级热交换器的出风口温度；将一级热交换器的出风口温度和二级热交换器的出风口温度与预置温度范围进行比对，根据比对结果调节一级热交换器的循环水温度和二级热交换器的循环水温度。本申请通过设置两个热交换器，解决了无法使得输出的空气温度稳定在特定温度范围内的技术问题，达到使调节后的空气温度更稳定的技术效果。
一种半导体设备温度控制方法装置

[发明专利]调平机构及晶圆传输机械手-CN202311042835.9在审
发明人：黄渤轩;贺威龙;于朋扬;杨树文;王洪宇 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-08-18 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： B25J9/00 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆技术领域，具体而言，涉及一种调平机构及晶圆传输机械手，包括从下至上依次设置的底板、调整板、压板；所述底板与所述调整板通过若干个第一螺钉连接，所述底板上设置有插装所述第一螺钉的第一通孔，所述调整板上设置有用于连接所述第一螺钉的第一螺孔；所述压板与所述调整板通过若干个第二螺钉连接，所述压板上设置用于插装所述第二螺钉的第二通孔，所述调整板上设置有用于连接所述第二螺钉的第二螺孔；所述压板上还贯穿开设三个圆周分布的顶丝安装孔，所述顶丝安装孔内均安装调整顶丝，且所述调整板的上表面分别设置有锥形定心孔、长条定向槽和辅助盲孔。其能够保证晶圆在机械手传输过程中的水平精度。
机构传输机械手

[发明专利]检测装置及半导体装置-CN202310826027.5在审
发明人：崔岳;董晴晴;王超;陈军;李树彦;张帅;刘一鸣;李玉敏 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-07-06 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本申请涉及半导体设备技术领域，尤其涉及一种检测装置及半导体装置。检测装置包括柜体和设置于柜体的多个负压流量传感器、多个负压压力传感器、多个正压流量传感器和多个正压压力传感器，外部负压支路能够接入对应的负压流量传感器和对应的负压压力传感器，外部正压支路能够接入对应的正压流量传感器和对应的正压压力传感器，负压流量传感器和负压压力传感器分别获取外部负压支路内的负压气体的负压流量值和负压压力值，正压流量传感器和正压压力传感器分别获取对应的外部负压支路内的正压气体的正压流量值和正压压力值。本申请的检测装置解决了现有的气动检测装置不仅不能同时检测多支路的压力和流量，且气动检测装置不易携带和移动的问题。
检测装置半导体

[发明专利]一种晶圆校正装置的位置校正方法及晶圆校正装置-CN202310783764.1在审
发明人：林晨;艾博;高岳;宗俊吉;张凯 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-10-10 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请提供了一种晶圆校正装置的位置校正方法及晶圆校正装置，该装置包括：移动机构、旋转机构和拍摄机构，旋转机构上方用于放置晶圆，通过旋转带动晶圆转动；移动机构与旋转机构连接，以通过移动机构的移动带动旋转机构移动；拍摄机构用于拍摄放置在旋转机构上的晶圆；其中，晶圆上设置有第一标记和第二标记，位置校正方法包括：在第一标记位于拍摄机构的视场区域中的预设位置时，控制移动机构移动，直至第二标记在拍摄机构的视场区域中；确定移动机构的移动距离、预设位置在视场区域对应的目标坐标系中的第一坐标以及第二标记在目标坐标系中的第二坐标；依据移动距离、第一坐标和第二坐标，确定旋转机构的旋转角度，以完成对晶圆的位置校正。
一种校正装置位置方法

[发明专利]版库装置、版库系统及姿态调整方法-CN202210127135.9有效
发明人：赵东雷;关宏武;王浩楠;林继柱;刘颖 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-11 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请涉及版库存储技术领域，尤其是涉及一种版库装置、版库系统及姿态调整方法，版库装置包括Y向调整构件、RxRy调整构件、Rz调整构件、RxRy调节组件、Rz调节组件、X向调节组件及版盒，Y向调整构件、RxRy调整构件及Rz调整构件从下向上顺次设置；Y向调整构件与Rz调整构件通过RxRy调节组件相连，用于调节及锁定Y向调整构件及Rz调整构件的Rx和Ry；Rz调整构件与RxRy调整构件及Y向调整构件均通过Rz调节组件相连，用于调节及锁定Rz调整构件的Rz；Rz调整构件与版盒通过X向调节组件相连，用于调节及锁紧版盒的X向位置。可见，本装置可调节的自由度多、适应性好，调整过程简单、省力、精度高。
装置系统姿态调整方法

[发明专利]自动调焦集成系统-CN202210171245.5有效
发明人：王东海;武震;李星辰;高爱梅 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-24 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G02B7/00 文献下载
摘要：本申请涉及成像光路设计技术领域，尤其是涉及一种自动调焦集成系统，用于调节物镜的基准光轴，自动调焦集成系统包括基准调节装置、基准装置及物镜姿态调节装置，物镜设置于物镜姿态调节装置上；基准装置设置于基准调节装置与物镜之间；基准调节装置用于根据定心仪的光轴调节基准装置，以确定用于调节物镜的姿态的基准光轴；物镜姿态调节装置用于调节物镜的光轴与基准光轴重合。可见，本自动调焦集成系统属于一种新的自动调焦集成方案，集成度高，能够轻松完成调焦的工作。
自动调焦集成系统

[发明专利]一种潜望式集成光路的装调方法-CN202210186417.6有效
发明人：李星辰;武震;郭春华;王东海 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G02B27/62 文献下载
摘要：本申请提供了一种潜望式集成光路的装调方法，通过对中心偏差测量仪的载物台进行校准，以将中心偏差测量仪对应的第一光轴的方向调整至第一预设方向；放置标准反射镜在中心偏差测量仪的预设位置上，通过校准后的中心偏差测量仪调整标准反射镜，以使标准反射镜将第一预设方向的入射光线反射至与第一预设方向垂直的第二预设方向；放置平面反射镜在标准反射镜的一侧，调整平面反射镜，以使平面反射镜将标准反射镜沿第二预设方向反射出的光线，沿第一预设方向反射至中心偏差测量仪的载物台上，以实现对潜望式集成光路中所有光学器件的安装角度的装调。
一种潜望式集成方法

[发明专利]气浮刚度加载装置、气浮刚度测试设备及气浮刚度测试方法-CN202210116720.9有效
发明人：李建辉;田世伟;李志龙;宋婉贞;赵宝君 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-02-07 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G01N3/12 文献下载
摘要：本申请涉及气浮性能测试装置技术领域，具体而言，涉及一种气浮刚度加载装置、气浮刚度测试设备及气浮刚度测试方法，在第一方向上所述第一加载座安装于所述第一加载杆的中部，在所述第一方向上所述第一加载杆的两端均安装有所述加载组件，所述第一加载杆与所述第一加载座枢接，以使所述加载组件能够在第二方向上相对所述第一加载座移动，所述第一方向为所述第一加载杆的长度方向上，所述第一加载座、第一加载杆和所述加载组件在第二方向上依次排列，所述第二方向垂直于所述第一方向。本申请的目的在于针对现有气浮的刚度测试加载方式无法解决加载设备的出力端的偏置问题，提供一种气浮刚度加载装置、气浮刚度测试设备及气浮刚度测试方法。
刚度加载装置测试设备方法

[发明专利]承载器抓手及晶圆转运装置-CN202210556138.4有效
发明人：赵祥;赵玉民;张文斌;焦宇辉;张彩山 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本申请涉及半导体专用设备制造技术领域，尤其是涉及一种承载器抓手及晶圆转运装置。该承载器抓手包括夹持机构和提升机构；夹持机构包括夹持驱动组件和夹持组件，夹持组件形成有夹持空间，夹持驱动组件与夹持组件相连接，夹持驱动组件能够驱动夹持组件将固定承载组件在夹持空间内松开或夹紧；提升机构包括提升驱动组件和提升组件，提升驱动组件能够驱动提升组件相对于夹持组件升降，以将活动承载组件相对于固定承载组件提拉或者释放。该晶圆转运装置包括该承载器抓手。该承载器抓手和该晶圆转运装置，能够完成承载器的自动抓取和释放，且能够对活动承载组件进行自动提升和释放，避免半导体发生剐蹭，且能够节约人力，提高半导体的搬运效率。
承载抓手转运装置

[发明专利]照明系统及物镜离线检测装置-CN202210375542.1有效
发明人：张利云;孙明睿;高爱梅 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2022-04-11 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G02B27/09 文献下载
摘要：本申请涉及光学物镜检测技术领域，尤其是涉及一种照明系统及物镜离线检测装置。照明系统包括沿光轴顺序设置的光源、聚光镜组、匀光器、针孔光阑、成像镜组和掩模板。光源用于提供照明光束，聚光镜组用于收集光源发出的照明光束，且经过聚光镜组，照明光束能够被转换为i线波段的出射光束并汇聚于匀光器的入射端，匀光器出射的照明光束经过针孔光阑和成像镜组后照射于掩模板上，形成大数值孔径、小尺寸光斑，且形成的光斑质量好，以满足物镜离线检测的高要求的照明需求。
照明系统物镜离线检测装置

[发明专利]晶圆微动装置及自动化加工生产线-CN202310731085.X在审
发明人：张伟;王洪宇;李思;杨树文 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-06-20 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请涉及半导体加工设备技术领域，尤其是涉及一种晶圆微动装置及自动化加工生产线，晶圆微动装置包括承托部、滑动组件，第一偏心轴、第二偏心轴、第一驱动部和第二驱动部，承托部与滑动组件连接，第一偏心轴与第二偏心轴均沿第一方向延伸；滑动组件包括第一施力面和第二施力面，第一偏心轴的侧面与第一施力面抵接，第二偏心轴的侧面与第二施力面抵接第一施力面与第二施力面两者交叉。根据本申请提供的晶圆微动装置及自动化加工生产线，有效地压缩了晶圆微动装置占用的空间，进而使得晶圆微动装置能够适应结构紧凑、空间紧张的自动化加工生产线，提高了晶圆微动装置的灵活适应性。
微动装置自动化加工生产线

[发明专利]一种半导体测试用的工件台-CN202310456710.4在审
发明人：赵永进;薛书亮;裴兵全;潘峰;艾博 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-04-25 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B25H1/00 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体测试用的工件台，半导体测试用的工件台的结构包括基座；工件台主体，安装于基座的顶部，工件台主体包括：伸出轴，其顶部用于安装载物台；内支撑座，套设于伸出轴，内支撑座与伸出轴活动连接；及外支撑座，套设于内支撑座，外支撑座与内支撑座活动连接，外支撑座安装于基座；竖直驱动部，与伸出轴相连接，用于驱动伸出轴沿竖直方向运动；旋转驱动部，与内支撑座相连接，用于驱动内支撑座旋转；以及连接部，与伸出轴和内支撑座相连接。该半导体测试用的工件台能够解决现有半导体测试用的工件台结构复杂的问题。
一种半导体测试工件

[发明专利]一种光学设备中的遮光机构的遮光控制系统、方法及设备-CN202310912027.7在审
发明人：吕妍淼;陈国兴 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-07-24 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： G05D3/12 文献下载
摘要：本申请提供了一种光学设备中的遮光机构的遮光控制系统、方法及设备，其中，所述遮光机构包括多个遮光柱，每个遮光柱由一个电机控制，该系统包括：轨迹规模块、位置确定模块和电机控制模块，所述轨迹规划模块，用于针对每个遮光柱，根据该遮光柱的当前位置和该遮光柱的目标位置，确定该遮光柱的至少一个运动路径；所述位置确定模块，用于针对每个遮光柱，检测该遮光柱每移动一个运动路径后的中间位置；所述电机控制模块，用于针对每个遮光柱，根据该遮光柱的至少一个运动路径和该遮光柱每移动一个运动路径后的中间位置，控制该遮光柱运动。达到避免代码量的浪费，减少的算法的计算时间，精确地对遮光机构的位置进行控制的效果。
一种光学设备中的遮光机构控制系统方法

[发明专利]抗干扰定位装置-CN202310752635.6在审
发明人：潘峰;赵永进;杨晓静;薛书亮;陈威 -专利权人： 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所）
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本申请涉及半导体制造设备技术领域，尤其是涉及一种抗干扰定位装置。该抗干扰定位装置包括抗干扰器、定位机构和非接触连接组件；抗干扰器的内部具有容纳空间；非接触连接组件包括间隔设置的第一连接件和第二连接件，第一连接件与抗干扰器连接，第二连接件与定位机构连接，第一连接件能够向第二连接件提供悬浮力并根据干扰情况调整悬浮力，以使定位机构悬浮于并保持在容纳空间内的预定位置。该抗干扰定位装置，由于定位机构与抗干扰器以非接触方式连接，所以定位机构不会随之发生振动，确保定位机构能够保持稳定，从而实现对于工件的高精度定位。
抗干扰定位装置

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