专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果96个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备-CN202310919922.1在审
  • 杜传正;郑文宁;邹义涛 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2023-07-25 - 2023-10-24 - G05D16/20
  • 本发明提供一种阀控制方法、压力控制方法和装置、半导体加工设备以及计算机可读存储介质,该方法中,在自学习模式运行的情况下,进入探测状态,控制压力调节阀的运动部件自第一极限位置移动至第二极限位置,并控制运动部件分步移动,且获取和存储第一极限位置和第二极限位置对应的腔室压力、每个第一记录点对应的运动部件位置和腔室压力;进入记录状态,将实际压力范围与学习压力范围进行对比,获取范围较小的一者的两个端值;获取范围较小的一者的两个端值分别对应的第一端值位置和第二端值位置;控制运动部件分步移动,且获取和存储每个第二记录点对应的运动部件位置和腔室压力。本方案既可以提高压力控制精度,又不需要过多的压力采集数量。
  • 控制方法压力装置半导体加工设备
  • [发明专利]压力控制方法、压力控制装置及半导体工艺设备-CN202110505268.0有效
  • 郑文宁;赵迪;王蒙 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2021-05-10 - 2023-09-05 - G05D16/20
  • 本发明提供一种半导体工艺设备的压力控制方法,包括:在半导体工艺设备中的气体流通系统发生变化后,确定变化后的气体流通系统的惯性特征值;根据预设的对应关系确定变化后的气体流通系统的惯性特征值对应的修正系数;采用修正系数对预设的压力控制算法进行修正。本发明提供的控制方法能够在气体流通系统发生变化后,确定新的惯性特征值对应的修正系数,采用该修正系数对压力控制算法进行修正,从而使压力控制算法适应气体流通系统改变后的惯性特征值,提高了半导体工艺的工艺效果,并提高了压力调节效率。本发明还提供一种压力控制装置和一种半导体工艺设备。
  • 压力控制方法装置半导体工艺设备
  • [发明专利]质量流量控制器检测系统-CN202011494805.8有效
  • 王海亮;张海洋;李凌峰 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2020-12-17 - 2023-09-05 - G05D7/06
  • 本申请实施例提供了一种质量流量控制器检测系统。该检测系统包括:安装板、传输组件、安装组件及检漏组件;传输组件设置在安装板上,用于承载多个质量流量控制器,并带动多个质量流量控制器沿第一方向移动,使多个质量流量控制器依次停留在预设位置;安装组件设置在安装板上,且位于预设位置两侧,检漏组件的输出端及输入端分别设置于预设位置两侧的安装组件上;安装组件用于将输出端及输入端分别连接至质量流量控制器的两端,以及从质量流量控制器的两端拆卸输出端及输入端,检漏组件用于对质量流量控制器进行检漏。本申请实施例实现了质量流量控制器的自动检漏,不仅节省人工成本,而且提高了质量流量控制器的标定精度及效率。
  • 质量流量控制器检测系统
  • [实用新型]压力测量装置及压力传感器-CN202320596631.9有效
  • 李召兴;牟昌华;赵迪;胡蕾;随辰;王圻;栗晓;张锋;杨庆利;彭振;邓博文 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2023-03-23 - 2023-09-05 - G01L1/14
  • 本实用新型提供一种压力测量装置及压力传感器,该装置中,电容结构包括相对设置于容腔中的定电极和动电极,动电极相邻于开口,且能够感受到外界压力并产生形变,以改变动电极与定电极构成的电容;电感结构,包括电感线圈和磁芯,电感线圈与定电极绝缘连接;磁芯与动电极固定连接,且位于电感线圈所在圆周内侧,磁芯能够在动电极形变时与电感线圈产生相对位移,以改变电感线圈的电感;电感线圈、动电极与定电极用于与计算电压的处理器电连接,且被设置为使电感与电容并联。本实用新型不仅可以提高线性度和精度,而且还可以减少受外部干扰的影响,从而可以提高信号稳定性。
  • 压力测量装置压力传感器
  • [实用新型]背压阀-CN202320887277.5有效
  • 闫昭臣;何漫丽 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2023-04-19 - 2023-09-05 - F16K31/06
  • 本实用新型提供一种背压阀,包括阀座组件、阀芯组件和阀体组件,阀座组件中开设有入流通路、出流通路以及控流槽,出流通路与控流槽的连接处形成有阀口;阀体组件安装于控流槽中且外部套有线圈;阀芯组件设置于阀体组件的内部,包括阀芯、第一弹性件、第二弹性件和衔铁,阀芯通过第一弹性件与衔铁连接,阀芯能够在第一弹性件的弹性力的作用下封闭阀口,衔铁通过第二弹性件活动设置在阀体组件的内部,线圈用于通过磁场驱动衔铁克服第二弹性件的弹性力沿远离阀口的方向运动,以改变阀芯封闭阀口时第一弹性件的形变量,第二弹性件的刚度大于第一弹性件的刚度。本实用新型通过调节线圈电流的方式改变背压值,提高了背压值调节效率及响应速度。
  • 背压阀
  • [发明专利]流体压力传感器、流体压力检测装置及其校准方法-CN202310449707.X在审
  • 赵寒阳;牟昌华;李承锦;武旭东 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2023-04-24 - 2023-08-25 - G01L9/12
  • 本发明提供一种流体压力传感器,包括:固定电容模块、感测电容模块和信号处理模块,感测电容模块包括动电极部和定电极部,动电极部背离定电极部的一侧用于与待测流体接触,且动电极部能够在待测流体的压力作用下发生形变,以改变感测电容模块的电容值,固定电容模块的电容值与感测电容模块的初始电容值一致,信号处理模块用于确定感测电容模块的电容值与固定电容模块的电容值之间的电容差值,电容差值用于生成表征待测流体压力大小的压力检测信号。在本发明中,固定电容模块的电容值可作为感测电容模块的零点基准,对压力检测信号进行补偿,提高压力检测精度。本发明还提供一种流体压力检测装置及其校准方法。
  • 流体压力传感器压力检测装置及其校准方法
  • [发明专利]压力传感器-CN202310398113.0在审
  • 张锋;牟昌华;赵迪;胡蕾;随辰;王圻;栗晓;李召兴;杨庆利;彭振;邓博文;阮向娟 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2023-04-13 - 2023-07-04 - G01L9/00
  • 本发明提供一种压力传感器,包括第一固定座、第二固定座、导电薄膜和固定电极,包括:第一固定座、第二固定座、导电薄膜和固定电极;固定电极设置在第一固定座中;导电薄膜夹持固定于第一固定座与第二固定座之间,且与固定电极相对设置;第一固定座和第二固定座的与导电薄膜接触的端面中的一者上形成有凸起部,另一者上形成有凹陷部,凸起部和凹陷部相配合以张紧导电薄膜;或者还包括压紧部,第一固定座和第二固定座的与导电薄膜接触的端面中的至少一个上形成有容纳压紧部的容纳凹陷部,压紧部和容纳凹陷部相配合以张紧导电薄膜。本发明通过第一固定座端面与第二固定座端面之间的结构将导电薄膜拉伸平整,提高了压力传感器的检测精度及稳定性。
  • 压力传感器
  • [发明专利]压力控制装置和半导体工艺设备-CN202310315772.3在审
  • 郑文宁;赵迪;张梦华;肖志刚 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2023-03-28 - 2023-06-30 - H01L21/67
  • 本发明提供一种压力控制装置,包括控流组件、套筒、反冲组件、入流通道和出流通道,控流组件包括活塞、弹性件和控制件,套筒的底部开口与入流通道的出流口连通,套筒的侧壁上形成有将套筒的内部与出流通道连通的连通孔,控制件通过弹性件与活塞连接,用于通过弹性件驱动活塞在套筒中运动;套筒的侧壁上还开设有多个贯穿孔,反冲组件包括第一进气管路,第一进气管路与多个贯穿孔连通,用于向活塞与套筒的内壁之间通入第一预设压力保护气体。本发明提供的压力控制装置能够在实现稳定控制工艺腔室压力的同时延长压力控制装置的使用寿命。本发明还提供一种半导体工艺设备。
  • 压力控制装置半导体工艺设备
  • [发明专利]电压信号输出模块及检测电源-CN202110256254.X有效
  • 叶建 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2021-03-09 - 2023-05-23 - G05D7/06
  • 本发明提供一种电压信号输出模块。电压信号输出模块包括第一Sallen‑Key滤波器、第二Sallen‑Key滤波器、正电源稳压模块、负电源稳压模块和外接电平稳压模块,传感器的脉冲宽度调制PWM信号输出端与第一Sallen‑Key滤波器的输入端电连接,第二Sallen‑Key滤波器的输入端与第一Sallen‑Key滤波器的输出端电连接,正电源稳压模块用于向两个Sallen‑Key滤波器提供经过噪声过滤的正工作电压,负电源稳压模块用于向两个Sallen‑Key滤波器提供经过噪声过滤的负工作电压,外接电平稳压模块用于向第二Sallen‑Key滤波器提供经过噪声过滤的外接工作电压。本发明提供的滤波模块通过包括两个Sallen‑Key滤波器组成的四阶Bessel有源滤波器,能够有效控制噪声等信号干扰问题,使处理后的传感器信号噪声更小。本发明还提供一种检测电源。
  • 电压信号输出模块检测电源
  • [发明专利]气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法-CN202110579201.1有效
  • 何漫丽;牟昌华;苏乾益 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2021-05-26 - 2023-05-23 - G01F1/86
  • 本发明实施例提供的气体质量流量控制器和气体质量流量控制方法,其流量传感器用于实时检测气体通道中的气体流量值;流量调节阀用于调节气体通道中的气体流量;压力传感器用于实时检测气体通道中指定位置处的气体压力值;温度传感器用于实时检测在气体通道的入口处的气体温度值;控制单元用于根据气体压力值、气体温度值和设定流量值,以及预先存储的气体流量与驱动参数在不同的气体压力和气体温度下的对应关系,获得驱动参数的输出值,并将输出值输出至流量调节阀,以控制流量调节阀开启与输出值对应的阀门开度。本发明实施例提供的气体质量流量控制器,可以实现气体流量控制的快速响应,并实现气体流量快速达到稳定。
  • 气体质量流量控制器控制方法
  • [实用新型]气体扩散器及半导体工艺设备-CN202222217925.4有效
  • 杨宗林;徐晓钟;宋志辉 - 北京七星华创流量计有限公司
  • 2022-08-23 - 2023-05-16 - C23C16/455
  • 本实用新型提供一种气体扩散器及半导体工艺设备,气体扩散器包括:法兰盘,在法兰盘中设置有第一进气通道,第一进气通道的出气端与工艺腔室的进气口连通;连接结构,其与法兰盘固定连接,连接结构用于与气源进气管路配合连接;并且,在连接结构中设置有第二进气通道,第二进气通道的出气端与第一进气通道的进气端连通,第二进气通道的进气端用于通过进气管路与气源连通;以及气体逆止组件,设置在第二进气通道中,用于只允许自第二进气通道的进气端向出气端的进气方向流动的气体通过。本实用新型提供的气体扩散器可以有效地防止进入到扩散器内的气体逆流,避免对气源造成污染。
  • 气体扩散器半导体工艺设备

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top