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[发明专利]电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作-CN202310708011.4在审
发明人： 保罗·B·路透 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统可包括具有受控环境的工厂接口。电子装置制造系统也可包括耦接到工厂接口的装载端口。装载端口可被配置为在其上接收基板载体，且可包括净化设备和控制器。控制器可被配置为操作装载端口，使得定位在基板载体门与装载端口周围和之间的任何空气至少部分地或完全地被净化掉，因此减少或防止在由装载端口开启基板载体门之后污染受控的环境。也提供了操作工厂接口装载端口的方法以及其他的方面。
电子装置制造设备系统方法中的装载端口操作

[发明专利]在半导体设备和洁净室中测量化学气体污染物的可携式盘-CN202180041123.8有效
发明人：德文德拉·钱纳帕·霍利安纳瓦尔;迪安·C·赫鲁泽克;阿伦库马尔·拉马查德拉亚;杰弗里·C·赫金斯;希瓦拉吉·曼朱纳特·纳拉;保罗·B·路透 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：一种检测器盘包括盘主体，盘主体具有底盘和顶盖，顶盖包括第一孔。传感器设置在盘主体内部并定位成经由顶盖中的第一孔而暴露于外部环境。固态传感器适于检测化学气体污染物的水平并基于化学气体污染物的检测的水平输出检测信号。微控制器设置在PCB上并适于由检测信号中包含的化学气体污染物的检测的水平产生测量数据。无线通信电路设置在PCB上，无线通信电路适于将测量数据无线传输到无线接入点装置。
半导体设备洁净室测量化学气体污染物可携式盘

[发明专利]制造电子装置的装载端口设备、系统及方法-CN202310555513.8在审
发明人：大卫·T·布拉尼克;保罗·B·路透;卢克·W·博纳克特;道格拉斯·B·鲍姆加滕 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统，包括具有装载端口的工厂接口。装载端口可包括面板及载体门开启器，该面板在其中具有开口，且该载体门开启器在门关闭的时候密封该开口。载体门开启器可具有沿着门的外部部分的槽。该槽可具有三角形棱镜锥台平截头椎体的横截面形状。中空O形环可安置在槽中，并经构造以在载体门开启器靠向面板关闭时面板接合。还提供组装用于电子装置制造系统的工厂接口的方法，以及其他方面。
制造电子装置装载端口设备系统方法

[发明专利]用于改进的装载端口背板的系统、装置及方法-CN201780069199.5有效
发明人： 保罗·B·路透;道格拉斯·B·鲍姆加滕 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：实施方式提供了用于改进的装载端口的系统、装置及方法，改进的装载端口包括背板组件，所述背板组件支撑对接拖盘及基板载具开启器，其中所述背板组件包括：背板；校平块，能耦接至设备前端模块(EFEM)；锥形孔调整组件，耦接在校平块与背板之间；以及狭缝孔调整组件，耦接在校平块与背板之间。锥形孔调整组件包括：锥形孔块，在第一端处耦接至校平块；螺纹块，耦接至背板；以及调整螺栓，耦接至锥形孔块及螺纹块。亦揭示了许多额外方面。
用于改进装载端口背板系统装置方法

[发明专利]电子装置制造设备、系统和方法中的装载端口操作-CN201880017003.2有效
发明人： 保罗·B·路透 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-01-31 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统可包括具有受控环境的工厂接口。电子装置制造系统也可包括耦接到工厂接口的装载端口。装载端口可被配置为在其上接收基板载体，且可包括净化设备和控制器。控制器可被配置为操作装载端口，使得定位在基板载体门与装载端口周围和之间的任何空气至少部分地或完全地被净化掉，因此减少或防止在由装载端口开启基板载体门之后污染受控的环境。也提供了操作工厂接口装载端口的方法以及其他的方面。
电子装置制造设备系统方法中的装载端口操作

[发明专利]用于改良型装载端口的系统、装置和方法-CN201780068407.X有效
发明人：卢克·W·博纳克特;大卫·T·布拉尼克;保罗·B·路透 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：实施方式提供用于改良的装载端口的系统、装置、及方法，包含：一框架，该框架支撑一坞部及一载体开启器；一升降机，该升降机是可操作的以升高及降低该载体开启器；一隔离室，该升降机是可操作的以在该隔离室内移动，该隔离室包含一容积，该容积与一设施前端模块(EFEM)的一容积隔离；及位于该隔离室内的一净化供应，该净化供应是可操作的以净化该隔离室的反应性气体，该反应性气体受困于该隔离室内。公开了众多额外方面。
用于改良装载端口系统装置方法

[发明专利]制造电子装置的装载端口设备、系统及方法-CN201780068417.3有效
发明人：大卫·T·布拉尼克;保罗·B·路透;卢克·W·博纳克特;道格拉斯·B·鲍姆加滕 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-11-09 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统，包括具有装载端口的工厂接口。装载端口可包括面板及载体门开启器，该面板在其中具有开口，且该载体门开启器在门关闭的时候密封该开口。载体门开启器可具有沿着门的外部部分的槽。该槽可具有三角形棱镜锥台平截头椎体的横截面形状。中空O形环可安置在槽中，并经构造以在载体门开启器靠向面板关闭时面板接合。还提供组装用于电子装置制造系统的工厂接口的方法，以及其他方面。
制造电子装置装载端口设备系统方法

[发明专利]用于将装载锁定件整合到工厂接口占地面积空间中的系统和方法-CN202180051269.0在审
发明人：雅各布·纽曼;安德鲁•J•康斯坦特;迈克尔·R·赖斯;保罗·B·路透;谢伊•阿萨夫;苏斯汉特•S•科希特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B25J9/16 文献下载
摘要：本公开内容描述了用于将装载锁定件整合到工厂接口占地面积空间中的装置、系统和方法。用于电子装置制造系统的工厂接口可包括内部空间、第一装载锁定件，和第一工厂接口机器人，内部空间由底部、顶部和多个侧部限定，第一装载锁定件设置在工厂接口的内部空间内，且第一工厂接口机器人设置在工厂接口的内部空间内，其中第一工厂接口机器人构造为在第一组基板载体与第一装载锁定件之间传送基板。
用于装载锁定整合工厂接口占地面积空间中的系统方法

[发明专利]批量晶片脱气腔室以及整合到工厂接口和基于真空的主机中-CN202180043296.3在审
发明人：迪安·C·赫鲁泽克;尼尔·玛利;马雷克·拉德科;保罗·B·路透;史蒂芬·桑索尼;苏斯汉特·S·科希特;约翰·约瑟夫·马佐科;朱安·查辛 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-06-17 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：基板处理系统包括耦接到基于真空的主机的装备前端模块(EFEM)，EFEM包含多个接口开口。该系统进一步包含批量脱气腔室，该批量脱气腔室在多个接口开口中的一个接口开口处附接到EFEM。该批量脱气腔室包括密封到EFEM的该接口开口的壳体。在壳体内放置盒，该盒被构造成用以保持多个基板。附接到壳体的反应器腔室用于接收盒并对多个基板执行主动脱气处理。主动脱气处理从多个基板的表面去除湿气和污染物。排放管线附接到反应器腔室用以为湿气和污染物提供出口。
批量晶片脱气以及整合工厂接口基于真空主机

[发明专利]负载锁定设备、冷却板组件及电子装置处理系统与方法-CN201680023208.2有效
发明人： 保罗·B·路透;特雷斯·莫瑞 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-03-31 - 公布日： 2021-08-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种包括下盘形扩散器的负载锁定设备。负载锁定设备包括负载锁定主体，负载锁定主体含有下负载锁定腔室和上负载锁定腔室，下冷却板在下负载锁定腔室中，且上冷却板在上负载锁定腔室中。下盘形扩散器可置中地位于下冷却板的上方。上盘形扩散器可置中地位于上冷却板的上方。提供包括负载锁定设备的系统和操作负载锁定设备的方法。亦提供可易于移除而用于清洁的冷却板组件，随之有许多其他的方面。
负载锁定设备冷却组件电子装置处理系统方法

[发明专利]侧存储舱、电子装置处理系统及其操作方法-CN201980070776.1在审
发明人： 保罗·B·路透;迪安·C·赫鲁泽克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：描述了包括具有至少一个侧存储舱的设备前端模块的电子装置处理系统。侧存储舱具有腔室，腔室包括顶基板保持器和底基板保持器。在一些实施方式中，排气口位于顶基板保持器和底基板保持器之间的中点。还公开了根据这些和其他实施方式的方法和系统。
存储电子装置处理系统及其操作方法

[发明专利]前管道设备前端模块、侧存储舱及其操作方法-CN201980070805.4在审
发明人： 保罗·B·路透;罗宾·C·阿姆斯特朗;约翰·C·门克;尼尔·玛利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：设备前端模块(EFFM)包括位于前端的返回管道。EFFM可包括前壁、后壁和两个侧壁，前壁包括多个装载口，且后壁经配置以耦接至装载锁定设备。在前壁、后壁和两个侧壁之间形成EFFM腔室。上部气室位于EFFM的顶部，并包括进入EFFM腔室的开口。返回管道提供气体回流路径，该气体回流路径使气体能够从EFFM腔室再循环到上部气室。多个返回管道中的至少一些返回管道位于装载口之间。还公开了电子装置制造组件和操作设备前端模块的方法。设备前端模块(EFFM)包括位于前端的返回管道。EFFM可包括前壁、后壁和两个侧壁，前壁包括多个装载口，且后壁经配置以耦接至装载锁定设备。在前壁、后壁和两个侧壁之间形成EFFM腔室。上部气室位于EFFM的顶部，并包括进入EFFM腔室的开口。返回管道提供气体回流路径，该气体回流路径使气体能够从EFFM腔室再循环到上部气室。多个返回管道中的至少一些返回管道位于装载口之间。还公开了电子装置制造组件和操作设备前端模块的方法。
管道设备前端模块存储及其操作方法

[发明专利]高流速、气体净化的侧储存舱装置、组件和方法-CN201980070450.9在审
发明人： 保罗·B·路透;穆拉利·纳拉辛汉;阿穆利亚·L·阿泰德;帕特里克·潘妮丝;迪安·C·赫鲁泽克;尼尔·玛利 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-10-23 - 公布日： 2021-06-04 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：在一些实施方式中，一种设备前端模块(EFEM)的侧储存舱装置包括：侧储存包壳，具有表面和开口，所述表面被配置为耦接到所述设备前端模块的主体的侧壁，所述开口被配置为接收来自所述设备前端模块的基板。所述EFEM进一步包括：侧储存腔室，位于所述侧储存包壳内并且具有复数个支撑构件，所述复数个支撑构件被配置为支撑在所述复数个支撑构件上的基板。所述EFEM进一步包括：充气增压腔室和排放端口，贴近所述侧储存腔室提供所述充气增压腔室，所述充气增压腔室是与所述侧储存腔室分离的腔室，所述排放端口耦接到所述充气增压腔室。
流速气体净化储存装置组件方法

[发明专利]具有工厂界面腔室加热的基板制造设备和方法-CN201980034798.2在审
发明人： 保罗·B·路透;尼尔·玛利;迈克尔·R·赖斯;迪安·C·赫鲁泽克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-05-24 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：电子器件处理设备包括具有净化气体加热的工厂界面腔室净化设备。工厂界面腔室净化设备包括一个或多个加热器件，其被配置为加热净化气体。在一些实施方式中，在为工厂界面维护打开进出门之后，向腔室过滤器组件提供加热的净化气体可以快速减少水气污染。在另外的实施方式中，向工厂界面腔室提供加热的净化气体可以有助于当提供低湿度环境时，在处理之后从基板上解吸某些化学化合物。本案描述了净化控制方法和设备，以及诸多其他方面。
具有工厂界面加热制造设备方法

[发明专利]用于腔室端口的气体设备、系统及方法-CN201480049216.5有效
发明人：纳根德拉·V·马迪瓦;罗伯特·欧文·德科蒂尼斯;安德鲁·阮;保罗·B·路透;安吉拉·R·斯科;迈克尔·库查尔;特雷斯·莫瑞;米切尔·迪桑图 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-09-24 - 公布日： 2018-01-26 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：一种电子装置制造系统可包括腔室端口组件，该腔室端口组件提供传送腔室与处理腔室之间的接口。在某些实施方式中，该腔室端口组件可配置来导引净化气流至该腔室端口组件的基板传送区域中。在其他实施方式中，处理腔室及/或该传送腔室可配置来导引净化气流至该基板传送区域中。流入该基板传送区域中的该净化气流可防止及/或减少来自腔室硬件的微粒状物质迁移至正在该传送腔室与处理腔室之间传送的基板上。也提供组装腔室端口组件的方法，以及其他态样。
用于端口气体设备系统方法

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