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- [实用新型]切割后半导体晶圆检查模组及其检查设备-CN202021278348.4有效
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蔡俊杰
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京隆科技(苏州)有限公司
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2020-07-03
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2020-12-15
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H01L21/66
- 本实用新型揭示了一种切割后半导体晶圆检查模组及其检查设备,切割后半导体晶圆检查模组包括:水平滑移组、移动平台、承放座、摄影模组、对位组件,移动平台安装于水平滑移组上,由水平滑移组精确地控制承放座的水平移动位置,移动平台中央具有镂空区,承放座位于移动平台上方且位置对应于镂空区,承放座用于固定晶圆承载环,晶圆承载环上由胶膜黏固着切割后的晶圆,承放座用于将晶圆置于镂空区上方区域,摄影模组安装于水平滑移组内,由下而上经镂空区拍摄由胶膜所黏固的切割后晶圆背面的影像,对位组件直立于移动平台外侧,用以确认晶圆所在位置是否正确,借此检查切割作业后个别晶粒背面是否有崩裂。
- 切割半导体检查模组及其设备
- [实用新型]可调变二流体的晶圆切割系统-CN202020579949.2有效
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周海林
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京隆科技(苏州)有限公司
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2020-04-17
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2020-11-24
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B28D5/02
- 本实用新型揭示了一种可调变二流体的晶圆切割系统:包括切割机体、水阻值产生装置、二流体产生装置、压缩空气供给单元,水阻值产生装置设有供液管输出调整电阻值后的切割液,压缩空气供给单元设有供气管输出高压气体,二流体产生装置包括多个压力控制单元,每个压力控制单元连接着作为输入端的第一支管及第二支管,以及作为每个压力输出控制单元输出端的喷液管,多个第一支管并联于供液管,多个第二支管并联于供气管,喷液管连接于切割机体的喷头,输入的切割液及高压气体经压力控制单元调变后输出气液混合的二流体且经喷液管输送至喷头喷出。
- 可调流体切割系统
- [实用新型]用于束带机的定位机构-CN201921911815.X有效
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邓杨
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京隆科技(苏州)有限公司
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2019-11-07
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2020-07-24
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B65B13/18
- 本实用新型揭示了一种用于束带机的定位机构,包括承座、第一夹持单元、第二夹持单元及操作单元。承座上设有第一滑轨,第一夹持单元、操作单元及第二夹持单元被限制仅能于第一滑轨上滑行且依序并排。第一夹持单元包括相互结合的第一平移座、第一夹臂及第一定位部。第二夹持单元包括相互结合的第二平移座、第二夹臂及第二定位部。操作单元包括底座、托架及把手。底座上设有第二滑轨。托架被限制在第二滑轨上滑行。托架移动方向垂直于第一平移座及第二平移座的移动方向,且当托架在第二滑轨上滑行时,能牵引第一平移座与第二平移座相互靠近,使第一夹臂与第二夹臂利用第一定位部与第二定位部夹紧于多个托盘两侧。
- 用于束带定位机构
- [实用新型]IC料带检查装置-CN201921672741.9有效
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陆建军
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京隆科技(苏州)有限公司
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2019-10-08
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2020-05-26
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G01N21/89
- 本实用新型揭示了一种IC料带检查装置,包括:工作区,供料带遵循预定方向移动;第一灯源,安装于料带上方;第一分光镜,安装于第一灯源上方;第一检测镜头,位于第一分光镜上方且接收第一光线;第二检测镜头,位于第一分光镜侧边且接收第二光线;第二灯源,安装于料带下方;第二分光镜,位于第二灯源上方;以及第三检测镜头,位于第二分光镜侧边,接收第二灯源照射料带所反射的光线。本实用新型的优点在于,本实用新型的装置能同时获得多个照片,以检查料带的密封状况、内部芯片顶面的标记以及料带底部情形。
- ic检查装置
- [实用新型]一种晶圆UV擦除系统-CN201922077337.3有效
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潘若愚
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京隆科技(苏州)有限公司
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2019-11-27
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2020-05-08
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G11C29/00
- 本实用新型提供了一种晶圆UV擦除系统,包括:UV机、控制单元、警报单元和主机;所述UV机包括测量单元、UV灯组和用于承载晶圆的托盘,测量单元用于检测UV灯组的UV强度值;控制单元连接于UV机,并用于控制UV灯组的启动和关闭;主机连接于控制单元、警报单元和UV机,并用于在测量单元检测到的UV强度值低于预设值时,形成控制指令传输至警报单元和控制单元。本实用新型能对UV灯的UV强度进行实时监控,在UV强度出现异常时自动停止UV擦除作业,并形成警示信号,提醒工作人员处理异常情况;同时将检测到的UV强度值存储于数据存储单元中,使工作人员可以根据存储于数据存储单元中的UV强度值,追踪晶圆擦除异常是否和UV灯的UV强度异常有关。
- 一种uv擦除系统
- [实用新型]晶舟盒转换装置-CN201921718802.0有效
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刘方军
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京隆科技(苏州)有限公司
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2019-10-14
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2020-05-05
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H01L21/677
- 本实用新型揭示了一种晶舟盒转换装置,包括:机台,机台设有底座,底座上安装着依序并排第一置换模组、第二置换模组及推放机构;所述第一置换模组包括第一升降平台、第一升降机构、第一滑移平台及第一滑移机构,第一升降平台供空的第一晶舟盒放置;所述第二置换模组包括第二升降平台、第二升降机构、第二滑移平台及第二滑移机构,第二升降平台已承载晶圆的第二晶舟盒放置;所述推放机构包括推动臂及驱动机构,驱动机构能带动推动臂往所述第二置换模组方向移动,用以将第二晶舟盒内的晶圆推至第一晶舟盒内,借此装置让第一晶舟盒与第二晶舟盒能分离升降且平移对接,以利后续晶圆转换作业。
- 晶舟盒转换装置
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