专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]微细加工处理剂、和微细加工处理方法-CN202310442571.X在审
  • 山崎阳介;堀上健太;伊达和哉;长谷部类;二井启一;西田哲郎 - 斯泰拉化工公司
  • 2021-06-11 - 2023-08-15 - C09K13/08
  • 本发明提供对至少具有含硅绝缘膜的被处理物,在抑制微粒的残留的同时能够进行良好的微细加工的微细加工处理剂和微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂包含以下的化学式(1)所示的化合物、氟化氢、氟化铵和水,M++(Rf‑SO2)‑N‑(SO2‑Rf)化学式(1)中,Rf表示碳原子数为1~4的全氟烷基,M+表示氢离子或铵离子,上述化合物的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.001质量%~0.5质量%,上述氟化氢的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.05质量%~25质量%,上述氟化铵的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.5质量%~40质量%,上述氟化氢的含量与上述氟化铵的含量满足关系式(1)。Y≤‑0.8X+40其中,X表示氟化氢的浓度(质量%),Y表示氟化铵的浓度(质量%)。
  • 微细加工处理方法
  • [发明专利]微细加工处理剂以及微细加工处理方法-CN202180075359.3在审
  • 伊达和哉;中田和;长谷部类;二井启一 - 斯泰拉化工公司
  • 2021-10-27 - 2023-07-07 - H01L21/308
  • 本发明提供一种微细加工处理剂以及微细加工处理方法,其在对至少包含氮化硅膜、氧化硅膜以及硅合金膜的层叠膜进行微细加工时能够选择性地对氧化硅膜进行微细加工。本发明的微细加工处理剂是用于至少包含氧化硅膜、硅氮化膜以及硅合金膜的层叠膜的微细加工的微细加工处理剂,其包含:(a)0.01质量%~50质量%的氟化氢、(b)0.1质量%~40质量%的氟化铵、(c)0.001质量%~10质量%的水溶性聚合物、(d)0.001质量%~1质量%的具有羧基的有机化合物、和(e)作为任意成分的水,水溶性聚合物为选自由丙烯酸、丙烯酸铵、丙烯酰胺、苯乙烯磺酸、苯乙烯磺酸铵和苯乙烯磺酸酯组成的组中的至少一种,选择性地对氧化硅膜进行微细加工。
  • 微细加工处理以及方法
  • [发明专利]微细加工处理剂、和微细加工处理方法-CN202180002940.2有效
  • 山崎阳介;堀上健太;伊达和哉;长谷部类;二井启一;西田哲郎 - 斯泰拉化工公司
  • 2021-06-11 - 2023-06-30 - C09K13/08
  • 本发明提供对至少具有含硅绝缘膜的被处理物,在抑制微粒的残留的同时能够进行良好的微细加工的微细加工处理剂和微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂是用于对至少具有含硅绝缘膜的被处理物进行微细加工的微细加工处理剂,其特征在于,包含以下的化学式(1)所示的化合物、氟化氢、氟化铵和水,M++(Rf‑SO2)‑N‑(SO2‑Rf)  (1)(化学式(1)中,Rf表示碳原子数为1~4的全氟烷基,M+表示氢离子或铵离子)上述化合物的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.001质量%以上且0.5质量%以下,上述氟化氢的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.05质量%以上且25质量%以下,上述氟化铵的含量相对于上述微细加工处理剂的总质量为0.5质量%以上且40质量%以下,上述氟化氢的含量与上述氟化铵的含量满足以下的关系式(1)。Y≤‑0.8X+40  (1)(其中,X表示氟化氢的浓度(质量%),Y表示氟化铵的浓度(质量%))。
  • 微细加工处理方法
  • [发明专利]微细加工处理剂以及使用其的微细加工处理方法-CN201080035331.9有效
  • 宫下雅之;久次米孝信;二井启一;长谷部类;石丸慧 - 斯泰拉化工公司
  • 2010-08-09 - 2012-05-23 - H01L21/308
  • 本发明提供对硅氮化膜和硅氧化膜的层叠膜可选择性地将硅氧化膜进行微细加工的微细加工处理剂,以及使用其的微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂是用于形成有硅氮化膜和硅氧化膜的被处理物的微细加工的微细加工处理剂,其中包含下述(A)成分或(B)成分中的至少任一方、下述(C)成分和下述(D)成分;下述(A)成分或(B)成分中的至少任一方与(C)成分的含量的合计相对于微细加工处理剂的总量为90重量%以下。(A)成分:0.01重量%~20重量%的氟化氢,(B)成分:0.1重量%~20重量%的氟化铵或氟化季铵盐中的至少任一方,(C)成分:1重量%~80重量%的选自盐酸、硝酸、硫酸和磷酸中的至少任一种酸,(D)成分:水。
  • 微细加工处理以及使用方法
  • [发明专利]微细加工处理剂及微细加工处理方法-CN200980159339.3有效
  • 宫下雅之;久次米孝信;二井启一 - 斯泰拉化工公司
  • 2009-05-21 - 2012-04-25 - H01L21/308
  • 本发明提供微细加工处理剂及微细加工处理方法。本发明提供在对至少层叠有氧化硅膜及氮化硅膜的层叠膜进行微细加工时可选择性地对氧化硅膜进行微细加工的微细加工处理剂及使用该微细加工处理剂的微细加工处理方法。本发明的微细加工处理剂的特征在于,含有(a)0.01~15重量%的氟化氢或者0.1~40重量%的氟化铵中的至少1种、(b)水及(c)0.001~10重量%的选自丙烯酸、丙烯酸铵、丙烯酸酯、丙烯酰胺、苯乙烯磺酸、苯乙烯磺酸铵及苯乙烯磺酸酯中的至少任1种水溶性聚合物。
  • 微细加工处理方法

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