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- [发明专利]一种光刻投影物镜三叶、四叶像差变形镜机构-CN202310212285.4在审
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周吉;康霞;路雨桐;刘文静;俞大杰;王建
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中国科学院光电技术研究所
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2023-03-07
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2023-05-23
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G03F7/20
- 本发明提供一种光刻投影物镜三叶、四叶像差变形镜机构,包括镜片(1)、镜框(2)、镜筒(3)及圆周均布的12个变形镜致动机构(4)。变形镜致动机构(4)包括压块(5)、V型块(6)、电机(7)、推杆(8)、钢球(9)、弹簧片(10)、楔形块(11)、弹性支撑(12)。镜片(1)通过压块(5)与弹性支撑(12)固定。变形镜致动机构(4)均布安装于镜框(2)上。镜框(2)安装于镜筒(3)上。电机(7)驱动推杆(8)、钢球(9)水平方向运动,V型块(6)与楔形块(11)上的导轨为钢球(9)提供导向,钢球(9)带动楔形块(11)运动,楔形块(11)带动弹簧片(10)发生铅锤方向弹性变形,并带动弹性支撑(12)作铅锤方向运动,以调节弹性支撑(12)上的支撑力,弹簧片(10)用于结构复位。通过(12)个变形镜致动机构(4)支撑力大小差动调节,实现镜片(1)三叶、四叶像差变形补偿。
- 一种光刻投影物镜四叶像差变形机构
- [发明专利]一种延时系统中高型控制器参数整定方法-CN202310186121.9在审
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毛耀;刘超
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中国科学院光电技术研究所
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2023-03-01
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2023-05-23
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G05B13/04
- 本发明公开了一种延时系统中高型控制器参数整定方法。由于工程控制应用中系统延时因素对系统稳定性有着不可忽略的影响以及系统延时作用下高型控制回路中控制器参数整定一直十分棘手,针对上述问题以及系统中存在的建模误差、不确定扰动问题,本发明将线性二次型最优控制算法以及模型信息辅助下的线性扩张状态观测器方法相结合,成功解决了延时作用下高型系统中的控制器参数整定困难的问题。本发明以延时作用下的PIDII型、III型控制器参数整定为例来说明本发明方法的有效性。与延时作用下的PIDI型控制器设计方法相比,本发明设计方法下的系统具备高型控制回路的优势,同时系统动态响应性能以及系统抗干扰能力得到显著改善。
- 一种延时系统中高控制器参数方法
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