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[发明专利]一种实现分立式变形镜表面连续化的方法-CN202310391479.5在审
发明人：高国涵;杜俊峰;边疆;雷柏平;范斌;毛丹波;殷家家;刘鑫;石恒;刘盾 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2023-04-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： G02B26/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种实现分立式变形镜表面连续化的方法，首先加工出弹性镂空支架，然后将柔性光学薄膜支撑固定于弹性镂空支架上表面，通过旋涂工艺将紫外固化胶液涂覆于柔性光学薄膜上表面。将柔性光学薄膜翻转使其有胶一面接触分立式变形镜上表面，施加均匀紫外光辐照使紫外固化胶液固化，柔性光学薄膜有胶一面被牢牢粘贴在分立式变形镜上表面。去除边缘多余柔性光学薄膜和弹性镂空支架，利用真空镀膜技术在柔性光学薄膜无胶一面沉积光学反射膜，完成分立式变形镜的表面连续化。本发明具有表面连续无间隙，有效避免了能量损失和衍射效应的问题。同时降低了对变形镜表面粗糙度的要求，通过紫外固化胶液的浸润作用能使粗糙的变形镜表面平坦化。
一种实现立式变形表面连续方法

[发明专利]一种制作连续浮雕菲涅尔透镜的方法-CN202210256445.0有效
发明人：范斌;吴湘;辛强;焦培琦;邵俊铭;罗倩;殷家家;高国涵;毛丹波 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种制作连续浮雕菲涅尔透镜的方法，解决了传统的菲涅尔透镜制作工艺加工成本高，生产周期长，难以获得连续浮雕轮廓的问题。本发明提供的制作连续浮雕菲涅尔透镜的方法，可以在不使用常规套刻掩模版的情况下，快速高效地制作具有连续浮雕结构的菲涅尔透镜。本发明工艺流程简单，掩蔽层制作灵活，加工精度高，克服了传统技术在制作菲涅尔透镜的过程中存在各掩模版对准误差大、加工效率低、制作成本高、无法快速获得连续浮雕轮廓的问题。
一种制作连续浮雕菲涅尔透镜方法

[发明专利]超低热膨胀系数高强度聚酰亚胺光学薄膜材料及制备方法-CN202010586956.X有效
发明人：殷家家;毛丹波;范斌 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-06-24 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种超低热膨胀系数高强度聚酰亚胺光学薄膜材料及制备方法，聚酰亚胺光学薄膜材料由芳香族二酐单体，含有酰胺键的芳香族二胺单体以及不含酰胺键二胺单体经缩聚反应形成聚酰胺酸胶液，经旋凃成膜，以及热亚胺化后制得；本发明还公开了该材料的制备方法，制备方法简单，制得的聚酰亚胺薄膜具有超低热膨胀系数、高机械强度、较好的光学透过性及较好的热稳定性；本发明的聚酰亚胺薄膜材料通过旋凃方法获得，可应用于光学薄膜衍射透镜、柔性薄膜太阳能电池、OLED柔性显示基底等领域，具有广泛的应用前景。
低热膨胀系数强度聚酰亚胺光学薄膜材料制备方法

[发明专利]一种制备超轻质菲涅尔透镜的方法-CN202210256442.7有效
发明人：范斌;吴湘;辛强;焦培琦;邵俊铭;罗倩;高国涵;毛丹波 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2023-05-26 - 主分类号： G02B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种制备超轻质菲涅尔透镜的方法，包括：超轻质光学薄膜与刚性基底复合体的制作、超轻质菲涅尔透镜轮廓加工以及超轻质菲涅尔透镜脱膜。工作流程为首先加工出具有光滑平面的刚性基底，接着在刚性基底表面进行光学薄膜材料前驱体溶液涂覆，然后将光学薄膜材料前驱体溶液固化，形成超轻质光学薄膜与刚性基底复合体。接着在该复合体的表面进行菲涅尔透镜轮廓加工，最后通过超轻质菲涅尔透镜脱膜将表面具有菲涅尔透镜轮廓的光学薄膜与刚性基底进行分离，得到超轻质菲涅尔透镜。该方法特别适合制备以光学薄膜材料为基底的超轻质菲涅尔透镜，是一种高效、工艺成本低、灵活性强、口径范围广的超轻质菲涅尔透镜制备方法。
一种制备超轻质菲涅尔透镜方法

[发明专利]一种柔性薄膜圆对称周向预紧装置-CN202110377982.6有效
发明人：高国涵;杜俊峰;边疆;雷柏平;李志炜;刘鑫;毛丹波;殷家家;刘盾;罗倩 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种柔性薄膜圆对称周向预紧装置，包括环形底座、压环(含两副橡胶圈)、紧固螺栓、柔性薄膜。其中环形底座作为主体结构件支撑柔性薄膜并与压环通过紧固螺栓连接，压环通过内嵌的内侧橡胶圈对薄膜施加摩擦力实现周向预紧，并通过内嵌的底侧橡胶圈施加正压力将薄膜牢牢锁紧。紧固螺栓均匀分布在环形底座与压环上，薄膜夹于压环和环形底座的间隙中，且薄膜边缘位于压环的底侧橡胶圈与紧固螺栓区间，不与紧固螺栓接触。首先将柔性薄膜裁剪为直径略小于紧固螺栓包络尺寸的圆形薄膜并平铺于环形底座上表面，接着将压环同心平行下压使薄膜被周向预紧，最后将紧固螺栓全部均匀拧紧将柔性薄膜锁死。
一种柔性薄膜对称装置

[发明专利]一种高透疏水光学聚酰亚胺复合薄膜材料及制备方法-CN202111119728.2有效
发明人：殷家家;毛丹波;范斌 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： C08J7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种高透疏水光学聚酰亚胺复合薄膜材料及制备方法，该复合薄膜由三层薄膜材料复合而成，中间层为聚酰亚胺薄膜，聚酰亚胺薄膜上下两面为二氧化硅增透疏水膜。本发明得到了在可见光区域高透且表面疏水的光学用柔性聚酰亚胺复合薄膜材料。该复合薄膜在屏幕显示、光学成像、太阳能电池、高能激光系统、航空航天等领域有很大的应用前景。
一种疏水光学聚酰亚胺复合薄膜材料制备方法

[发明专利]一种大口径光学成像级聚酰亚胺薄膜制备方法-CN202010418538.X有效
发明人： 毛丹波;毛羽丰;范斌;杜峻峰 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种大口径光学成像级聚酰亚胺薄膜制备方法，为了提高大口径薄膜厚度均匀性减小波前误差，达到薄膜衍射系统要求的成像质量，通过预先给胶液施加一环向均匀、径向呈梯度分布的温度来调控其粘度，从而控制胶液径向厚度分布，经控温/常温叠加多次旋涂，直至得到所需厚度的聚酰亚胺薄膜，薄膜厚度≥20μm，薄膜口径≥Φ400mm，薄膜透射波前RMS≤1/25λ，满足系统成像质量要求。本发明有益的技术效果：缩小了与国外差距，提高薄膜元件制作工艺水平，扩展我国薄膜元件的实际应用领域，特别是透明光学薄膜衍射成像系统领域。
一种口径光学成像聚酰亚胺薄膜制备方法

[发明专利]一种用于光学元件刻蚀加工的掩蔽层制作方法-CN202210610892.1在审
发明人：范斌;吴湘;辛强;刘鑫;焦培琦;梁钊宇;邵俊铭;高国涵;毛丹波;殷家家 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： G03F1/80 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于光学元件刻蚀加工的掩蔽层制作方法，解决了传统的光学元件掩蔽层制作方法中，手工裁剪精度低、掩蔽层与工件表面上的掩蔽层区域对准误差大、手工裁剪及油墨打印的方法难以适用于制作曲面工件掩蔽层的问题。本发明提供的用于光学元件刻蚀加工的掩蔽层制作方法，可以在不使用辅助定位标记的情况下，快速高效地制作光学元件掩蔽层。本发明工艺流程简单，掩蔽层制作灵活，对准精度高，克服了传统技术在制作光学元件掩蔽层方面存在对准误差大、制作效率低、难以适用于制作非平面光学元件掩蔽层的问题。
一种用于光学元件刻蚀加工掩蔽制作方法

[发明专利]一种高折射率近红外高透聚酰亚胺薄膜材料及制备方法-CN202110948768.1在审
发明人：殷家家;毛丹波 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-08-18 - 公布日： 2021-11-12 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种高折射率近红外高透聚酰亚胺薄膜材料及制备方法，聚酰亚胺复合薄膜材料由含硫芳香族二酐单体，含硫芳香族二胺单体经缩聚反应形成聚酰胺酸复合胶液并在其中添加具有高折射率的硫化锌纳米颗粒，经旋凃成膜，热亚胺化后制得；本发明还公开了该材料的制备方法，制备方法简单，制得的聚酰亚胺复合薄膜具较高的折射率，较高的近红外透过率；本发明的聚酰亚胺复合薄膜材料通过旋凃方法获得，具有良好的光学均匀性，可应用于近红外成像、全息技术等领域，具有广泛的应用前景。
一种折射率红外聚酰亚胺薄膜材料制备方法

[发明专利]一种基于重力场加工闪耀光栅的方法-CN202110363795.2在审
发明人：高国涵;杜俊峰;边疆;雷柏平;李志炜;刘鑫;毛丹波;殷家家;汪利华;罗倩 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2021-04-02 - 公布日： 2021-06-25 - 主分类号： G02B5/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于重力场加工闪耀光栅的方法，该方法分解为定位侧壁加工、胶液浇筑、倾斜紫外固化和镀膜4大步骤，包括平面基底、定位侧壁、液态紫外胶、固态紫外胶、紫外光源、反射膜层；其中平面基底作为基底支撑定位侧壁并盛装液态紫外胶，在平面基底表面通过光刻、刻蚀、切削、打印等方式精密加工定位侧壁。将平面基底倾斜特定角度并利用紫外光源对液态紫外胶进行固化使其成为固态紫外胶，最后在固态紫外胶表面镀制反射膜层。
一种基于重力场加工闪耀光栅方法

[发明专利]一种低湿、低热膨胀系数聚酰亚胺复合薄膜材料及制备方法-CN202010823403.1在审
发明人：殷家家;毛丹波 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-08-17 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种低湿、低热膨胀系数聚酰亚胺复合薄膜材料及制备方法，聚酰亚胺复合薄膜材料由芳香族二酐单体，芳香族二胺单体经缩聚反应形成聚酰胺酸胶液并在其中添加表面疏水改性的二氧化硅纳米颗粒，经旋涂成膜，热亚胺化后制得；本发明还公开了该材料的制备方法，制备方法简单，制得的聚酰亚胺复合薄膜具低湿膨胀系数、低热膨胀系数及良好的热稳定性；本发明的聚酰亚胺复合薄膜材料通过旋涂方法获得，可应用于电子器件的封装制造、挠性印刷电路板、航天航空等领域，具有广泛的应用前景。
一种低湿低热膨胀系数聚酰亚胺复合薄膜材料制备方法

[发明专利]一种快速形成径向温度梯度分布的工装-CN202010418941.2在审
发明人： 毛丹波;毛羽丰;范斌;杜峻峰 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2020-05-18 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： F28F21/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种快速形成径向温度梯度分布的工装，所述工装包括圆形底部、传热主体、圆形工作平台、保温层、石英基片、导热硅脂等构成。其中水平圆形底部用于连接热源提供恒定温度，传热主体依靠本身的导热特性及与外界环境的热交换从而达到动态温度平衡，其侧面采用的是保温层进行隔热保温，赋予圆形工作平台的温度呈环向均匀分布、径向呈一定温度梯度分布，为了减小接触热阻，石英片通过导热硅脂与工作平台形成面接触，最后赋予石英基片表面温度呈环向均匀分布、径向呈一定温度梯度分布。本发明可以快速实现圆形水平基片径向温度连续梯度分布，且温度分布可控、操作方便可靠。
一种快速形成径向温度梯度分布工装

[发明专利]一种基于反应离子刻蚀减薄的光学元件面形修正方法-CN201910536086.2有效
发明人：李志炜;邵俊铭;雷柏平;范斌;罗倩;高国涵;邓晓东;毛丹波;何一苇;蒋仁奎 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2020-07-17 - 主分类号： G02B1/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于反应离子刻蚀减薄的光学元件面形修正方法，解决了传统光学加工技术无法直接抛光新型柔性光学薄膜的问题。本发明提供的基于反应离子刻蚀减薄的光学元件面形修正方法，可以在不影响薄膜光学性能的情况下，快速高效地对柔性薄膜进行面形修正。本发明可以精确控制减薄区域与非减薄区域的界线，对准精度高，迭代次数少，减薄深度控制精度高，减薄掩蔽层制作方便，不会在光学件表面产生表面划痕或亚表面损伤，残余掩蔽层去除容易，工艺重复性好，无毒无害，也适用于传统无机刚性材料如二氧化硅、碳化硅等。
一种基于反应离子刻蚀光学元件修正方法

[发明专利]一种测量柔性薄膜衍射透镜湿膨胀系数的方法-CN201910860333.4在审
发明人：高国涵;毛丹波;罗倩;刘盾 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2019-12-31 - 主分类号： G01N27/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种测量柔性薄膜衍射透镜湿膨胀系数的方法，所述方法包括支撑夹具、柔性薄膜衍射透镜、应力应变片、环境试验箱和数据采集仪，工作流程为首先将应力应变片对称的粘贴于柔性薄膜衍射透镜表面，通常使粘贴位置位于1/2半径处，相隔60度粘贴一片，共粘贴6片。然后将柔性薄膜衍射透镜放于环境试验箱内，通过小孔将引线与数据采集仪相连，关闭环境试验箱门，并运行湿度程序。最后将采集到的应变数据进行数据处理，计算柔性薄膜衍射透镜的湿膨胀系数。该方法可以实现高精度的测量，相对传统的光学方法精度更高；可以实现各种支撑状态下的测量，相对传统热机械分析方法固定的样品形状和夹持工装而言，具备更高的灵活性。
柔性薄膜衍射透镜粘贴环境试验箱数据采集仪应力应变片膨胀系数测量热机械分析工作流程环境试验夹持工装湿度程序数据处理样品形状应变数据粘贴位置支撑夹具支撑状态传统的固定的小孔对称相隔采集

[发明专利]一种厚度由外径到圆心依次递减、上表面呈微凹型的聚酰亚胺光学薄膜制备方法-CN201910424939.3在审
发明人： 毛丹波;邓晓东;杨伟;范斌 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2019-05-21 - 公布日： 2019-08-13 - 主分类号： C08J5/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种厚度由外径到圆心依次递减、上表面呈微凹型的聚酰亚胺光学薄膜制备方法，通过在水平调平的具有一定光学面型的石英基板上流延低浓度的聚酰胺酸胶液，不施加任何外力，使胶液上表面依靠自身的表面张力及边缘围框的毛细管效应自动流平，并且在随后的真空均匀脱溶剂过程中，保证石英基板的绝对稳定性及水平性，实现一种厚度由外径到圆心依次递减、上表面呈微凹型的聚酰亚胺光学薄膜制备方法。薄膜可应用于透明光学薄膜反射镜、薄膜聚光镜、柔性薄膜太阳能电池、光学天线等领域，具有广泛的应用前景。
上表面光学薄膜制备圆心聚酰亚胺依次递减微凹石英基板薄膜柔性薄膜太阳能电池聚酰胺酸胶液绝对稳定性毛细管效应光学薄膜光学天线反射镜聚光镜水平性脱溶剂调平胶液流平面型围框应用施加透明保证

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