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[发明专利]一种全GaN集成芯片结构及其制备方法-CN202310085988.5在审
发明人：王登贵;周建军;戴家赟;王飞;胡壮壮;陈堂胜 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开了一种全GaN集成芯片结构及其制备方法，该芯片结构包括：半绝缘SiC衬底；导电键合层；全GaN电路结构层：自下而上依次包括缓冲层、沟道层和势垒层，还包括第一深槽、第二深槽和钝化层，第一深槽的槽底与导电键合层相接，槽壁穿透至势垒层，内壁生长有连接源极和导电键合层的金属；第二深槽的槽底与半绝缘SiC衬底相接，槽壁穿透至势垒层，内壁沉积有绝缘介质。本发明实现了全GaN集成芯片中高低侧电位的单片隔离，降低了寄生电感和芯片面积；解决了传统SOI基GaN集成芯片架构导热性差、工艺难度高的问题；其制备方法具有高度的普适性与灵活性，有利于全GaN集成芯片的集成化与智能化发展。
一种 gan 集成芯片结构及其制备方法

[发明专利]一种芯片化集成的平衡探测器-CN202211603065.6在审
发明人：王艳;王东辰;徐鹏霄;唐光华 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-13 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： G01J1/42 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片化集成的平衡探测器，包括光输入模块、光处理芯片、光电转换模块和外部电路模块。其中，两根输入光纤分别输入本振光和信号光；所述光处理芯片包括光输入端口、1：n(n≥1)的2×2耦合器和光输出端口，光输入端口将本振光和信号光传输至2×2耦合器，1：n端输入光，其中，1端输入本振光，n端输入信号光，经耦合器相干混频后得到一组光强基本一致、相位差180°的差分光信号，通过两个光输出端口输出至光电转换模块；光电转换模块实现光探测器芯片与外部电路处理模块的电连接。本发明采用芯片化光耦合器实现本振光和信号光的相干混频，摆脱了对光纤分束器的使用，降低了相干探测系统集成难度。
一种芯片集成平衡探测器

[发明专利]一种改进型SiC平面MOSFET器件的制备方法-CN201811650753.1有效
发明人：柏松;杨同同;黄润华 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2018-12-31 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01L21/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种改进型SiC平面MOSFET器件的制备方法，在传统MOSFET外延表面生长了一层几十纳米的低掺杂外延层，掺杂浓度在1e14cm‑3量级；该改进型MOSFET器件结构可以极大的提升沟道反型层的宽度，减弱SiO2/SiC表面高界面态和掺杂杂质对沟道迁移率的影响，从而提升器件的导通特性。本发明有助于进一步降低器件比导通电阻，在器件导通特性和阻断特性之间作更好的折中。
一种改进型 sic 平面 mosfet 器件制备方法

[发明专利]一种低成本的加固显示器多功能玻璃的制备方法-CN202211342383.1在审
发明人：郑国兵;邹一杰;符昭邦;陈云昌;徐飞;洪乙又 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G02B1/11 文献下载
摘要：本发明提出的是一种低成本的加固显示器多功能玻璃的制备方法，在双面ITO玻璃的上表面贴附一层AR膜，降低反射率；同时四周区域使用导电银浆或导电硅胶和结构实现电连接，实现电磁屏蔽功能；下表面通过导电银浆或金属窄条引出，实现加热除雾功能。该多功能玻璃具有成本低，制作简单、易于实现的特点。
一种低成本加固显示器多功能玻璃制备方法

[发明专利]一种适用于微波功率器件封装外壳的中温陶瓷及制备方法-CN202211551124.X在审
发明人：陈杨;李欣源;陈骏;陈寰贝;黎超群 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： C04B41/89 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于微波功率器件封装外壳的中温陶瓷及制备方法，包括由共烧低阻导带材料制成的中温陶瓷，共烧低阻导带材料包括陶瓷基层以及位于陶瓷基层上表面的钨钢金属化层。本发明的有益效果是：陶瓷采用中温烧结技术，可在1220~1280°C温度下致密化烧结，且具有高强度性能可满足封装外壳的可靠性要求；所述低阻导带材料采用钨网铜颗粒填充技术，即先在生瓷表面印刷钨铜金属化浆料作为基层，随后通过在钨铜金属化表面再套印中温瓷共烧钨浆的方法实现陶瓷表面金属化。所述陶瓷与低阻导带材料能够实现中温共烧，且具有较高的机械强度，以及良好的共烧匹配性，金属化方阻低至5.0m/□，能够满足大功率微波器件封装的要求。
一种适用于微波功率器件封装外壳陶瓷制备方法

[发明专利]一种基于带通滤波网络的超宽带移相器-CN202211631890.7在审
发明人：张天羽;韩群飞;王维波;潘晓枫 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： H03H11/16 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于带通滤波网络的超宽带移相器，包括第一～第二单刀双掷开关、参考态网络模块和移相态网络模块；参考态网络由多个T型带通滤波网络单元级联而成，移相态网络由多个改进型的磁耦合全通网络单元级联而成；第一单刀双掷开关输入端接移相器输入端口，第一输出端连接参考态网络模块输入端，第二输出端连接移相态网络模块输入端；第二单刀双掷开关输入端接移相器输出端口，第一输出端连接参考态网络模块输出端，第二输出端连接移相态网络模块输出端；通过第一～第二单刀双掷开关在参考态和移相态之间的进行信号通路切换，实现移相功能。本发明的移相器能覆盖9个倍频程以上的带宽，具有损耗小，占用面积少，移相角度大的优点。
一种基于滤波网络宽带移相器

[发明专利]一种用于微通道板冲刷除气的电子枪装置-CN202211602471.0在审
发明人：崔佳华;陈鑫龙;徐鹏霄;唐光华 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于微通道板冲刷除气的电子枪装置，包括引针法兰、圆筒型金属屏蔽罩、固定支撑杆以及灯丝。本发明的有益效果是：设计了蚊香型的灯丝结构，使灯丝发射出的冲刷电子更加均匀，达到了面电子源的效果；蚊香型灯丝结构显著增大了灯丝的有效发射面积，使得MCP的电子冲刷效率大大提升；增加了圆筒型金属屏蔽罩，由此形成密闭空间，可以有效地屏蔽外围环境对冲刷电子运动轨迹的影响，同时所述金属屏蔽罩分为上下两层，中间采用绝缘陶瓷环连接件进行连接，通过在上下两层金属屏蔽罩上分别施加不同的高压，二者的高压差会形成一个稳定均匀的内部聚焦电场，从而使灯丝发射的冲刷电子束垂直且均匀地冲刷在MCP输入面上。
一种用于通道冲刷电子枪装置

[发明专利]一种制备基于金刚石表面终端的异质结的方法-CN202210633248.6有效
发明人：陶然;吴云;李忠辉;郁鑫鑫;杨扬;魏仲夏;曹正义 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-06-07 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H01L29/778 文献下载
摘要：本发明公开了一种制备基于金刚石表面终端的异质结的方法。该方法先在衬底上形成金刚石层；再在金刚石层上形成第一绝缘层；然后穿过第一绝缘层在金刚石层的表面通过插层形成表面终端；最后在第一绝缘层上形成第二绝缘层。本发明提供的基于金刚石表面终端的异质结的制备方法通过结构和工艺的设计创新，能够规避现有表面终端技术通常面临的杂质吸附、终端损伤等问题，实现优质异质结界面，促进更广泛的异质结组合构建，进而充分发挥表面终端对于能带的调制作用，通过异质结能带设计构筑高性能电子器件。
一种制备基于金刚石表面终端异质结方法

[发明专利]一种氮化硼范德华外延氮化镓微波材料及生长方法-CN202211483992.9在审
发明人：李传皓;李忠辉;彭大青 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H01L21/335 文献下载
摘要：本发明公开一种氮化硼范德华外延氮化镓微波材料及生长方法，在氮化硼二维材料表面引入富氨薄层氮化铝成核层，为后续氮化镓过渡层生长提供高密度的成核格点；对氮化铝成核层进行退火处理，阻挡晶界位错；引入低温、高V/III比的氮化镓过渡层，促使氮化镓生长初期为侧向外延模式，加速穿透位错的转向及阻断；氮化镓缓冲层生长工艺为高温、低V/III比，促使氮化镓缓冲层为层状外延模式，改善材料表面形貌和晶体质量；引入高温、高V/III比的氮化镓沟道层，提升电子输运特性。此种技术方案基于MOCVD等材料生长方式，通过一次外延技术实现材料的研制，并通过外延技术改良和工艺控制实现表面平整、晶体质量及电子输运特性均较高的材料研制。
一种氮化硼范德华外延微波材料生长方法

[发明专利]一种防止生成物因冷凝而沉积的控温装置及其控制方法-CN202211596888.0在审
发明人：张泽东;周健;乔路;申强;祖二健;吴文涛 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： C23C16/52 文献下载
摘要：本发明公开一种防止生成物因冷凝而沉积的控温装置及其控制方法，控温装置包括厂务进水调压阀、进水手阀、电磁阀、第一水流量计、接触式测温计、比例电磁阀、第二水流量计、控制模块、回水手阀、温度设定模块和报警采集模块；在非生产状态下，控制进水手阀、电磁阀、回水手阀打开，比例电磁阀关；生产状态下，控制进水手阀、回水手阀打开，电磁阀关，比例电磁阀受控开或关。此种技术方案使得前炉门生产中的温度高于低压化学气相沉积设备生产中生成物冷凝沉积的温度，从而大大降低生成物在前炉门冷凝沉积量，这样，既可以降低生产的晶圆片被沾污的风险，也可以大大降低前炉门清洁的频率，降低了因清洁前炉门反复升降温导致炉管破裂的风险。
一种防止生成物冷凝沉积装置及其控制方法

[发明专利]一种超宽带可重构功率放大器单片微波集成电路-CN202011385870.7有效
发明人：陶洪琪;王光年;王嘉文;闫俊达;庄园 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2020-12-01 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H03F3/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种超宽带可重构功率放大器单片微波集成电路，包括控制功放单元、平衡功放单元、超宽带移相网络以及第一～第三超宽带耦合器。所述平衡功放单元包括镜像的两个功放单元，控制功放单元的输出功率对平衡功放单元中的两个功放单元的负载阻抗进行有源负载调制，实现超宽带可重构。
一种宽带可重构功率放大器单片微波集成电路

[实用新型]一种头戴式双目夜视镜模拟训练盒-CN202222752031.5有效
发明人：刘嘉琪;吴金华;吕超杰;杨帆;杨斌;宋德宇 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-10-19 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G09B9/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种头戴式双目夜视镜模拟训练盒，包括成像盒、镜筒安装件、显示控制盒和安装辅助件，安装辅助件系底面设置有固定装置的瓦状结构，安装辅助件的一端与镜筒安装件的顶端通过线材固定连接，安装辅助件的相对一端通过线材与显示控制盒固定连接，镜筒安装件包括活动钳口和盒体连接板，盒体连接板的一端与活动钳口的顶端通过轴体转动连接，盒体连接板的另一端与成像盒固定连接，显示控制盒与成像盒电连接。本实用新型不依赖暗房等场地，可以有效降低训练成本；通过将成像距离设置为无穷远，有效提高了夜视训练的观察距离，并通过增加红外光谱，提高了仿真模拟的真实度，有效提高了夜视训练的实际效果。
一种头戴式双目夜视镜模拟训练

[发明专利]一种AlGaAs二阶非线性与线性光波导集成单片及其制作方法-CN202211448050.7在审
发明人：牛斌;经旭 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： G02B6/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种AlGaAs二阶非线性与线性光波导集成单片及其制作方法，该方法为：在衬底上依次生长AlGaAs外延层：布拉格下反射层、芯层和布拉格上反射层；布拉格上反射层和布拉格下反射层均包含多个周期，每个周期由组分Al含量不同的两层AlxGa1‑xAs组成；在外延层表面制作光刻掩膜，再刻蚀布拉格上反射层，形成包含二阶非线性波导区域和二阶线性波导区域的脊形波导结构；在二阶非线性波导区域制作光刻掩膜，再刻蚀二阶线性波导区域的布拉格下反射层，完成制作。本发明可实现AlGaAs光学非线性波导与线性波导无缝单片集成，为非线性光学以及集成量子光学领域提供简单且高集成度的芯片制作方法。
一种 algaas 非线性线性波导集成单片及其制作方法

[发明专利]一种自适应双背栅高速宽带石墨烯光探测器及制备方法-CN202211633757.5在审
发明人：曹正义;吴云;李忠辉;陶然 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-19 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H01L31/112 文献下载
摘要：本发明公开了一种自适应双背栅高速宽带石墨烯光探测器，从下到上依次包括：衬底、第一背栅和第二背栅、介质层、第一互联金属电极和第二互联金属电极、石墨烯光探测层，还包括设于石墨烯光探测层上的源极和漏极；其中，第一互联金属电极直接设于第一背栅之上，第二互联金属电极直接设于第二背栅，第一互联金属电极和第二互联金属电极分别与石墨烯光探测层直接接触；介质层设于两背栅和两互联金属电极的四周；源极和漏极分别与石墨烯光探测层直接接触；光探测区为所述源极和漏极之间的石墨烯光探测层。本发明采用源/漏电极与石墨烯双背栅分别相连，由源漏电压驱动背栅调控，实现自适应工作，能有效提高响应光电流。
一种自适应双背栅高速宽带石墨探测器制备方法

[发明专利]一种封盖前烘烤产品转移夹具及使用方法-CN202211620760.3在审
发明人：谢宜静;邵登云;曾升;徐翔宇;刘霆;刘炎 -专利权人： 中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请日： 2022-12-16 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种封盖前烘烤产品转移夹具及使用方法，包括底板、侧板、tray盘、折弯把手、螺钉、台阶销。本发明的有益效果是：底板正反面有销钉槽，可用于多层底板的堆叠，增加单位面积内产品容纳量，提高封焊效率；底板侧面配有折弯把手，以便于夹具的取放和转移，同时避免转移时碰到产品本体；底板上侧可以放置封焊用tray盘，可有效避免tray盘内产品的二次转移；夹具选用铝合金加工制成，导热率高，密度小；表面采用硬质阳极氧化，保证了静电敏感产品的电气安全性；适用于各种类型的产品，该工装可重构性强，可通过改变封焊用tray盘内开槽尺寸以实现不同类型产品封焊前的转移。
一种封盖前烘烤产品转移夹具使用方法