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[外观设计]磁控溅射镀膜装置-CN202030810639.2有效
发明人：李龙哲;夏伟;李添;李花;朱小凤 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2020-12-28 - 公布日： 2021-06-22 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：磁控溅射镀膜装置。2.本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于使其原子或分子从表面气化逸出，形成蒸气流，入射到待镀膜固体上，即衬底或基片表面，凝结形成固态薄膜。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
磁控溅射镀膜装置

[发明专利]一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置-CN202011603948.8在审
发明人：李龙哲;夏伟;李添;李花;朱小凤 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2020-12-29 - 公布日： 2021-05-04 - 主分类号： C23C16/40 文献下载
摘要：本发明涉及镀膜技术领域，公开了一种防指纹镀膜方法、防指纹镀膜结构及显示装置。该防指纹镀膜方法包括步骤：将基板放置在真空镀膜室，对真空镀膜室进行抽低真空；对基板进行等离子清洗，对真空镀膜室进行抽高真空；用等离子方式在基板上制备无机硅膜层，对真空镀膜室进行抽高真空；蒸发防指纹药丸，在无机硅膜层上形成防指纹层。通过等离子方式加入气态硅油，形成二氧化硅，后蒸发防指纹药丸，硅的成膜速率快，结构简单，产品生产面积大，生产效率高。本发明中，通过等离子方式加入气态硅油，通过化学沉积形成无机硅膜层，后蒸发防指纹药丸，无机硅膜层的成膜速率快，产品生产面积大，生产效率高。
一种指纹镀膜方法结构显示装置

[实用新型]一种改进蒸散电极接触性能的装置-CN201821670949.2有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-25 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本实用新型涉及蒸散镀膜机技术领域，具体地说是一种改进蒸散电极接触性能的装置，包括两个电极的电极接触面、气缸，其特征在于：所述的气缸设有两个，所述气缸水平向设置，气缸的安装端面分别固定在直角安装座的垂直面上；两个气缸的伸缩杆分别贯穿直角安装座的垂直面后固定连接一个接触块；两个所述接触块分别与相应的电极接触面一一对应。本实用新型与现有技术相比，电极接触性能稳定，减少输出电压的丢失，提高蒸散稳定性，且控制灵活；进一步的还可以方便调整电极接触面，方便更换电极接触面。
电极接触面气缸电极接触本实用新型直角安装安装端面方便更换气缸水平输出电压垂直面镀膜机伸缩杆电极改进垂直贯穿灵活

[实用新型]一种工艺调节格栅及真空镀膜机-CN201821670994.8有效
发明人：夏伟;李龙哲;沈聚丰;周征华;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种工艺调节格栅及真空镀膜机，其包括嵌设在真空镀膜机的壳体通风孔内的固定框、设在固定框内的若干格栅片，其特征在于，还包括：总连动杆；若干格栅片转动连杆，格栅片转动连杆的一端旋转连接在总连动杆上，且若干格栅片转动连杆沿总连动杆的长度方向均布；所述格栅片的两端分别一体式设有轴部，两轴部分别与固定框的两侧壁旋转连接，且格栅片的一个轴部还轴接相应的格栅片转动连杆的另一端；任意格栅片的轴部的外端还与电机的输出轴轴接。本实用新型与现有技术相比，可以任意调节格栅片的开启角度，既可提高抽气速率，还可减少内部污染。
格栅片真空镀膜机转动连杆固定框连动杆轴部本实用新型工艺调节旋转连接格栅轴接壳体通风孔任意调节两侧壁输出轴抽气均布两轴外端电机污染

[实用新型]一种真空镀膜机冷冻钟罩放水单元-CN201821671002.3有效
发明人：周征华;李龙哲;沈聚丰;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机冷冻钟罩放水单元，包括用于设在冷冻钟罩的下钟罩上的第一放水阀，其特征在于，还包括：储水箱，其上设有储水箱进水口；进水阀，设在所述储水箱进水口上，与所述第一放水阀相连；第二放水阀，设在储水箱的壳体上；加热器，所述加热器上设有用于输入高压气的高压气进气口及出气口；冷冻钟罩进气口，设在冷冻钟罩的壳壁上；进气阀门，其进气端连接所述冷冻钟罩进气口；高压气进气管，其一端连接加热器的出气口，其另一端用于连接进气阀门的进气端。本实用新型与现有技术相比，通过高温高压气体减少冷冻钟罩内化冰时间，加速排气，使其内部水滴快速吹干，减少再积冰状态，提高抽气速率。
钟罩冷冻进气口加热器真空镀膜机放水阀储水箱进水口本实用新型进气阀门出气口储水箱高压气进气端放水积冰高温高压气体输入高压一端连接进气管进水阀水滴抽气吹干壳壁壳体内化排气

[实用新型]工装轴装置及双轴真空镀膜机快速装件用夹具装置-CN201821671003.8有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;金虎;李花;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2018-10-15 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种工装轴装置及双轴真空镀膜机快速装件用夹具装置，其中工装轴装置包括固定架、顶部贯穿固定架的顶面的工装轴、由外至内依次嵌设在固定架与工装轴之间的上轴套和上轴承、套设在工装轴底端且由驱动机构驱动旋转的链轮，其特征在于：所述链轮采用带凸台的链轮，链轮的凸台面朝向驱动机构；所述链轮的凸台面固定装配有安装法兰，安装法兰的底面固定设有用于与驱动机构装配连接用的连接轴；所述链轮与工装轴之间装配有单向轴承。本实用新型与现有技术相比，在现有结构上改造十分方便，且结构简单；驱使工装轴旋转的方式十分灵活机动，既可采用电机，也可采用人工手动旋转。
工装轴链轮真空镀膜机驱动机构固定架本实用新型安装法兰夹具装置凸台面双轴装件单向轴承固定装配驱动旋转人工手动装配连接连接轴上轴承上轴套底端底面凸台装配电机灵活贯穿改造

[实用新型]一种真空镀膜机自动加硅油系统-CN201721576015.8有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C23C14/22 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种真空镀膜机自动加硅油系统，包括真空镀膜机的控制系统、包括工作状态呈负压的硅油罐，其特征在于：所述的硅油罐上设有进油接口、出油接口，所述的进油接口连接进油管的一端，所述的进油管上设有电磁阀；所述的出油接口连接出油管的一端，出油管的另一端连接真空镀膜机的供油管的一端，供油管的另一端设有供油接口。本实用新型与现有技术相比，利用真空镀膜机工作时硅油灌的自身负压，通过控制电磁阀来实现自动吸入及吸入量，不容易溢出，节省劳动力，提高工作效率。
真空镀膜机本实用新型出油接口进油接口出油管供油管硅油罐进油管油系统负压加硅控制电磁阀工作效率控制系统一端连接电磁阀吸入量供油硅油吸入溢出

[实用新型]一种在公转齿轮设耐磨片的真空镀膜机-CN201721576052.9有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;夏伟;周征华;李花;孙海澄;王田英;朱小凤 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种在公转齿轮设耐磨片的真空镀膜机，包括门、腔体、蒸散装置、设在腔体内的支撑座、设在支撑座上的支撑轴承、公转齿轮，所述的公转齿轮的下端面抵接在支撑轴承上；所述的门包括门外壳及设置在其内的门内衬，其特征在于：在公转齿轮的下端面上固定耐磨片。本实用新型与现有技术相比，在公转齿轮下面增加了一个耐磨热处理后形成的耐磨片，以提高硬度，达到耐磨的效果；而如果经过长时间的使用后，耐磨片有一定的磨损，但耐磨片加工工艺较简单，加工方便，更换也方便，可以随时更换，保证齿轮长时间使用保持转动顺畅。
公转齿轮耐磨片真空镀膜机本实用新型支撑轴承支撑座耐磨加工方便热处理门内衬门外壳下端面齿轮抵接腔体下端磨损转动体内保证

[实用新型]一种设快插式门内衬的真空镀膜机门-CN201721576065.6有效
发明人：金虎;李龙哲;沈聚丰;周征华;李顺玉;刘强;王田英;朱小凤 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设快插式门内衬的真空镀膜机门，包括门外壳，贴合嵌设于门外壳内壁上的门内衬，其特征在于：所述门内衬的上下边缘与门外壳的内壁之间采用卡条可拆卸式连接。本实用新型与现有技术相比，只需上下增加两个卡条，实现门内衬抽屉式卡嵌的操作，拆装方便。
门内衬真空镀膜机本实用新型快插式门外壳卡条内壁可拆卸式连接拆装方便上下边缘抽屉式卡嵌嵌设贴合与门

[实用新型]一种设检修人孔的镀膜机-CN201721576119.9有效
发明人：夏伟;李龙哲;沈聚丰;周征华;李顺玉;刘强;王田英;朱小凤 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及镀膜机技术领域，具体地说是一种设检修人孔的镀膜机，包括壳体、门盖、格栅、控制系统、电连接控制系统的显示设备，其特征在于：在近高压阀端处的所述壳体上设有带法兰部的检修轴孔；检修轴孔的法兰部一侧采用铰链铰接检修人孔的一侧；铰链外的检修人孔与检修轴孔的法兰部之间沿圆周布置若干旋转式快速搭扣连接；在远离铰链侧的检修人孔的近边缘处还设有接近开关，所述的接近开关的信号端电连接控制系统的一个信号端。本实用新型与现有技术相比，在位于高压阀端侧的镀膜机的后侧壳体上开了检修人孔，无需打开镀膜机门盖及拆除格栅，提高了检修效率；检修人孔用铰链连接，省时省力；检修人孔用接近开关保护，保证检修人员的安全。
检修人孔镀膜机检修轴孔接近开关控制系统法兰部本实用新型电连接高压阀信号端格栅壳体门盖检修铰链铰接铰链连接近边缘处显示设备圆周布置侧壳体铰链侧旋转式搭扣铰链省力省时拆除安全保证

[实用新型]一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备-CN201721575944.7有效
发明人：李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设有辅助铜棒的蒸散镀膜设备，包括第一蒸散铜棒与第二蒸散铜棒，还增设一根辅助铜棒，第一蒸散铜棒的顶端与第一输入电极连接，辅助铜棒的顶端与第二输入电极连接，而辅助铜棒的底端与第二蒸散铜棒的底端之间形成导电连接。本实用新型与现有技术相比，改造方便，改造成本低廉，结构简单；通过增设的一根辅助铜棒，使进入的电压更稳定，不会产生压差现象，保证了各加热丝的加热效果。
铜棒本实用新型镀膜设备输入电极底端增设真空镀膜机导电连接加热效果加热丝压差改造保证

[实用新型]一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机-CN201721572328.6有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种增加发射棒的多轴车灯真空镀膜机，包括设有腔体的门、设在门内的蒸散装置、设有发射腔的壳体、设在发射腔内的若干电极发射装置，其特征在于：还包括设在门顶部的输入电极、采用输入电极悬设在门内的门电极发射棒；所述的蒸散装置位于门电极发射棒与电极发射装置之间。本实用新型与现有技术相比，在门内增加了门电极发射棒，能使工艺更稳定、可靠；在同等工艺条件下等离子体电压能更高，镀膜层更厚、更均匀。
真空镀膜机发射门电极门内电极发射装置本实用新型输入电极发射腔车灯多轴等离子体电压工艺条件镀膜层门顶部壳体腔体

[实用新型]一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅-CN201721575993.0有效
发明人：周征华;李龙哲;沈聚丰;夏伟;李花;金虎;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-11-22 - 公布日： 2018-07-03 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体地说是一种设在真空镀膜机壳体上的可调式格栅，其特征在于：所述的若干叶片的两侧分别设一转轴，每个转轴的外端贯穿格栅外框的两侧壁，其中位于格栅外框一外侧的转轴的外端轴接连接杆的一端，若干连接杆的另一端分别旋转连接在同一联动杆上；一旋转气缸设于格栅外框的一外侧，所述旋转气缸的内侧为其输出轴，旋转气缸的外侧为与输出轴联动的旋转盘，所述输出轴采用联轴器依次连接传动磁流体、任一转轴的外端。本实用新型与现有技术相比，利用外部旋转气缸驱动格栅机构旋转，使格栅可以在抽真空时全面打开，大大提高了抽气速率；而在制作工艺时，为防止粉末，格栅可以半开或全关，实现自动调整。
格栅旋转气缸转轴格栅外框输出轴外端本实用新型真空镀膜机壳体可调式真空镀膜机旋转连接依次连接制作工艺抽真空磁流体联动杆联轴器连接杆两侧壁旋转盘半开抽气传动接杆联动全关叶片驱动贯穿外部

[实用新型]一种适用真空镀膜机的翻板阀装置-CN201721645565.0有效
发明人：沈聚丰;李龙哲;周征华;夏伟;李花;孙海澄;朱小凤;王田英 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-12-01 - 公布日： 2018-06-22 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。本实用新型实现了真空室和主阀腔间的启闭，且本装置传动方式简单实用，传动效能高，控制精确；结构紧凑，传动灵活，阀板转动无死角，阀板能紧密贴合真空室(或主阀腔)，密封效果非常理想；从而有效保证了主阀腔的洁净度，简化了主阀腔的保养工作，并延长了主阀气缸主轴的使用寿命。
主阀腔阀板真空室转动齿轮齿条传动本实用新型真空镀膜机阀板结构驱动部件驱动机构翻板阀传动方式传动效能紧密贴合密封效果气缸主轴驱动转轴使用寿命转轴机构组件带动洁净度无死角传动导通启闭主阀保养封闭灵活保证

[外观设计]双轴真空镀膜机-CN201730514634.3有效
发明人：李花;李龙哲;沈聚丰;周征华;夏伟;朱小凤;金虎 -专利权人： 上海哈呐机电设备有限公司
申请日： 2017-10-26 - 公布日： 2018-05-15 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1．本外观设计产品的名称：双轴真空镀膜机。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于真空镀膜。3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。
真空镀膜

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